maskless نانو آلة الطباعة الحجريةهو جهاز الطباعة الحجرية المستخدمة في الطباعة الحجرية نانو نمط الكتابة ، مبدأ العمل يختلف عن الطباعة الحجرية التقليدية ، لأنه لا يعتمد على قناع المادية ( قناع ) . هذه التكنولوجيا تستخدم عادة في تصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة ، والدوائر المتكاملة ، ممس ( مايكرو الأنظمة الميكانيكية والكهربائية ) وغيرها من المجالات .
الطباعة الحجرية التقليدية مقابل maskless الطباعة الحجرية
التقليدية في تكنولوجيا الطباعة الحجرية ، قناع ( وتسمى أيضا بألواح ) هو المطلوب لجعل نمط ، نمط محفورة على قناع ، الضوء المشع على مقاومة للضوء من خلال قناع ، ثم تعرض على شكل نمط . هذه العملية عادة ما يتطلب العديد من الخطوات و الأقنعة ، حتى قناع الطباعة الحجرية لديها مزايا عالية الدقة ، والإنتاج الضخم ، ولكن في دفعة صغيرة ، معقدة أو خاصة تصميم وتصنيع أقنعة ، وارتفاع تكلفة التصنيع والوقت .
maskless الطباعة الحجرية ، ومع ذلك ، يغفل هذه الخطوة من خلال إضاءة شعاع أو شعاع الالكترون مباشرة على مقاومة للضوء ، وبالتالي تشكيل النمط المطلوب . إن maskless الطباعة الحجرية يمكن التحكم مباشرة في توليد نمط من خلال الكمبيوتر دون الحاجة إلى جعل قناع .
مبدأ العمل
هناك طريقتان رئيسيتان لعمل آلة الطباعة الحجرية nanomaskless :
1 . المسح الضوئي ليزر الطباعة الحجرية :
- مسح سطح مقاومة للضوء بواسطة شعاع الليزر عالية الدقة ، والتعرض مباشرة إلى نمط . الليزر يمكن مسحها ضوئيا من نقطة إلى نقطة في مواقع مختلفة على أساس السيطرة على جهاز الكمبيوتر لتوليد الرسومات المطلوبة . بسبب عدم الاعتماد على قناع ، نمط يمكن تعديلها في الوقت الحقيقي لتلبية متطلبات التصميم المختلفة .
2 . شعاع الالكترون الطباعة الحجرية :
- استخدام شعاع الالكترون ( شعاع الالكترون ) لمسح وكتابة نمط مباشرة . شعاع الالكترون لديها القليل جدا من التركيز ، ويمكن أن تعمل على نطاق صغير جدا ، ومناسبة لصنع نمط النانو . شعاع الالكترون الطباعة الحجرية ( EBL ) يستخدم على نطاق واسع في تطوير نماذج متجانسة الدوائر المتكاملة و أجهزة النانو .
مزايا
1 . تصنيع بدون قناع :
- يغفل عملية معقدة لصنع قناع المادية ، ويقلل من التكاليف والوقت ، ومناسبة خاصة لإنتاج كميات صغيرة ، وتطوير النماذج الأولية أو تصنيع المنتجات حسب الطلب .
2 . مرونة قوية :
- معدات الطباعة الحجرية بألواح يمكن بسرعة ضبط أنماط لتناسب متطلبات التصميم المختلفة . فائدة نموذج يمكن الانتهاء من التعرض لأنماط مختلفة على نفس الجهاز دون تغيير القناع .
3 - القرار السامي :
- تستخدم آلات الطباعة الحجرية غير المقنعة عادة أشعة الليزر أو الالكترونات التي يمكن أن تصل إلى مستوى النانومتر في القرار ، ومناسبة لتصنيع هياكل صغيرة جدا ، مثل أسلاك متناهية الصغر ، ونقاط الكم وهلم جرا .
4 . توفير الوقت :
- تكنولوجيا الطباعة الحجرية بدون قناع أسرع من الأساليب التقليدية في تصنيع النماذج الأولية السريعة دفعة صغيرة ، لأنه لا يحتاج إلى الانتظار لإنتاج وتركيب قناع .
5 . انخفاض تكلفة الإنتاج دفعة صغيرة :
- بدون قناع ، يمكن خفض تكاليف التصنيع إلى حد كبير ، ولا سيما في البحوث المختبرية والإنتاج دفعة صغيرة من المنتجات المخصصة .
مجال التطبيق
1 . تصنيع أشباه الموصلات :
- لا سيما في تصميم الرقاقة والنماذج ، وآلات الطباعة الحجرية بألواح هي مفيدة جدا . يمكن أن تجعل النماذج الأولية السريعة ، ولها ميزة في تصنيع أنماط النانو التي تتطلب أعلى حجم .
2 . ممس وتصنيع نانو مايكرو :
- تكنولوجيا الطباعة الحجرية بألواح غير مناسبة لتصنيع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة ( ممس ) وتصنيع النانو ، مثل أجهزة الاستشعار الصغيرة ومفاتيح مصغرة وهلم جرا .
3 . تكنولوجيا النانو :
nanophotoetching آلة تستخدم على نطاق واسع في العديد من المجالات ، مثل تجميع المواد النانوية ، وتصنيع أجهزة الاستشعار ، وتطوير نموذج الحوسبة الكمومية المعدات .
4 - تصميم النماذج والدراسات التجريبية :
- آلات الطباعة الحجرية بألواح هي مفيدة بشكل خاص في مرحلة البحث والتطوير ، ويمكن أن تولد بسرعة أنماط التصميم المختلفة ، ومساعدة الباحثين على إجراء التجارب والتحقق .
إن maskless نانو photoetching آلة مرنة للغاية ودقيقة وفعالة للغاية photoetching المعدات التي يمكن أن تعرض مباشرة على نمط تصميم مقاومة للضوء دون الحاجة إلى قناع التقليدية . . . . . . . هو جدّا مناسبة لأنّ الإنتاج دفعة صغيرة وعالية الدقة نانومتر نمط التصنيع ، وتستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات MEMS、 تكنولوجيا النانو . ومع ذلك ، لا تزال تستخدم أساسا في تصنيع النموذج الأولي ، والتخصيص ، دفعة صغيرة وعالية الدقة التصنيع بسبب بطء سرعة عالية التكلفة .