في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، طلاء الفراغ ، التجربة العلمية ، وما إلى ذلك ، مضخة الجزيئية مجموعة المعدات الأساسية للحصول على بيئة فراغ عالية ، عملية مستقرة مباشرة يحدد نوعية الإنتاج و النتائج التجريبية . ومع ذلك ، ويرجع ذلك إلى عوامل مثل ظروف العمل ، الخدمة الطويلة في الحياة ، عملية موحدة ، وما إلى ذلك ، من السهل أن تظهر أنواع مختلفة من الأخطاء في مضخة الجزيئية مجموعات .
واحدة من الأكثر شيوعا فشل مضخة الجزيئية هو أن درجة فراغ لا تصل إلى مستوى ، والتي تبين أن قيمة فراغ متر هو دائما أعلى من القيمة المستهدفة ، لا يمكن أن تصل إلى حالة فراغ عالية المطلوبة من قبل العملية . هناك ثلاثة أسباب رئيسية لهذه المشكلة : أولا ، ختم الشيخوخة أو الضرر ، مثل شفة الختم الدائري على المدى الطويل بسبب ارتفاع درجة الحرارة ، وانخفاض درجة الحرارة بالتناوب الشقوق ، مما أدى إلى تسرب الهواء ؛ ثانيا ، هناك انسداد في مدخل الهواء أو الأنابيب ، والغبار ، عملية تراكم بقايا عرقلة تدفق الهواء ؛ ثالثا ، أداء المضخة الجزيئية نفسها تسوس ، شفرة الدوار ارتداء أو عدم كفاية سرعة دوران المحرك . عندما يتم تشخيص تسرب الهليوم مطياف الكتلة يمكن استخدامها للكشف عن سطح الختم أولا ، إذا كان تسرب الهليوم هو العثور على ختم عنصر يمكن استبدالها . التحقق من كمية الهواء الأنابيب مرة أخرى ، تطهير أو إزالة انسداد مع الهواء المضغوط . إذا كان أول اثنين من البنود غير طبيعي ، سرعة دوران المحرك يجب الكشف عنها ، إذا لزم الأمر ، استبدال الدوار أو المحرك .
الضوضاء والاهتزاز غير طبيعية هي أيضا عالية التردد خطأ ، مما تسبب في ثقب الصوت أو اهتزاز الجسم أثناء التشغيل ، والتي لا تؤثر فقط على حياة المعدات ، ولكن أيضا يمكن أن تلحق الضرر المكونات ذات الصلة . الأسباب الرئيسية هي عدم الاتزان الميكانيكية ، مثل الدوار التوازن الديناميكي التالفة ، مع ارتداء أو تزييت ، أو قد تكون فضفاضة مضخة اتصال مع القاعدة . التشخيص الداخلي هو على النحو التالي : أولا ، التحقق من ربط الترباس ، تشديد عزم الدوران مع وجع عزم الدوران وفقا لمعيار عزم الدوران . ثانيا تفكيك جسم المضخة ، وإذ تضع الكرة إذا كان هناك خدش ، وارتداء ، إذا كان هناك مشكلة استبدال فورا ، وملء مع ارتفاع في درجة الحرارة الشحوم . إذا كان تأثير طبيعي ، الدوار يجب معايرة التوازن الديناميكي لضمان استقرار مركز الثقل عند الدوار بالتناوب .
وبالإضافة إلى ذلك ، فإن المحرك الزائد رحلة الفشل هو أيضا أكثر شيوعا ، تشغيل المعدات توقف فجأة ، حماية الزائد التبديل في توزيع مربع قطع . هذا الفشل هو عادة بسبب الحمل الزائد ، على سبيل المثال ، جسم غريب يدخل تجويف مضخة الدوار ، سوء تبديد الحرارة من المحرك يؤدي إلى درجة حرارة عالية جدا ، أو امدادات التيار الكهربائي غير مستقرة . التحقيق ، أولا قطع التيار الكهربائي ، دليل الدوار ، إذا كان هناك أي كارتون ثم تفكيك جسم المضخة لإزالة المواد الأجنبية . التحقق من ما إذا كان المحرك مروحة تبريد معطوب ، ما إذا كان انسداد قنوات التبريد ، وتنظيف أو استبدال المكونات في الوقت المناسب . وفي الوقت نفسه ، متعدد يستخدم للكشف عن امدادات التيار الكهربائي ، وضمان امدادات التيار الكهربائي في نطاق الجهد تصنيف المعدات ، إذا لزم الأمر ، تثبيت الجهد استقرار الجهاز .
تشخيص الأعطال و القضاء عليها يجب أن تتبع مبدأ " مراقبة الظواهر أولا ، ثم تحليل الأسباب ، وأخيرا معالجة دقيقة " ، وفي الوقت نفسه ، إجراء الصيانة الوقائية الدورية ، مثل تنظيف سطح الختم ، والتحقق من حالة تحمل ، معايرة السيارات المعلمات ، وما إلى ذلك ، من أجل الحد من حدوث أخطاء ، وضمان تشغيل مستقر على المدى الطويل من المعدات ، وتوفير بيئة فراغ موثوق بها لدعم الإنتاج عالية الدقة والتجربة .