أولاً - مقدمة

في مجال التكنولوجيا الحديثة فراغ ، مضخة الجزيئية مجموعة تستخدم على نطاق واسع في العديد من الصناعات ، مثل تصنيع أشباه الموصلات ، دراسة المواد ، تحليل السطح ، وتصنيع الأجهزة البصرية والكهربائية ، فراغ طلاء وهلم جرا ، لأنها يمكن أن ندرك عالية فراغ أو فراغ عالية جدا في البيئة . في هذه الورقة ، مع الجمع بين معايير محددة من نوع معين من مضخة الجزيئية مجموعة ( على سبيل المثال ، مفتاح واحد بدء وضع التحكم ، turbovac 90i مضخة الجزيئية ، والحد من فراغ درجة 10

---

الخصائص التقنية الجزيئية مضخة مجموعة

هذه المضخة الجزيئية مجموعة عالية الأداء فراغ ضخ القدرة ، البارامترات التقنية الرئيسية هي كما يلي :

• أسلوب التحكم : مفتاح واحد بدء التشغيل ، عملية بسيطة ، والحد من استخدام عتبة

• مضخة جزيئية : turbovac 90i ، سرعة ضخ 90 لتر / ثانية ، تنطبق على ارتفاع الطلب فراغ

• المرحلة السابقة : ثنائي القطب مضخة دوارة ( اختياري 1.2 م 3 / ح العائمة دوامة مضخة الجافة )

• المرحلة السابقة سرعة الضخ : 2 م 3 / ح

• مركب فراغ متر : PTR90 ( قياس المدى من الغلاف الجوي إلى 5 × 10 ⁻ السلطة الفلسطينية )

• فراغ الحد : 10 ⁻ السلطة الفلسطينية

• واجهة المواصفات : KF40 ( اختياري KF25 ، KF16 )

• طريقة التبريد : تبريد الهواء ، ومناسبة لمختلف بيئات المختبرات

• نظام معدل التسرب : 1 × 10 ⁻ ܾ با · م 3 / ث ، والاستقرار ممتازة وختم

• مصدر الطاقة : 220V 50Hz

• الحجم والوزن : 400 * 340 * 260 ملم ، 18kg ، قابلية جيدة

هذه الخصائص تجعل من البحث العلمي والصناعة ، وارتفاع فراغ معدات مطابقة الخيار المثالي .

---

التطبيقات الرئيسية الجزيئية مضخة مجموعة

1 - تصنيع أشباه الموصلات والالكترونيات الدقيقة

تكنولوجيا أشباه الموصلات ، مثل الترسيب الفيزيائي للبخار ، الأمراض القلبية الوعائية ، ايون الحفر ، تنظيف السطح ، وما إلى ذلك ، تحتاج إلى بيئة فراغ عالية لتجنب تلوث الجسيمات والتفاعل الكيميائي التدخل .
مع الحد من فراغ من 10 ⁻ السلطة الفلسطينية ، مضخة الجزيئية يمكن أن توفر موثوق بها نهاية الجبهة فراغ الطباعة الحجرية ، ترسب الفيلم ، رقاقة تجهيز .

استخدام الحالات :
رقاقة مصنع يستخدم مضخة الجزيئية مجموعة في عملية إزالة مقاومة للضوء ، المتطابقة مع الاتصال تنظيف تجويف ، ويحسن كفاءة العمل الداخلي من خلال سرعة إخلاء ويحسن نظافة سطح رقاقة .

---

2 - علم المواد و تحليل السطح ( XPS ، الخدمات المعمارية والهندسية ، سيمز )

إذا كان هناك الكثير من الغاز المتبقي في تجويف ، وسوف تؤثر على طيف الطاقة الالكترونية ، ايون إشارة الكشف عن الحساسية .

ميزات مجموعة مضخة الجزيئية :

• ارتفاع سرعة الضخ ( 90 لتر / ثانية )

• انخفاض معدل التسرب ( 1 × 10 ⁻¹ با · م 3 / ث )

• الحد من فراغ تصل إلى 10 ⁻ با

فائدة نموذج مناسبة لأنّ مصدر فراغ مستقل أو مطابقة مضخة مجموعة من المواد معدات البحث .

استخدام الحالات :
هذه المضخة الجزيئية المستخدمة في نظام النسخ الاحتياطي فراغ XPS ( الأشعة السينية الضوئية الطيفي ) في كلية علوم المواد في الجامعة .

---

3 - تطوير الأجهزة الكهروضوئية ( لقد اخترت ، ليزر ، كاشف ضوئي )

عملية إعداد فيلم الكهروضوئية ينطوي على العديد من المواد الحساسة ، والتي تحتاج إلى انخفاض الأكسجين وانخفاض تلوث المياه والبيئة .

مجموعة مضخات الجزيئية :

• تبريد الهواء تصميم دائم ومستقر

• صغيرة الحجم ، من السهل أن تكون متكاملة مع غرفة بخار

• kf40 واجهة مطابقة قوية

نماذج المنفعة هي مناسبة خاصة بالنسبة لمعدات التبخير على مستوى المختبر ونموذج خط التنمية .

استخدام الحالات :
في تطوير نوع جديد من الأشعة تحت الحمراء للكشف عن بعض المعاهد البحثية ، وذلك باستخدام مضخة الجزيئية مجموعة مطابقة تجويف التبخر ، لضمان أن يتم الاحتفاظ فراغ في تجويف 10 ̿ السلطة الفلسطينية خلال ترسب الفيلم ، وتحسين الإنتاجية .

---

4 . فراغ طلاء المعدات ( من الصعب طلاء ، طلاء البصرية )

في عملية طلاء الفيلم ، إذا كان هناك الكثير من الغاز في تجويف ، فإنه يمكن أن يؤدي إلى انخفاض التصاق الفيلم ، والأكسدة وغيرها من المشاكل الخطيرة .

مجموعة مضخة الجزيئية تعتمد على :

• ارتفاع سرعة الضخ

• تبريد الهواء مستقرة

• بداية سريعة قبل مضخة
  فائدة نموذج يمكن أن تقلل بشكل كبير من وقت الفراغ ، وتحسين كفاءة الطلاء .

استخدام الحالات :
مضخة الجزيئية المستخدمة في عملية ضخ أسفل مرآة الطلاء في مصنع طلاء البصرية ، مما يقلل من وقت التفريغ بنسبة 30 في المائة مقارنة مع النظام الأصلي ، وتحسين كفاءة خط الانتاج بنسبة 15 في المائة .

---

العام نظام فراغ عالية في مختبر البحوث العلمية

تنطبق على :

• مطياف الكتلة ( ماجستير )

• فراغ فرن

• شعاع ايون الاخرق

• جهاز اختبار البلازما

• انخفاض درجة حرارة الغرفة عينة تجريبية

مفتاح واحد ابتداء من وظيفة قوية فراغ الأداء ، مما يجعلها مناسبة جدا لمجموعة متنوعة من التخصصات البحثية .

استخدام الحالات :
مختبر الفيزياء يستخدم مضخة الجزيئية مجموعة لبناء غرفة اختبار مستقل ، والتي يمكن استخدامها لقياس المواد الكهربائية في درجة حرارة منخفضة ( LHE ) البيئة .

---

رابعاً - موجز الحالات النموذجية

من خلال هذه الحالات ، يمكننا أن نرى أن هذه المضخة الجزيئية مجموعة صغيرة الحجم ، وارتفاع سرعة الضخ ، عملية بسيطة ، فراغ مستقرة ، لا سيما في معدات البحث العلمي ، عملية أشباه الموصلات وحدة الكهروضوئية نظام التبخر ، وغيرها من التطبيقات . بغض النظر عن ما إذا كان خط الانتاج الصناعي أو مختبر البحوث ، فإنه يمكن توفير ضمان موثوق بها من أجل التجربة والإنتاج مع فراغ مستقرة القدرة .

---

خامساً - الاستنتاجات

كما المكونات الأساسية في نظام فراغ عالية ، أداء المضخة الجزيئية مجموعات لها تأثير مباشر على استقرار العمل و دقة القياس . مع turbovac 90i مضخة الجزيئية ، وارتفاع الاستقرار في مرحلة ما قبل مضخة ، سوبر انخفاض معدل التسرب ختم هيكل مفتاح واحد ابتداء من السيطرة على الوضع ، هذا النوع من مضخة الجزيئية مجموعة لديها مزايا سهولة الاستخدام ، وقابلية والمهنية ، ويمكن استخدامها على نطاق واسع في أشباه الموصلات ، علم المواد ، الأجهزة البصرية الالكترونية ، فراغ طلاء ، والبحوث التجريبية وغيرها من المجالات .

ليس فقط يعزز كفاءة التشغيل من نظام فراغ عالية ، ولكن أيضا يوفر أساسا متينا للبحث العلمي والابتكار الصناعي .