ganled مجموعة التصنيع : شيامن zhongxinjingyan أشباه الموصلات المحدودة يستخدم nordsonmarchrie-1701 النقش البلازما نظام يستخدم SF6 البلازما تصنيع نيتريد الغاليوم ( غان ) التي ينبعث منها ضوء الصمام الثنائي ( LED ) مجموعة . 2 بوصة ياقوت على أساس ganled الفوقي رقاقة هو قطع في 1 سم * 1 سم رقاقة ، النحاس يستخدم قناع المواد ، ثم منقوشة بواسطة الأشعة فوق البنفسجية الطباعة الحجرية . تأثير الترددات اللاسلكية السلطة الناقل الركيزة على معدل النقش ، وخشونة السطح الناجم عن النقش تم التحقيق فيها . وأخيرا ، أدى صفائف عالية الكثافة تم تصنيعها بنجاح . النقش التوحيد وخشونة السطح تم تحسينها من خلال إضافة الناقل الركيزة .

رقاقة متقدمة قبل عملية النقش : بريمونانوفا ® فائدة نموذج يتعلق بالحث اقترن البلازما معدات الحفر ، والتي يتم تطبيقها على النقش 7 نانومتر ، 5 نانومتر ، وأكثر تقدما من أجهزة أشباه الموصلات . هذه المعدات تعتمد على الملكية الفكرية المستقلة المتقارنة بالحث البلازما النقش التكنولوجيا ، وقد تماثل تماما رد فعل الدائرة ، سرعة ضخ عالية جدا الجزيئية وغيرها من التصميم المبتكر . يمكن استخدامها في العديد من أنواع موصل الحفر ، مثل خندق ضحل العزلة النقش ( STI ) ، البولي سيليكون بوابة النقش . يمكن أن تستخدم أيضا في وسائل الإعلام النقش ، مثل فجوة الجدار النقش ( spaceretch ) ، وما إلى ذلك ، يمكن أن توفر عملية أوسع نافذة تصنيع الرقائق ، وتحقيق انخفاض تكلفة التصنيع ، وقد تم في العديد من العملاء خط الانتاج العادي ، العائد مستقرة .

8 بوصة رقاقة بوابة النقش : في 8 بوصة رقاقة بوابة النقش التكنولوجيا ، وذلك باستخدام نظام مركب GXS جنبا إلى جنب مع البلازما آلة الحفر . بيانات الإنتاج من رقاقة مصنع تبين أن هذا الجمع يمكن أن تبقي على درجة فراغ محفورة في تجويف 5 × 10 ⁻ ⁴ MBAR ، وجعل معدل النقش سيو ₂ تصل إلى 1200 Å / دقيقة ، رقاقة التوحيد خطأ أقل من 1.5 في المائة . مقارنة مع السابق ختم النفط مضخة ، معدل عيب بعد الحفر انخفض من 0.35 في المائة إلى 0.08 في المائة ، والقدرة على الإنتاج السنوي من جهاز واحد حوالي 2300 قطعة .

أشباه الموصلات النحاس عملية الربط : في أشباه الموصلات النحاس عملية الربط ، أكسيد المعادن يتم معالجتها بواسطة البلازما النقش آلة . من خلال عملية محددة ، يمكن التحكم في طبقة أكسيد المتبقية أقل من 0.5nm ، وبالتالي تحسين نوعية العملية . في رقاقة مستوى التعبئة والتغليف ، العائد من هذه العملية هو زيادة من 92 ٪ إلى 99.6 في المائة .