رقاقة المجهرصورة من سطح رقاقة هو تضخيم من خلال عدسة بصرية نظام الإسقاط على العدسة أو التصوير الاستشعار عن المراقبة والتحليل . بعض المجاهر أيضا استخدام أساليب الإضاءة المختلفة وعلى النقيض من التقنيات ، مثل الضوء والظلام الميدان فرق تدخل فرق الطور ( مدينة دبي للإنترنت ) ، وما إلى ذلك ، من أجل تعزيز النقيض من الصورة ، بحيث العيوب والخصائص الهيكلية أكثر وضوحا .

　　رقاقة المجهرالتطبيقات هي كما يلي :

سطح رقاقة الكشف عن الخلل

الكشف عن المواد الزائدة عن الحاجة : من خلال 50-1000 مرات التضخيم ، جنبا إلى جنب مع الإضاءة البصرية MIX ، دقة تحديد المواقع نانو الجسيمات ميكرون مستوى الغبار ، لتجنب فشل الخصائص الكهربائية .

تحليل الأضرار الميكانيكية : كشف قوس الخدوش الناجمة عن المواد الكيميائية تلميع الميكانيكية ( CMP ) وتقييم تأثير الضرر على الدائرة الاتصال .

الكريستال عيب التمييز : استخدام مدينة دبي للإنترنت التكنولوجيا لتحديد زلة خط التراص خطأ ، وتحسين العائد .

مراقبة الجودة في عملية الطباعة الحجرية

دقة الكشف عن نمط المحاذاة : التحقق من ما إذا كان نمط الدائرة التي شكلتها التعرض للضوء والتنمية يتوافق مع متطلبات التصميم ، وتجنب الانحراف linewidth . . . . . . .

linewidth التوحيد التحليل : تغيير linewidth يقاس cd-sem ( شعاع الالكترون التصوير ) أو الوسواس القهري ( البصرية الأبعاد الرئيسية ) المعدات لضمان استقرار العملية .

حزمة اختبار وتحليل الفشل

التفتيش على الجودة : التحقق من الشكل والحجم من المفاصل جندى ، لحام الظاهري ، قصيرة الدوائر وغيرها من العيوب لضمان موثوقية التعبئة والتغليف .

interlaminar المحاذاة و قياس سماكة : التحقق من دقة تراكب متعدد الطبقات المعدنية / طبقة عازلة ، قياس سمك interlaminar التغيير ، وفقا لتصميم رمز .

المجهر الإلكتروني النافذ ( تيم ) التحليل : توفير مستوى ذرة القرار عبر قسم الصور ، جنبا إلى جنب مع تحليل طيف الطاقة عنصر التوزيع ، وتحديد أسباب الفشل .

دعم العملية

مجمع اشباه الموصلات التفتيش : على سبيل المثال ، كربيد السيليكون ( كذا ) الركيزة عيب التصوير ، دعم الذرات الكشف عن القناة ، تظهر بوضوح شعرية عيب .

3D هيكل المراقبة : محاذاة الدقة واجهة نوعية 3D التراص هيكل تم الكشف عنها من قبل العديد من زاوية الميل والتناوب العينات .