رقاقة المجهرفائدة نموذج هو أداة بصرية تستخدم للكشف عن سطح رقاقة أشباه الموصلات و البنية الداخلية ، والتي يمكن أن تساعد الفنيين بسرعة اكتشاف العيوب على رقاقة وضمان جودة المنتج .

المهام الرئيسية :

الكشف عن الخلل : يمكن الكشف بسرعة عن الخدوش ، والتلوث ، والثقوب والشقوق وغيرها من العيوب على سطح رقاقة ، فضلا عن الهيكل الداخلي الشذوذ .

قياس الأبعاد : من خلال قياس البرمجيات ، يمكننا قياس بدقة خط العرض ، الرسم البياني البعد والمسافة على رقاقة .

تحليل الصور : الصور التي تم جمعها يمكن معالجتها وتحليلها ، على سبيل المثال ، على النقيض من التكيف ، الكشف عن الحافة ، عيب التصنيف ، وما إلى ذلك ، من أجل مراقبة الجودة وتحسين عملية تقديم بيانات الدعم .

　　رقاقة المجهرمن خلال الجمع بين النظام البصري مع تكنولوجيا التصوير ، ونحن يمكن تحقيق دقة الملاحظة المجهرية على سطح رقاقة .

نظام التصوير الضوئي

طريقة الإضاءة : دعم نقل نوع ( شفافة / شبه شفافة رقاقة ) و انعكاس نوع ( شفافة رقاقة ) الإضاءة ، مصدر الضوء نوع يغطي مصابيح الهالوجين ، ومصابيح LED ، وما إلى ذلك ، حيث أدى ضوء حياة طويلة ، وانخفاض الحرارة تصبح التيار الرئيسي .

العدسة الشيئية والعدسة : العدسة الشيئية هي المكونات البصرية الرئيسية ، وتوفير 5x 10x , 20x , 40x , وغيرها من أنواع التكبير ، والعدسة كذلك تكبير الصورة .

المكثف : من خلال تعديل الفتحة العددية ، مصدر الضوء ضوء التركيز على سطح رقاقة ، وتعزيز سطوع الإضاءة ، وتحسين وضوح الملاحظة .

أسلوب المراقبة المتعددة

مشرق / حقل الظلام الملاحظة : الكشف عن الضوء الساطع من خلال تغيير كثافة الضوء المنعكس لتحديد الخدوش والجسيمات وغيرها من العيوب الكبيرة . في مجال الكشف عن الظلام ، sub-100 نانومتر العيوب الصغيرة تم تحليلها من قبل تشتت الضوء .

الفرق تدخل ( مدينة دبي للإنترنت ) : تعزيز النقيض من الصورة من خلال فرق المسار البصري ، عرض الكريستال هيكل ثلاثي الأبعاد من العيوب .

مضان الاستقطاب الملاحظة : يمكن أن تكون مطابقة مع وحدة مضان للكشف عن خصائص الذرات ، الاستقطاب وحدة تحليل اتجاه الكريستال ، لتلبية متطلبات * مجموعة .