النقاط الرئيسية في الصيانة اليومية

مراقبة البيئة

SEM حساسة إلى درجة الحرارة والرطوبة ، درجة الحرارة في المختبر يجب أن تبقى في 18-25 ℃ ، الرطوبة أقل من 60 ٪ ره ، لتجنب ارتفاع درجة الحرارة يؤدي إلى الشيخوخة من المكونات الإلكترونية أو الرطوبة العالية الناجمة عن تآكل الدائرة . المعدات يجب أن توضع على منصة مستقلة للصدمات ، بعيدا عن مصادر التدخل مثل الأبواب والنوافذ ، تنفيس الهواء ، عالية التردد إمدادات الطاقة ، وما إلى ذلك ، يجب أن تكون مجهزة مع يو بي إس استقرار امدادات الطاقة لمنع تذبذب التيار الكهربائي . التحقق من درجة حرارة مياه التبريد قبل بدء التشغيل اليومي ، إيقاف تشغيل نظام التبريد بعد 15 دقيقة من الاغلاق لتجنب خيوط من الانهاك والضرر .

صيانة نظام فراغ

نظام فراغ هو أساس ثابت تشغيل SEM . التحقق من مستوى الزيت من مضخة ميكانيكية مضخة الجزيئية يوميا لضمان مستوى الزيت فوق علامة خط . الميكانيكية مضخة الزيت يتم استبداله كل 6 أشهر ، الجزيئية مضخة تحمل الشحوم يتم استبداله سنويا . كل شهر مع الأسيتون بالموجات فوق الصوتية تنظيف غرفة العينة الختم الدائري ، لمنع التلوث الناجم عن تسرب الجسيمات . إذا كانت درجة فراغ غير كافية ، الهليوم مطياف الكتلة يجب أن تستخدم للكشف عن تسرب نقطة ، مع التركيز على التفتيش بندقية الإلكترون واجهة عينة تبادل غرفة الباب ختم الشريط .

تنظيف المكونات البصرية

عدسة برميل عينة المقصورة يجب تنظيفها بانتظام . مسح الجدول عينة الجدار الداخلي من تجويف مع ورقة خالية من الغبار كل أسبوع ، وإزالة البقع العنيدة مع 70 ٪ من الكحول أو الماء منزوع الأيونات كل شهر ، ومنع المذيبات العضوية مثل الأسيتون . كاشف السطح يجب أن تكون في مهب مع النيتروجين أو فرشاة ناعمة لإزالة الغبار ، ومنع التدخل إشارة . backscattered الكترون ( BSE ) كاشف معايرة كسب الذهب فيلم عينة قياسية كل شهر لضمان استقرار الصورة على النقيض .

بندقية الإلكترون خيوط إدارة

التنغستن خيوط الحياة حوالي 100-200 ساعة ، بندقية الحقل الانبعاثات ( FEG ) شوتكي خيوط الحياة حوالي 1000-2000 ساعة . بعد خيوط مشبعة ، تحتاج إلى استبداله في الوقت المناسب لتجنب الضرر من بندقية الإلكترون بسبب الكسر . محاذاة بندقية الإلكترون تتم كل نصف سنة لضمان دقة تركيز شعاع الالكترون ، ومنع الصورة من الانجراف أو الاستجماتيزم .

استكشاف الأخطاء وإصلاحها والتخلص من الأخطاء الشائعة

صورة الشذوذ

كامل أسود / لا إشارة : التحقق من اتصال الطاقة ، زر التوقف في حالات الطوارئ ، وصلات الكمبيوتر ، إعادة تشغيل البرنامج وتحميل المعلمات الافتراضية . إذا استمرت المشكلة ، تحتاج إلى تنظيف الحجاب الحاجز أو أداء الاستجماتيزم التصحيح .

صورة الانجراف / بقعة مشرقة : 5-20nm الذهب فيلم أو شريط لاصق يجب أن تكون مغلفة على عينة غير موصل ، وتسريع الجهد يمكن أن تنخفض إلى 1-5kv ، ودينامية التركيز يمكن أن تستخدم لتعويض انحراف .

فشل نظام فراغ

عدم كفاية فراغ : التحقق من مستوى الزيت و نوعية النفط في مرحلة ما قبل مضخة ميكانيكية الجزيئية ، والكشف عن تسرب نقطة مع الأسيتون الرش . إذا كان نموذج غرفة الختم الدائري هو الشيخوخة ، تحتاج إلى تنظيف بالموجات فوق الصوتية أو استبدال .

تسرب مفاجئ : إغلاق صمام فراغ عزل منطقة التسرب ، واستخدام المحمولة للكشف عن تسرب فراغ لتحديد موقع التسرب ، استبدال يا الدائري .

شعاع الإلكترون الاستقرار

شعاع تذبذب : التحقق من استقرار امدادات التيار الكهربائي ، وشكا من السلطة ؛ إذا كانت المواد الكاثود المؤكسدة ، مهندس محترف مطلوب استبدال خيوط .

مسح التشويه : خمس نقاط تصحيح التشويه تتم باستخدام معيار الذهب الجسيمات صفيف ، التماثل من مسح ملف محرك إشارة يتم تعديلها من قبل البرنامج .

إعداد العينة

تأثير الشحن : عينة بيولوجية تجفف في نقطة حرجة ، عينة البوليمر يستخدم النيتروجين السائل تبريد الجدول ( - 120 ℃ ) للحد من الانجراف الحرارية .

الضرر الحراري : السيطرة على كثافة شعاع الالكترون < 1 / سم ² ، دون مسح المنطقة المحلية لتجنب الانهاك .

استراتيجية الصيانة الوقائية

الصيانة الشهرية : تنظيف غرفة العينة ، استبدال مضخة فراغ النفط ، والتحقق من الحصول على كاشف .

الصيانة الفصلية : معايرة بندقية الإلكترون المحاذاة ، للكشف عن كفاءة الكم ( كيو ) .

الصيانة السنوية : فحص شامل من قبل المهندسين المهنية ، مع التركيز على التحقق من بندقية الإلكترون الكاثود الحياة والاستقرار المغناطيسي .

إدارة قطع الغيار : قطع خيوط ، س نوع الختم الدائري ، كاشف المبرد المحمولة للكشف عن تسرب فراغ ، وتقصير وقت إصلاح الخطأ .

من خلال منهجية الصيانة واستكشاف الأخطاء وإصلاحها ، ووزارة شؤون المرأة جودة الصورة يمكن تحسينها بنسبة أكثر من 30 ٪ ، وخدمة الحياة من المعدات يمكن أن تمتد إلى أكثر من 10 سنوات . ويقترح إنشاء سجل استخدام المعدات ، وتسجيل التغييرات في المعايير الرئيسية ، وتوفير دعم البيانات خطأ التشخيص .