النظم البصرية الالكترونية : التركيز والمسح الضوئي الأساسية

الإلكترون نظام بصري هو جزء أساسي من مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) المسؤولة عن توليد ، وتسريع ، والتركيز ، والسيطرة على شعاع الالكترون المسح على سطح العينة . وتشمل مكوناتها الأساسية ما يلي :

بندقية الإلكترون : مصدر الإلكترون التي تنتج الإلكترونات الحرة عن طريق انبعاث حراري أو مجال الانبعاثات . بندقية الإلكترون الانبعاثات الحرارية ( على سبيل المثال ، التنغستن خيوط ) منخفضة التكلفة ، ولكن القرار محدودة . ميدان الانبعاثات بندقية الإلكترون ( على سبيل المثال ، اللنثانوم عنصر فلزي hexaborate أو الباردة ميدان الانبعاثات ) لديها مزايا عالية السطوع ، شعاع بقعة صغيرة ، وارتفاع القرار أقل من 1 نانومتر .

عدسة الكهرومغناطيسية : التركيز وتسريع شعاع الالكترون من خلال المجال الكهرومغناطيسي . المرحلة الثانية عدسة الكهرومغناطيسية يجمع شعاع الالكترون في شعاع بقعة قطرها عدة نانومتر لضمان دقة عالية في التصوير .

مسح ملف : السيطرة على شعاع الالكترون على سطح العينة لإجراء المسح النقطية ، متزامن مع شاشة عرض أنبوب شعاع الالكترون الموقف ، سطح العينة خصائص الصورة نقطة المقابلة .

مبدأ الكشف عن إشارة : الحصول على معلومات متعددة الأبعاد

عندما شعاع الالكترون يتفاعل مع العينة ، العديد من الإشارات التي يتم إنشاؤها بواسطة كاشف .

الالكترونات الثانوية ( SE ) : الإلكترونات المنبعثة من الطبقة الخارجية من الذرات مع انخفاض الطاقة ( 0-50ev ) فقط من عمق 5-10nm ، حساسة للغاية تضاريس السطح ، ويمكن استخدامها في ارتفاع القرار التصوير السطحي .

ارتداد مبعثر الإلكترون ( مرض جنون البقر ) : الحادث الإلكترون ينعكس بعد نثر من نواة الذرة من العينة ، العائد يزيد مع زيادة العدد الذري .

خاصية الأشعة السينية : الإشعاع الكهرومغناطيسي ، الطاقة أو الطول الموجي التي تنتجها الإلكترون الانتقال في الطبقة الداخلية من ذرة متحمس من قبل الحادث الإلكترون ترتبط مباشرة مع نوع العنصر ، عنصر الكشف النوعي والكمي يتحقق من خلال تحليل الطاقة مطياف ( eds ) .

نظام التعاون و آلية التصوير

عندما شعاع الالكترون هو مسح سطح العينة ، كاشف متزامن يلتقط إشارة وتحويلها إلى إشارة كهربائية ، ثم يضخّم يضخّم سطوع الشاشة الفلورية من شريط سينمائي على شكل صورة المقابلة سطح العينة المميزة . ميدان الانبعاثات المجهر الإلكتروني ( fesem ) يمكن أن تعزز القرار والاستقرار من خلال مصدر الإلكترون عالية السطوع وتحسين نظام فراغ ، ويمكن استخدامها لتحليل سطح المجهرية من أشباه الموصلات ، والمعادن ، والمعادن الجيولوجية وغيرها من المواد .