ايون تقطيع ( FIB ) هي المعدات الأساسية من أجل توصيف وتجهيز المواد ذات البنية النانومترية ، والتي يمكن تحقيق دقة القطع وإعادة الإعمار 3D من المواد عالية الطاقة شعاع ايون ، ويلعب دورا رئيسيا في مجال علوم المواد ، والأجهزة الإلكترونية وتكنولوجيا النانو .

مبدأ العمل : جوهر ايون تقطيع الصك هو استخدام بندقية ايون تنبعث منها الطاقة العالية شعاع ايون ( مثل الغاليوم ايون ) ، من خلال عدسة التركيز و المسح الكهربائي على شكل شعاع رقيقة جدا الحالية ( القطر يمكن أن تصل إلى مستوى النانومتر ) ، من خلال التأثير البدني و التفاعلات الكيميائية طبقة تجريد سطح المواد الذرية ، وتشكيل سمك فقط بضعة نانومتر إلى عشرات نانومتر رقيقة جدا شريحة . دقة التحكم في كثافة الطاقة و سرعة المسح الضوئي يضمن التوازن بين كفاءة القطع والدقة . على سبيل المثال ، في 8kev الطاقة ، السيليكون يمكن أن تخفف من 40 ميكرون / ساعة ، في حين أن انخفاض درجة حرارة التجميد يمكن تبريد العينة إلى - 120 ℃ ، والحد من الضرر الحراري ، وضمان السلامة الهيكلية من الأنسجة البيولوجية أو المواد الحساسة للحرارة .

التكنولوجيا الأساسية : واحد هو تكامل نظام الشعاع المزدوج ، الذي يجمع بين شعاع ايون شعاع الالكترون . والثاني هو عملية ذكية ، مجهزة كاميرا اتفاقية مكافحة التصحر ، شاشات الكريستال السائل لوحة التحكم ، ودعم التكيف الدينامي وعملية الرصد ؛ ثالثا ، تصميم نموذج الجدول ، مثل تركيب مزدوج القدم هيكل مناسب 5-30mm عينة ، الأخدود امتصاص الاهتزاز تصميم لتحسين دقة المعالجة . وبالإضافة إلى ذلك ، يمكن أن تودع الغاز بمساعدة ترسيب ( GIS ) طبقة واقية في منطقة القطع ، مما يقلل من الأضرار الحافة .

مجال التطبيق : في تصنيع أشباه الموصلات ، فيبوناتشي يستخدم عكس تشريح رقاقة ، وتحليل الفشل ، والكشف عن العيوب النانومترية البينية . في مجال علم المواد ، يمكن تحليل المعادن الحدود الحبوب ، وتوزيع الجسيمات النانوية و حالة الإجهاد . في دراسة علم الأحياء ، رقيقة جدا من شرائح الخلايا التي تم إعدادها . علم الآثار من خلال قطع السيراميك القديمة ، وتحليل عملية التصنيع و التطور التاريخي . عالية الدقة والمرونة تجعل من منصة عالمية متعددة التخصصات في البحث .