التغلب على بقايا ميكرون الغراء هو التحدي الرئيسي لضمان موثوقية عالية الكثافة الكلور الترابط . البلازما آلة إزالة الصمغ هو التكنولوجيا الرئيسية لحل هذه المشكلة بسبب عدم الاتصال ، عالية التجانس ودقة التحكم الفيزيائية والكيميائية التآزر .
الطريق إلى حل هذه المشكلة هو أساسا المتجسدة في الجوانب الثلاثة التالية :
متباين الخواص النقش و التحكم في حجم
عالية الطاقة الأيونات في البلازما ، مدفوعا الحقل الكهربائي ، يمكن أن تصل إلى سطح الجدار تقريبا عموديا . هذا الاتجاه القصف يجعل معدل التفاعل الكيميائي في الاتجاه الرأسي أكبر بكثير من الاتجاه الأفقي ، وبالتالي تحقيق متباين النقش . هذا أمر بالغ الأهمية خاصة لتنظيف بقايا الغراء في الجزء السفلي من حفرة عميقة أو من خلال ثقب أعمى ، والتي يمكن إزالة بقايا بفعالية ، وفي الوقت نفسه حماية المواد الأساسية مثل الألياف الزجاجية على الجدار الجانبي من حفرة من الإفراط في تآكل ، والحفاظ على شكل هندسي و دقة الأبعاد من ثقب الجدار ، وتجنب " overcorrosion " أو " sidecorrosion " .
2 - عمق التآزر بين القصف البدني و التفاعلات الكيميائية
جوهر البلازما التنظيف هو التعاون بين المادية الاخرق و التفاعلات الكيميائية .
المادية الاخرق : الأيونات ذات الطاقة العالية ( مثل ع⁺ ) مباشرة من خلال الطاقة الحركية تؤثر على بقايا الجزيئات الغروية " كسر " و الاخرق ، ولا سيما غير القطبية ، عبر ربط كثيفة من بقايا العنيد لها تأثير غريب .
التفاعلات الكيميائية : نشط الجذور الحرة ( على سبيل المثال ، o ⁺ ، و ⁺ ) تتفاعل مع بقايا المطاط العضوي ، تتحلل إلى تطاير المشارك ̀ ، ح ̀ س وغيرها من الغازات الجزيئية الصغيرة ، يتم ضخها من قبل نظام فراغ . على سبيل المثال ، الأكسجين البلازما يمكن أن كفاءة أكسدة المواد الهيدروكربونية .
العمل البدني " كسر " و العمل الكيميائي " التحلل " ، وهما التعاون لضمان أن من أسفل إلى جدار الحفرة ، حتى في submicron الفجوة من بقايا المطاط يتم إزالتها بشكل موحد .
3 - صقل تكنولوجيا البلازما
البلازما الحديثة آلة إزالة الصمغ يدرك " حسب الطلب " إزالة ميكرون الصف الغراء الخبث من خلال التحكم بدقة البارامترات التكنولوجية :
صيغة الغاز : الغاز مختلطة مع o ₂ / قوات التحالف أو o ₂ / ع . س هو المسؤول عن الأكسدة الكيميائية ، فلوريد جذرية تنتجها CF يمكن أن تعزز النقش على البوليمرات المعقدة ، في حين أن ع يعزز القصف الجسدي . نسبة يمكن تعديلها بدقة حسب تكوين الغراء الخبث .
قوة التحكم في الضغط : انخفاض الضغط الجوي يمكن أن تزيد من كثافة البلازما و متوسط المسار الحر ، وتعزيز تباين . مناسبة الترددات اللاسلكية السلطة تسيطر على رد الفعل و معدل النقش ، وتحقيق التوازن الأمثل بين كفاءة التنظيف وحماية ركائز .
وخلاصة القول ، البلازما آلة إزالة الصمغ يمكن الحفاظ على شكل حفرة من خلال النقش متباين الخواص ، وتحقيق عمق التنظيف من خلال العمل التعاوني في الفيزياء والكيمياء ، بالإضافة إلى ضبط ومراقبة عملية دقيقة المعلمة ، وبالتالي حل العيوب المتأصلة في التقليدية الرطب إزالة الصمغ التي من السهل أن تولد بقايا الفقراء التوحيد وتلوث البيئة في micropore ، وتصبح حلقة في تصنيع ثنائي الفينيل متعدد الكلور مع كثافة عالية وموثوقية عالية .