في 2.5d / 3d جيم حزمة ، آلة إزالة البلازما يمكن أن تضمن العائد من خلال إزالة بقايا مقاومة للضوء ، وضمان جودة عالية الكثافة الترابط وتحسين موثوقية العملية .
إزالة بقايا مقاومة للضوء ، وتجنب دائرة كهربائية قصيرة خطأ
في 2.5D / 3D حزمة ، حزمة العائد والموثوقية على المدى الطويل هي التي تحدد مباشرة من قبل ضياع إزالة مقاومة للضوء . التقليدية إزالة الصمغ الرطب لديه بعض القيود في مواجهة معقدة ثلاثية الأبعاد هيكل ، المواد الحساسة و مقياس شدة الريح ، في حين أن البلازما الجافة إزالة الصمغ يستخدم تقنية عالية الطاقة البلازما لإزالة مقاومة للضوء ، والتي لديها مزايا عالية السرعة إزالة الصمغ ، لا تحتاج إلى إدخال المواد الكيميائية ، وتجنب الأضرار المادية .
وتشمل سيناريوهات التطبيق الرئيسية :
- إعادة توجيه طبقة ( RDL ) : بعد تصنيع عالية الكثافة RDL خطوط على fan-out-package ( FOWLP ) أو السيليكون / الزجاج / العضوية طبقات وسيطة ، مقاومة للضوء المتبقية على الجدران الجانبية وأسفل خط عرضة دائرة كهربائية قصيرة أو مقاومة عالية الفشل . البلازما إزالة الصمغ التكنولوجيا يمكن إزالة هذه المواد المتبقية على نحو فعال ، وتجنب دائرة كهربائية قصيرة أو غير طبيعية مقاومة الاتصال من المعدن خط .
- الزجاج من خلال ثقب ( TGV ) : TGV هو 2.5D / 3D التراص الأساسية عمودي ربط القناة ، من خلال ثقب مقاومة للضوء إزالة تواجه ارتفاع نسبة الجانب التحدي . البلازما يمكن أن يزيل بقايا مقاومة للضوء من خلال ثقب ، وضمان موثوقية وتجنب خطر microcrack الناجمة عن التقليدية الرطب إزالة الصمغ .
ضمان جودة عالية الكثافة الترابط ، وتحسين الأداء الكهربائي
البلازما آلة إزالة الصمغ من خلال تكنولوجيا البلازما عن بعد وتصميم البلازما عالية الكثافة ، وضمان تحقيق تأثير إزالة الصمغ موحدة في بنية معقدة :
1 . المزايا التقنية :
- استخدام البلازما عن بعد ، والتي يمكن تجنب الأضرار الناجمة عن رقاقة
- البلازما عالية الكثافة ، وسرعة إزالة الصمغ ، تفاوت أقل من 5 ٪
- محاكاة تصميم لفائف ، التفريغ مستقرة ، وارتفاع كفاءة التأين البلازما
2 . الوجه رقاقة التطبيق :
في عملية الوجه ، البلازما الجافة إزالة الصمغ يمكن إزالة بقايا مقاومة للضوء على سطح UBM والفجوة ، وتجنب التسبب في واجهة الفشل ( الظاهري لحام / تجويف ) ، وبالتالي ضمان موثوقية وأداء الحزمة .
تحسين موثوقية العملية وضمان الاستقرار على المدى الطويل
البلازما آلة إزالة الصمغ يضمن موثوقية التعبئة والتغليف من خلال مراقبة عملية دقيقة وإدارة درجة الحرارة :
1 . ميزة التحكم في درجة الحرارة :
- تصميم تجويف تبريد المياه ، ودرجة حرارة الشغل لا يتجاوز 42 ℃ ، وتجنب الأضرار الحرارية
- دعم خليط من غاز الأرجون والهيدروجين لإزالة أكاسيد ، خليط من غاز الأرجون والأكسجين لإزالة المواد العضوية وغيرها من مزيج من الغازات العملية
2 . عملية التوحيد :
من خلال توحيد معايير عملية البلازما ، زاوية الاتصال والاستقرار لا التبطين الأهداف تتحقق . البيانات التجريبية تبين أن زاوية الاتصال يتقلب إلى حد كبير بعد اعتماد طريقة التحميل الأفقي ، فوسفوكيناز الكرياتين القيم أكثر من أو يساوي 2.0 ، والتي تلبي متطلبات الإنتاج الضخم .
اتجاه التنمية التكنولوجية وتحسين العائد
1 . تكنولوجيا تطوير إتجاه :
- الميكروويف آلة إزالة الصمغ البلازما يستخدم 2.45ghz التردد ، معدل إزالة الصمغ هو 0.2 ~ 0.4 μ م / دقيقة .
- متوافق مع 8 بوصة أو أقل من العينات ، مع أقصى قدر من القدرة على تجهيز الدفعات تصل إلى 25 قطعة 6 بوصة عينات
2 . تحسين تأثير العائد :
-- بعد العلاج مع فراغ البلازما الأنظف ، وقوة الترابط أسلاك الرصاص بنسبة 30 ٪
- تحسين العائد من 92 ٪ إلى 98 ٪ ، وخفض معدل إسقاط عثرة إلى أقل من 0.05 ٪ .
من خلال آلية فريدة من نوعها الفيزيائية والكيميائية ، البلازما آلة إزالة الصمغ يمكن إزالة بقايا مقاومة للضوء ، وضمان موثوقية عالية الكثافة الترابط ومراقبة دقيقة من عملية الاستقرار في 2.5d / 3d جيم حزمة .