فراغ فرن أنبوبي هو مفتاح معدات المعالجة الحرارية وتجميع المواد ، واستقرارها يؤثر بشكل مباشر على دقة البيانات التجريبية ونوعية العينة . نظام الصيانة العلمية يمكن أن يطيل عمر المعدات بشكل ملحوظ . النقاط الرئيسية في الصيانة يمكن أن تكون أوضح من الجوانب الثلاثة التالية : العمليات اليومية ، وصيانة دورية ، والاستجابة لحالات الطوارئ .

الصيانة الفورية بعد العملية اليومية

بعد كل تجربة ، الصيانة الأساسية يجب أن تنفذ على الفور : درجة حرارة الفرن يجب أن تنخفض إلى أقل من 100 درجة مئوية ، عالية النقاء النيتروجين هو شغلها ببطء لكسر فراغ ، وبالتالي منع الأوكسجين من العودة إلى تآكل عنصر التدفئة في حالة ساخنة . ارتداء القفازات الواقية من الحرارة عند إزالة أنبوب الكوارتز لتجنب تمزق بسبب الإجهاد الحراري . تغمس في الكحول المطلق مع قماش خالية من الغبار لمسح الجدار الداخلي الموقد و السطح الخارجي من أنبوب الكوارتز ، مع التركيز على إزالة المواد المتطايرة من التبلور . تحقق ما إذا كان ختم شفة يا الدائري هو جزءا لا يتجزأ من الجسيمات الشوائب ، إذا كان هناك أي علامات طفيفة تحتاج إلى إصلاح فراغ سيليكون الشحوم . السيطرة على البرمجيات يجب أن تنفذ " إيقاف تطهير " البرنامج ، واستبدال الغاز المتبقي .

عمق الدوري خطة الصيانة

( أ ) الصيانة الروتينية الشهرية

1 - صيانة نظام فراغ : تفكيك المرحلة السابقة من نشر مضخة ، استبدال المنخل الجزيئي مجفف . افحص مستوى الزيت من مضخة ميكانيكية ، إذا كان لون عميق ، تحتاج إلى استبدال مضخة فراغ النفط .

2 - اختبار وحدة التدفئة : استخدام متعدد لقياس قيمة المقاومة الكهربائية الأسلاك ، الانحراف أكثر من ± 5 ٪ تحتاج إلى استبداله . معايرة PID المعلمات من وحدة التحكم في درجة الحرارة للتأكد من أن الخطأ بين درجة الحرارة منحنى مجموعة قيمة أقل من ± 3 ℃ . . . . . . .

3 - التحقيق في نظام الغاز : تفعيل كل قناة الغاز بدوره ، اختبار صمام الملف اللولبي و ضيق الهواء مع الماء والصابون .

` 2 ` الصيانة الفصلية المتعمقة

1 . أنبوب الكوارتز تجديد العلاج : استخدام أنبوب الكوارتز مغمورة في حمض الهيدروفلوريك الحل ( تركيز 5 ٪ ) نقع لمدة 2 ساعة ، بالموجات فوق الصوتية الاهتزاز لإزالة الرواسب الحرارية ، ثم شطف مع ديونيزيد المياه إلى درجة الحموضة محايدة .

2 - استبدال ختم الجمعية : اضطر استبدال شفة ختم طوقا المطاط نافذة المراقبة ، والتجهيزات الجديدة يجب أن تكون في بيئة فراغ قبل الشيخوخة 8 ساعات .

3 - تعميم نظام تبريد المياه : تنظيف فلتر خزان المياه ، واستبدال المبرد وإضافة المواد الحافظة ، واختبار ما إذا كان تدفق مضخة المياه لتلبية قيمة المعدات .

خطأ شائع في التعامل مع حالات الطوارئ

1 - عدم كفاية فراغ : إعطاء الأولوية إلى التحقق من كفاءة مضخة فراغ ، إذا كان الحد من فراغ أقل من 1 × 10 ⁻ 3 باسكال ، تحتاج إلى استبدال مضخة الزيت وتنظيف منفذ العادم . ثانيا ، تحقق من ارتداء الختم الدائري .

2 . درجة الحرارة خارج السيطرة : قطع التيار الكهربائي الرئيسي على الفور ، والتحقق من ما إذا كان أو لم يكن المزدوجات الحرارية قبالة دائرة كهربائية قصيرة ، إذا لزم الأمر ، استبدال نفس النوع من المزدوجات الحرارية .

3 - تسرب الغاز : استخدام طريقة الضغط لتحديد موقع تسرب الباب ، مع التركيز على التفتيش صمام واجهة نافذة المراقبة ختم مؤقت يمكن استخدام درجة حرارة منخفضة الشمع في حالات الطوارئ .

رابعاً - توصيات الإدارة الطويلة الأجل

إنشاء ملف المعدات بطاقة ، سجل وقت الصيانة في كل مرة ، واستبدال قطع الغيار و ظروف غير طبيعية . من المستحسن استخدام " ثلاث نوبات " نظام التناوب لتجنب استمرار الزائد . مرة واحدة في الشهر كامل تحميل اختبار المحاكاة تتم للتحقق من استقرار المعدات تحت ظروف خاصة . من خلال الصيانة الوقائية ، فترة إصلاح المعدات يمكن تمديدها إلى أكثر من ثلاث سنوات لضمان استمرارية البحث العلمي والإنتاج .