فراغ فرن الغلاف الجوي هو المعدات الأساسية من المواد المعالجة الحرارية ، واستقرارها يؤثر بشكل مباشر على دقة البيانات التجريبية ونوعية العينة . وفيما يلي ستة نماذج رئيسية من أجل فرز تفاصيل الأداء وأسباب الفشل المشترك والحلول :
نظام التدفئة غير طبيعي
خطأ : تأخر معدل التسخين ، درجة الحرارة الفعلية أقل من القيمة المحددة أو المحلية الانهاك .
الأسباب الأساسية :
- عنصر التدفئة الكهربائية الشيخوخة : كربيد السيليكون / الموليبدينوم الأسلاك في درجة حرارة عالية على المدى الطويل الحبوب الخشنة ، وزيادة المقاومة يؤدي إلى انخفاض الطاقة ؛
- سوء الاتصال : الأكسدة تخفيف قطب المحطة الطرفية ، وزيادة انتقال الخسارة الحالية ؛
- فشل المزدوجات الحرارية : التعويض عن الأضرار التي لحقت بطبقة عازلة من الأسلاك مما أدى إلى الانجراف إشارة ، أو الاتصال نهاية الساخنة المغلفة مع المواد المتطايرة .
حلول
• قياس المقاومة من عناصر التدفئة الكهربائية على أساس منتظم ( حوالي بضع مئات من أوم من السيليكون الكربون قضيب جديد ) واستبدالها إذا تجاوز المعيار .
→ استخدام الصنفرة البولندية الكهربائي الاتصال وتطبيق لصق موصل ، وجع عزم الدوران إصلاح الأسلاك الجوز .
عند معايرة المزدوجات الحرارية ، يجب وضع نهاية الساخنة في وسط الفرن لتجنب تدفق الهواء تهب مباشرة في المنطقة .
عدم كفاية فراغ
أداء نموذجي : الحد من فراغ هو أكثر من 30 ٪ أقل من القيمة النظرية ، الضغط يرتفع بسرعة خلال فترة الاحتفاظ الضغط .
تتبع مصدر الخطر الخفي :
- فشل الختم الدائري : يا الدائري بسبب ارتفاع في درجة الحرارة الشيخوخة تكسير ، أو عند تركيب شفة ضغط تشوه ؛
- تدهور أداء مضخة فراغ : انسداد فلتر ضباب النفط يؤدي إلى انخفاض سرعة الضخ ، القرص الدوار ارتداء الفجوة الفقراء جدا .
- إخفاء نقطة تسرب الهواء : مراقبة نافذة تسرب الكراك ، الجذعية دينامية ختم الفشل ، مثل تسرب الصغيرة . . . . . . .
مهارات التشخيص
طريقة الكشف عن تسرب الباب : إغلاق صمام عالية فقط فتح صمام منخفضة قبل اختبار خط أنابيب ، والحد تدريجيا من تسرب ؛
الكشف عن تسرب الهليوم مطياف الكتلة يمكن أن دقة تحديد موقع 0.1pa · م 3 / ث مستوى معدل تسرب صغير . . . . . . .
ثالثاً - عدم دقة مراقبة الغلاف الجوي
الخصائص الشاذة : مقياس الجريان يظهر تذبذب كبير ، خروج الغاز التكوين ينحرف عن تحديد نسبة .
مفتاح ربط التحقيق :
- وحدة تحكم التدفق الجماهيري ( MFC ) لمعايرة الإزاحة : إدخال الغازات المسببة للتآكل لفترة طويلة يؤدي إلى الانجراف صفر من أجهزة الاستشعار؛
- ضعف التجانس في خلط الغاز : عدم كفاية حجم المخزن المؤقت عند التقاء الغازات المتعددة القنوات ، مما يؤدي إلى تدفق نابض؛
- صمام تنظيم الضغط مرة أخرى عالقة : تراكم الجسيمات داخل الجسم صمام يعوق حركة المكبس .
نقاط الصيانة :
كل ربع مع النيتروجين تدفق الغاز ، استبدال MFC الجبهة فلتر ; على رد الفعل الغازات مثل ( NH ) مقاومة للتآكل سبائك Hastelloy مسار الغاز المستخدمة .
اضطراب في عملية التحكم في درجة الحرارة
الأعراض على سبيل المثال : معرف المعلمة ضبط النفس فشل معدل التبريد بين شرائح غير طبيعي القفز .
الأجهزة والبرمجيات الحوافز :
- التداخل الكهرومغناطيسي في مقياس درجة الحرارة : يتم توصيل التوافقيات الناتجة عن محول التردد إلى لوحة التحكم عن طريق كابل التوصيل؛
- التلبيد من جهات الاتصال التبديلات : كثرة انقطاع التيار الزائد يؤدي إلى التصاق جهات الاتصال؛
- الحالة الصلبة التقوية ( SSR ) الشيخوخة : زيادة انخفاض الجهد التوصيل يؤدي إلى عدم كفاية انتاج الطاقة .
تدابير الحماية :
إضافة سلك التأريض المستقلة للقضاء على التداخل الكهرومغناطيسي . اختيار السيارات الصف الذهب مطلي الاتصال التتابع . إصلاح قطاع الأمن إجراء اختبار استبدال كل سنة .
ختم فشل فرن جسم
مخاطر عالية : عودة الهواء يؤدي إلى تفاعل الأكسدة ، أو الندى في قسم التبريد تآكل الجدار الداخلي .
مواقع التفتيش الرئيسية :
- ارتداء الرف والعتاد من باب الفرن : كثرة فتح وإغلاق يؤدي إلى الإفراط في إزالة محرك الأقراص ، وعدم كفاية ختم الضغط ؛
- تخفيف البراغي شفة : الإفراج عن الإجهاد بسبب اختلاف معامل التمدد من مواد مختلفة في درجة حرارة عالية ؛
- تكسير زجاج الكوارتز في نافذة المراقبة : التبريد السريع والصدمات الحرارية الحادة تنتج الشقوق المجهرية .
برامج الترميم :
استبدال بولي تترافلوروإيثيلين مليئة طوقا المعدنية المتعرجة . الإجهاد الحراري هو خفض درجة الحرارة خطوة البرنامج .
فشل نظام توزيع المياه
سلسلة من ردود الفعل : الإفراط في درجة حرارة المياه يؤدي إلى حماية الزائد إيقاف ، مقياس يسد مبادل حراري للحد من كفاءة التبريد .
استراتيجيات الوقاية
- تركيب لوحة مبادل حراري لمعالجة مياه التبريد ، والحفاظ على درجة حرارة أقل من 25 ℃ ؛
- تنظيف فلتر خزان المياه شهريا ، وتنظيف أنابيب المكثف مع المنظفات كل ثلاثة أشهر؛
- تكوين جهاز التبديل التلقائي المزدوج مصدر المياه لمنع انقطاع إمدادات المياه الرئيسية .