في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، والالكترونيات مرنة ، حالة الإجهاد من المواد الفيلم مباشرة يحدد أداء الجهاز و الحياة .في الموقع فيلم اختبار الإجهادمع خاصية " في الوقت الحقيقي رصد فائقة الدقة " ، أصبح الجهاز الرئيسي لالتقاط التغيرات في حجم النانو الصغيرة الإجهاد . يمكن أن ندرك بدقة تقلبات الضغط من نانو الحجم رقيقة في كامل عملية إعداد الفيلم وخدمة ، وتوفير بيانات الدعم من أجل حل المشاكل مثل انفتال وتكسير الجهاز .

نواة التقنية : علم الشفرات الصغيرة نانو الإجهاد

دقة التقاط قدرة اختبار أداة تنبع من اثنين من التكنولوجيات الرئيسية . أولا ، نظام قياس التداخل الضوئي ، والذي يستخدم مبدأ التداخل الضوئي ، تحويل الركيزة الصغيرة تشوه الناجمة عن الإجهاد في الفيلم إلى إشارة النزوح من هامش تدخل ، ويمكن تحقيق 0.1 الآلام والكروب الذهنية الإجهاد القرار من خلال تحليل الخوارزمية ، حتى لو كان سمك الفيلم هو فقط بضعة نانومتر ، يمكن أن تستجيب بدقة . الثانية ، في الموقع مطابقة تصميم المعدات يمكن أن تكون متكاملة في الاخرق ، التبخر ، وغيرها من معدات إعداد الفيلم ، في فراغ ، وارتفاع في درجة الحرارة وغيرها من الظروف القاسية في الوقت الحقيقي جمع البيانات ، وتجنب الكشف عن خط التقليدية الناجمة عن الإفراج عن الإجهاد خطأ ، وتحقيق " إعداد الكشف عن التكامل " .

المزايا الأساسية : تجاوز التقليدية القدرة على الكشف عن الإجهاد

بالمقارنة مع الأساليب التقليدية ، في الموقع رقيقة اختبار الإجهاد يظهر ثلاث مزايا . أولا ، ارتفاع القرار في الوقت المناسب ، يمكن التقاط الإجهاد لحظة التغيير المفاجئ في ميلي ثانية واحدة ، مثل الإجهاد بدء العملية في مرحلة مبكرة من ترسب الفيلم ، وتوفير أساس دينامية لتحسين فيلم تشكيل المعلمات . ثانيا ، دقة تحديد المواقع المكانية يمكن أن يتحقق من خلال التركيز على منطقة معينة من خلال نظام بصري مجهري ، والحد من " متوسط " طريقة القياس التقليدية يمكن حلها . ثالثا ، عدم الاتصال قياس الليزر طريقة الكشف يتجنب الأضرار الناجمة عن الاتصال الميكانيكية الدقيقة نانو الأفلام ، وخاصة مناسبة للكشف عن الأفلام البوليمر الضعيفة في مرونة الإلكترونات .

تطبيق المشهد : حارس الجودة في تصنيع النانو الصغيرة

هذه المعدات أصبحت أداة تصنيع نانو مايكرو في العديد من المجالات . في تصنيع أشباه الموصلات رقاقة ، فإنه يستخدم لرصد حالة الإجهاد من الممعدنه الفيلم على سطح رقاقة لتجنب رقاقة تكسير أو فشل الدائرة بسبب تركيز الإجهاد . في مجال عرض مرنة ، في الوقت الحقيقي السيطرة على الإجهاد من لقد اخترت تغليف الفيلم ، وضمان الاستقرار وخدمة الحياة من الجهاز عند الانحناء . في صناعة الضوئية ، وتحسين مطابقة بين طبقات من الإجهاد ، وتحسين كفاءة التحويل الكهروضوئية . في مجال الطيران والفضاء ، توزيع الضغط من المركبات الفضائية طلاء الفيلم هو الكشف عن أداء الحماية في بيئة قاسية مكفولة .

مع تطور تكنولوجيا تصنيع النانو الصغيرة نحو " أصغر وأكثر دقة "في الموقع فيلم اختبار الإجهادأكثر وضوحا . فإنه لا يمكن إلا أن دقة التقاط التغيرات في حجم النانو الصغيرة الإجهاد ، ولكن أيضا من خلال بيانات التغذية المرتدة لتحقيق حلقة مغلقة التحسين من المعلمات العملية ، حتى أن نسبة المؤهلين من أجهزة رقيقة أكثر من 30 ٪ . كما يؤكد الماسك في مجال تصنيع النانو الدقيقة ، فإنه يوفر ضمانة تقنية قوية للبحث والتطوير والإنتاج الضخم من الأجهزة .