المملكة العربية السعودية bandit في الوقت الحقيقي اختبار درجة حرارة الركيزةباعتبارها واحدة من أهم أجهزة قياس درجة الحرارة في تصنيع أشباه الموصلات ، ورصد درجة حرارة الركيزة ديناميات النمو وتلميع ركائز متعددة في وقت واحد مطلوب - رصد متزامن يتحقق من خلال ثلاث طبقات هيكل توزيع مجموعة أجهزة الاستشعار ، متزامن نقل الإشارات ، وتجهيز البيانات المركزية ، والتي تأخذ في الاعتبار دقة الكشف في الوقت الحقيقي ، ويوفر بيانات موثوق بها لدعم عملية التحسين .

وزعت مجموعة أجهزة الاستشعار : أسس متعددة الاستشعار موازية

جوهر الصك هو توزيع أجهزة الاستشعار تصميم متعدد الركيزة المشهد .

تخصيص وحدة الاستشعار : وفقا لعدد من الركازة و وضع الفضاء ، في منطقة الكشف عن عدد من وحدات الاستشعار درجة الحرارة الصغيرة المقابلة ، وحدة الاستشعار الحرارية أو استخدام عالية الدقة قياس درجة الحرارة المقاومة من حيث المبدأ ، عقدة حجم التحكم في مجموعة صغيرة للحد من التدخل في العملية ، ويمكن أن تكون مناسبة لمختلف المواد الركيزة السيليكون ، كربيد السيليكون وغيرها من الخصائص الحرارية . كل وحدة الاستشعار بشكل مستقل يهدف إلى نقطة قياس درجة الحرارة الحرجة ( مثل مركز حافة المنطقة ) من ركيزة واحدة لضمان دقة التقاط نقطة واحدة درجة الحرارة البيانات .

مكافحة التشويش تصميم الاستشعار : وحدة الاستشعار المتكاملة التدريع هيكل ، على غرار مكافحة التشويش منطق مزدوج Shield التكنولوجيا ، يمكن أن تقاوم الضوضاء الكهرومغناطيسية والبلازما تدخل في عملية البيئة ، والحفاظ على إشارة مستقرة في درجة حرارة عالية ، فراغ وغيرها من الظروف القاسية ، وتجنب العوامل البيئية الناجمة عن بيانات متعددة القنوات المتبادل .

تزامن نقل الإشارات : القضاء على توقيت الانحراف

من خلال الاستفادة المثلى من الأجهزة والبروتوكولات ، وضمان درجة الحرارة إشارات من ركائز متعددة يتم نقلها بشكل متزامن إلى وحدة المعالجة ، وتجنب الاختلافات في تأخير البيانات :

مصمم من طرف PLANE SLL :المملكة العربية السعودية bandit في الوقت الحقيقي اختبار درجة حرارة الركيزةكل وحدة الاستشعار المقابلة قناة خاصة ، متزامن مع تحريك آلية تستخدم بين القنوات ، إشارة التحكم من مصدر ساعة موحدة تستخدم لجمع الوقت تسلسل ، لضمان أن جميع البيانات درجة حرارة الركيزة التي تم التقاطها في نفس الوقت العقدة ، تسلسل الانحراف تسيطر في ميكروثانية .

كفاءة نقل البيانات وصلة : اعتماد تقنية نقل منخفضة الكمون ، على غرار إشارة الإرسال منطق نظام قياس درجة الحرارة اللاسلكية ، وتحويل الإشارات التناظرية درجة الحرارة التي تم جمعها من كل قناة في الإشارات الرقمية ، وتحميل البيانات في نفس الوقت من خلال الحافلات عالية السرعة ، وتجنب تأخير الطابور الناجم عن مسلسل انتقال ، وضمان الأداء في الوقت الحقيقي متعددة الركيزة البيانات .

معالجة البيانات المركزية : الأبعاد تحليل التكامل

من خلال خوارزمية خاصة و منصة البرمجيات ، والتكامل ، وتحليل وعرض بيانات درجة حرارة الركيزة متعددة تتحقق .

بعد تلقي إشارات متعددة القنوات ، وحدة معالجة البيانات بشكل مستقل معايرة البيانات الأصلية من كل ركيزة على أساس مسبقا معايرة المعلمات ( مثل معامل درجة الحرارة ، خطي تصحيح القيمة ) للقضاء على خطأ منهجي بين وحدات الاستشعار . وعلاوة على ذلك ، فإن محور الوقت من كل الركيزة هو الانحياز من خلال خوارزمية تزامن لتشكيل مجموعة بيانات متعددة الركيزة درجة الحرارة في وقت موحد تنسيق .

التصور والإنذار المبكر عرض : منصة البرمجيات تعتمد على تصميم واجهة مركزية ، والتي يمكن عرض في الوقت الحقيقي قيمة درجة الحرارة ، درجة الحرارة منحنى التغير و توزيع الحرارة الحرارية خريطة جميع ركائز في نفس الوقت . عند أي درجة حرارة الركيزة يتجاوز عتبة محددة مسبقا ، ونظام إنذار يمكن تشغيلها على الفور ، ويمكن تحديد عدد غير طبيعي الركيزة بدقة .

التقنيات الرئيسية : الدقة والاستقرار السيطرة

توقيت التزامن : عالية الدقة الكريستال المذبذب يستخدم مصدر الساعة لضمان اتساق متعدد القنوات تردد أخذ العينات ، معدل أخذ العينات يمكن أن تصل إلى عشرات الآلاف من المرات في الثانية الواحدة ، يمكن التقاط تقلبات عابرة من درجة حرارة الركيزة .

اتساق البيانات المعايرة : معايرة جميع وحدات الاستشعار من خلال معيار مصدر الحرارة قبل كل بدء التشغيل ، وضمان قياس الانحراف بين قنوات مختلفة ≤ ± 0.5 ℃ ؛

التكيف البيئي الأمثل : وحدة الاستشعار وصلة الإرسال تعتمد على درجة حرارة عالية ، ومقاومة للتآكل المواد ، والتي يمكن أن تتطابق مع بيئة عملية سيئة في تصنيع أشباه الموصلات ، وضمان الاستقرار على المدى الطويل الرصد .

تنفيذ هذا البرنامج التعاوني متعدد الأبعادالمملكة العربية السعودية bandit في الوقت الحقيقي اختبار درجة حرارة الركيزةكيفية تحقيق رصد متزامن متعدد الركيزة يمكن رصد درجة حرارة الركيزة الدولة في وقت واحد ، وتوفير دعم قوي من أجل السيطرة على درجة الحرارة التوحيد الشاذ التحقيق في عملية متعددة محطة أشباه الموصلات ، وتعزيز الاتساق بين الركيزة تجهيز العائد و أداء الجهاز .