تصحيح ومعايرة مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) هو خطوة رئيسية لتحقيق دقة عالية الدقة التصوير والقياس . وفيما يلي تفاصيل عملية التصحيح والمعايرة والنقاط الفنية :

الإعداد البيئي ومعدات التفتيش

1 - المتطلبات البيئية

- امتصاص الصدمات : فؤاد حساسة جدا للاهتزاز ، يجب أن توضع على منصة مخصصة للصدمات ، وتجنب الاضطرابات الداخلية الاهتزاز .

- درجة الحرارة والرطوبة : درجة حرارة المختبر يجب أن تسيطر عليها في 20-25 ℃ ، الرطوبة في 40 ٪ - 60 ٪ ، ومجهزة نظام تنقية الهواء .

- التداخل الكهرومغناطيسي : الابتعاد عن المجال المغناطيسي القوي ، الحقل الكهربائي أو المعدات ذات التردد العالي ، وضمان أسس السلطة بشكل جيد .

2 - فحص المعدات

- التأكد من أن الجهاز المضيف ، المراقب المالي ، المسبار ، عينة الجدول ، وما إلى ذلك لا ضرر ، محاذاة مسار الليزر الأولي .

- التحقق من ما إذا كان التحقيق ناتئ يتأرجح بحرية على نحو سلس ، وتجنب انسداد الميكانيكية .

تركيب الأجهزة و التهيئة

1 . يدقق في تركيب

- اختيار المسبار وفقا لخصائص العينة ( على سبيل المثال ، يدقق في وضع يتطلب تردد الرنين عالية ) ، وتثبيته على المسبار كليب وتثبيته على قوس ، وضمان أن ناتئ خالية من الإجهاد والتشوه .

- قياس منحنى القوة باستخدام عينة قياسية ( مثل سحابة ماستر ) لتحسين كثافة إشارة انعكاس الليزر .

2 . محاذاة الليزر

- ضبط الموقف من الليزر الارسال و الكاشف بحيث شعاع الليزر يمكن أن تشع بدقة تعكس المنطقة من التحقيق ناتئ .

تكوين برامج المعلمة التهيئة

1 . بدء تشغيل النظام واختيار نمط

- بدوره على جهاز الكمبيوتر ، وحدة تحكم ، وحدة تحكم الجدول عينة ، والوصول إلى برامج التحكم مثل nanoscope .

- اختيار النماذج التجريبية ( مثل scanasyst نموذج ذكي ، اضغط على واسطة ، أو وضع الاتصال ) ووضع المعايير البيئية ( الغلاف الجوي / السائل ) .

2 . المعلمة مسبقا

- scanasyst واسطة : أدخل نطاق المسح الضوئي ( على سبيل المثال ، scansize < 1 ميكرون ) ، تمكين التحكم التلقائي .

- طريقة التنصت : تحديد تردد الرنين الطبيعي من التحقيق ( من خلال وظيفة السيارات تون ) ، وتحسين السعة setpoint

- وضع الاتصال : تعيين عتبة انحراف ناتئ ، وتجنب الضغط المفرط على طرف الإبرة والعينة .

معايرة واختبار

1 . يدقق في المعايرة

- قياس منحنى القوة باستخدام عينات قياسية ( مثل شعيرات أكسيد الزنك ) لضبط إشارة الليزر إلى منطقة الانعكاس الأمثل .

- إذا كان scanasyst واسطة ، يمكنك تخطي دليل تعديل المعلمة تلقائيا تحسين ظروف التصوير بواسطة البرنامج .

2 . z-direction المعايرة

- معايرة منحنى القوة : عن طريق التحقيق يقترب من سطح العينة ، وقياس العلاقة بين انحراف ناتئ والمسافة ، وتحديد حساسية التحقيق والأصفار .

- subnanometer تصحيح الارتفاع : معايرة z-direction مقياس ( ص = ح / hmeas ) باستخدام خطوة الذرية عينة ( على سبيل المثال ، سي ( 111 ) .

المعلمات الأمثل واختبار التصوير

1 . إبرة المسح الأولي

- انقر على زر " Engage " واسقاط التحقيق ببطء إلى سطح العينة ( حوالي 5-10 ميكرون المسافة ) ، ومراقبة التغيرات في إشارة الليزر .

- إجراء مسح أولي ، وتعديل معدل المسح الضوئي ، جزءا لا يتجزأ من كسب و كسب النسبي على أساس النتائج .

2 . غرامة المسح وجمع البيانات

- اختيار منطقة المسح الضوئي ( على سبيل المثال 1 ميكرون × 1 ميكرون ) ، وتحسين معايير المسح الضوئي ( على سبيل المثال ، والحد من سرعة المسح الضوئي ، وزيادة عدد العينات ) من أجل تحسين القرار .

- رصد جودة الصورة في الوقت الحقيقي ، وتحليل البيانات مثل خشونة السطح والارتفاع التوزيع من خلال البرامج بعد حفظ الصورة .

استكشاف الأخطاء وإصلاحها والصيانة

1 - معالجة الأعطال الشائعة

- طمس الصورة : التحقق من ما إذا كان التحقيق ملوثة أو محاذاة الليزر يعوض .

- قطعة أثرية واضحة : تحسين معدل المسح الضوئي أو ضبط setpoint للحد من قوة عرضية من طرف الإبرة .

- فقدان الإشارة : إعادة معايرة المسبار أو تنظيف سطح العينة الممتزات .

2 - الصيانة الدورية

- تنظيف النظم البصرية ، وفحص الأجزاء الميكانيكية ، وتحديث البرمجيات ، واختبار حدة التحقيق بانتظام باستخدام عينات من TipCheck ( على سبيل المثال ، عينة قياسية من الجسيمات 4.5 نانومتر ) .

وظائف متقدمة وتحليل البيانات

1 - وضع ديناميكية التصوير : في وضع ديناميكية ، يدقق في مسح سطح العينة بسرعة مع الحفاظ على السعة ثابتة . هذا النمط هو مناسبة لسرعة التصوير لينة عينة التصوير .

مرحلة التصوير : مرحلة التصوير يمكن أن توفر معلومات عن التصاق ومرونة سطح العينة . الخصائص الفيزيائية من العينات التي يمكن الحصول عليها من خلال تحليل مرحلة تغيير التحقيق الاهتزاز .

3 . الجمع بين النمذجة ثلاثية الأبعاد مع الوسائط : بناء نموذج ثلاثي الأبعاد على سطح العينة باستخدام بيانات فؤاد ، أو الجمع بين التحليل الطيفي رامان لتحقيق هيكل الملكية التعاونية التحليل .