متعددة الوظائف المسح مجهر التحقيق ( SPM ) هو نوع من ارتفاع القرار أداة تحليل السطح الذي يجمع بين تقنية المسح مجهر التحقيق ( SPM ) وغيرها من المهام . انها عالية جدا القرار المكانية ، ويمكن الكشف عن تضاريس السطح و الخصائص الفيزيائية والكيميائية المحلية على نطاق النانو ، وفي الوقت نفسه لديها العديد من طرق القياس ، والتي تنطبق على الفيزياء والكيمياء والبيولوجيا وغيرها من المجالات البحثية . فائدة نموذج يحتوي على مزايا هذا فائدة نموذج لا يمكن إلا أن توفر سطح التصوير التقليدية المسح المجهر التحقيق ، ولكن أيضا يمكن أن تحمل على اختبار متعددة الوظائف من مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) ، مجهر مسح نفقي ( STM ) ، الحالية ، المغناطيسية ، التوصيل الحراري ، الخ .

متعددة الوظائف المسح مجهر التحقيقالعناصر الرئيسية :
1 . المسح التحقيق : التحقيق هو عنصر أساسي من عناصر المسح مجهر التحقيق . وهي عادة ما تكون مصنوعة من المعدن أو السيراميك حادة جدا ، مع نصف قطرها تصل إلى مستوى النانومتر . المسبار التشكل ، حجم تلميح ، والمواد ، وما إلى ذلك سوف تؤثر على دقة القياس والجودة .
2 . مسح منصة : منصة المسح الضوئي هو جزء من دعم العينة ، يمكن تحقيق دقة ثلاثية الأبعاد الصغيرة الحركة . عادة ما تكون مدفوعة من قبل منصة عالية الدقة للسيارات ، والتي يمكن تحقيق التشرد الصغيرة من العينات في س ، ص ، ض الاتجاهات لمسح كامل سطح العينة .
3 . الليزر نظام الانعكاس : في فؤاد واسطة ، شعاع الليزر من خلال مرآة تعكس على التحقيق ، يمكن قياس دقيق التحقيق التشرد الصغيرة ، وبالتالي الحصول على معلومات عن ارتفاع سطح العينة .
4 - وحدة تحكم نظام الحصول على البيانات : نظام التحكم هو المسؤول عن ضبط المعلمات المسح الضوئي ( مثل معدل المسح الضوئي ، والمسافة بين التحقيق والعينات ، وما إلى ذلك ) ، وجمع البيانات وتجهيزها وتحليلها . نظام الحصول على البيانات عادة ما يجمع بين حساسية عالية مكبر للصوت الرقمية أداة لتحويل المعلومات من التحقيق عينة التفاعل في الكمبيوتر التعرف على إشارة .
5 - وحدات وظيفية : وحدات وظيفية خاصة تشمل الكهرباء والمغناطيسية والحرارية وغيرها من وحدات القياس . هذه الوحدات يمكن تركيبها في نظام المجهر ، ويمكن استخدامها لتحقيق التحول واختبار مختلف طرق القياس .
الوظائف الرئيسية المسح مجهر التحقيق متعددة الوظائف :
1 . تضاريس السطح القياس : يمكن أن توفر دقة عالية سطح التصوير ، تكشف عن سطح المجهرية . صورة ثلاثية الأبعاد من تضاريس السطح يمكن الحصول عليها عن طريق فؤاد ، القرار يمكن أن تصل إلى مستوى subnanometer . . . . . . .
2 - قياس القوة المحلية : في فؤاد واسطة ، قوة التفاعل بين التحقيق تلميح سطح العينة سوف تؤثر على حركة التحقيق ، ومن ثم قياس قوة التغيير من خلال نظام مراقبة ردود الفعل . الخواص الميكانيكية مثل معامل مرونة و قوة لاصقة يمكن الحصول عليها عن طريق القوة بعد منحنى .
3 - القياسات الكهربائية والمغناطيسية : المحلية الحالية ، المحتملة ، الموصلية الكهربائية المحلية وغيرها من الخصائص الكهربائية يمكن قياسها . هيكل الالكترونية معلومات عن سطح العينة يمكن الحصول عليها في STM واسطة . طريقة القياس المغناطيسي يمكن أن تكشف عن هيكل المحلية المغناطيسي المواد ، مثل توزيع الجسيمات المغناطيسية والتفاعل .
4 - التوصيل الحراري والتوصيل الحراري : التوصيل الحراري للمواد يمكن تقييمها من خلال قياس تأثير حراري . الفرق في التوصيل الحراري من مواد مختلفة لها أهمية كبيرة في نانو النطاق ، ولا سيما في مجال تكنولوجيا النانو ، دقة قياس الخواص الحرارية يمكن أن توجه تصميم وتطبيق مواد جديدة .
5 - تحليل التركيب الكيميائي : جنبا إلى جنب مع غيرها من التقنيات ( مثل المسح المجهر الكهروكيميائية ( SECM ) ، سطح التركيب الكيميائي يمكن تحليلها ، من خلال رد فعل الكهروكيميائية المحلية لرصد عملية التفاعل الكيميائي للعينات .