في صناعة أشباه الموصلات ، طلاء البصرية ، والطاقة الجديدة والمواد وغيرها من المجالات الصناعية الدقيقة ، دقة التحكم في سماكة الفيلم مباشرة يحدد أداء المنتج .مع أكثر من 20 عاما من تراكم التكنولوجيا ، daimei الصك والخدمات التقنية ( شنغهاي ) المحدودة ، وقد بنيت على نظام قياس سماكة الفيلم الذي يغطي ثلاثة مسارات التقنية الميكانيكية الاتصال ، التداخل الضوئي و الانعكاس الطيفي ، وتوفير كامل المشهد حل الصناعة من مختبر البحوث والتنمية إلى خط الانتاج قياس .

　　1 . الميكانيكية قياس الاتصال : نانومتر الدقة " اللمس "

تهدف إلى طلاء المعادن ، طلاء الصلب وغيرها من المشاهد ، daimei يستخدم مسبار عالية الدقة خطوة الصك . العنصر الأساسي هو الماس إبرة تلميح التحقيق الذي يسجل ميكرومتر تموج على سطح الفيلم طبقة من التشرد الرأسي الاستشعار . على سبيل المثال ، في طلاء الذهب قياس أشباه الموصلات الإطار الرصاص ، خطوة تغيير سمك 50nm-10mum يمكن التقاطها بدقة مع سرعة المسح الضوئي من 0.1mm / s و 0.1 هذا الأسلوب يلغي التحقيق ارتداء خطأ من خلال عدة نقاط المعايرة ، ويحقق دقة ± 0.05

　　2 - التداخل الضوئي : ثورة الشفافية في ضوء موجة فك التشفير

على عدسة بصرية ، فلتر ، الخ ، daimei نشر تداخل الضوء الأبيض و ellipsometry التكنولوجيا المزدوجة الطريق . الضوء الأبيض التداخل يستخدم 200-1000nm واسعة النطاق مصدر الضوء لحساب سماكة الفيلم من خلال تحليل انعكاس الضوء نمط التداخل . في إنتاج ع المغلفة عدسة الهاتف المحمول ، ومعدات المسح الضوئي مع 75 درجة زاوية السقوط ، جنبا إلى جنب مع نموذج كوشي المناسب ، يمكن الانتهاء من قياس 5 × 5 شعرية في 3 ثوان ، التوحيد السيرة الذاتية قيمة أقل من أو يساوي 1.5 في المائة . إن ellipsometry يمكن الحصول على معامل الانكسار وسمك 1-500nm الترا رقيقة من خلال تحليل فرق الطور ع / ث ضوء مستقطب ، وتحقيق ± 0.1nm السيطرة في تصنيع لقد اخترت طبقة الانارة .

　　3 - قياس الانعكاس الطيفي : اختراق مبهمة " الطيفية الرئيسية "

تهدف إلى مواد مبهمة مثل أشباه الموصلات رقاقة السيليكون ، سميكة مقاومة للضوء ، daimei وضعت سلسلة من الانعكاس الطيفي filmetricsf3-sx . . . . . . . هذا الجهاز يستخدم 980-1550nm بالقرب من الأشعة تحت الحمراء ، من خلال قياس انعكاس الطيف التحوير المرحلة ، 3mm سميكة su-8 مقاومة للضوء الهيكل الداخلي . في 8 بوصة رقاقة قياس سمك ، 10 ميكرون قطرها بقعة ضوء يمكن أن تخترق طبقة شفافة ، جنبا إلى جنب مع تاك لورنتز نموذج ، خريطة توزيع سمك كامل في 0.5 ثانية ، والتكرار الانحراف أقل من 0.3 ميكرون . جزءا لا يتجزأ من نظام التشخيص يمكن أيضا رصد الإجهاد الفيلم في الوقت الحقيقي ، وتوفير البيانات لدعم عملية التحسين .

من " الإحساس باللمس " الاتصال التحقيق " اختراق " تحليل الانعكاس الطيفي ، daimei الصك يكسر قياس الحدود مع تقنية متعددة المصفوفة . المعدات ليس فقط من خلال شهادة ISO17025 ، ولكن أيضا في عمق صناعة أشباه الموصلات ، الكهروضوئية ، والطاقة الجديدة ، مثل الإنتاج الضخم من حلقة مغلقة ، مع دقة " سمك اللغة " لكتابة الفصل الجديد من الدقة التصنيع في الصين .