التكرار ودقة قياس المجهر الرقمي هي المؤشرات الأساسية لمراقبة الجودة ، والبحث العلمي والتحليل ، وما إلى ذلك أداء المجهر الرقمي يتأثر بعدد من العوامل ، مثل تصميم الأجهزة ، عملية المعايير والظروف البيئية . وفيما يلي تحليل للعوامل التي تؤثر على الروابط التقنية الرئيسية :

دقة النظام البصري

عدسة الهدف تشويه السيطرة

تشويه العدسة الشيئية في الميدان و وسادة شكل يمكن أن يؤدي مباشرة إلى تكبير الفرق بين حافة الصورة و المنطقة الوسطى . على سبيل المثال ، انخفاض تشويه العدسة الشيئية ( تشويه قيم أقل من 0.1 في المائة ) يمكن التحكم في قياس الخطأ في submicron المستوى ، في حين أن تشويه العدسة الشيئية المشتركة يمكن أن يؤدي إلى أكثر من 5 ٪ من الانحراف .

عمق الميدان البؤري الاستقرار

عمق ضحل جدا من الميدان يمكن أن يؤدي إلى عدم وضوح الصورة في طبقات مختلفة من الارتفاع ، مما يؤثر على دقة قياس ثلاثي الأبعاد . . . باستخدام وحدة التركيز الكهربائية ( الدقة ± 0.1 μ م ) يمكن أن تقلل من الخطأ التركيز الاصطناعي ، في حين أن التركيز المشترك تقنية يمكن أن تزيد من تحسين التركيز الانتقائية من خلال ثقب فلتر .

تكوين الأجهزة والمعايرة

استشعار القرار وحجم بكسل

أجهزة الاستشعار عالية الدقة ( على سبيل المثال ، أكثر من 5 ميجا بكسل ) يمكن أن توفر المزيد من التفاصيل ، ولكن الهدف من الفتحة العددية ( نا ) يجب أن تكون مطابقة . إذا كان حجم بكسل ( على سبيل المثال ، 2-2 ميكرون ) أكبر من نظرية القرار من العدسة الشيئية ، يمكن أن يؤدي إلى فقدان المعلومات .

معيار المعايرة

معايرة قطعة يجب أن تكون متسقة مع عينة من المواد و خشونة السطح . على سبيل المثال ، ينبغي أن تكون العينات المعدنية مطلي بالكروم مقياس لتجنب الانحراف المعايرة بسبب اختلاف الانعكاس . فمن المستحسن أن يتم معايرة متعددة ( على سبيل المثال ، 5 مواقع مختلفة ) بعد بدء التشغيل اليومي لتعويض الانجراف الميكانيكية .

الاضطرابات البيئية والتشغيلية

تذبذب درجة الحرارة والاهتزاز

الاهتزاز البيئي ( > 0.01mm / s ) يمكن أن يؤدي إلى طمس الصورة ، يجب استخدام الهواء العائمة العزلة الاهتزاز الجدول أو نشط نظام التخميد . كل ارتفاع في درجة الحرارة 1 ℃ ، التمدد الحراري والتبريد انكماش العناصر البصرية قد يؤدي إلى خطأ في القياس من 0.1 μ م / م .

التوحيد و زاوية الإضاءة

التعميم أدى الإضاءة يمكن أن تقلل من الظل ، ولكن يجب تجنب الضوء المباشر مما أدى إلى انعكاس العينة . على سبيل المثال ، عند قياس رقاقة أشباه الموصلات ، وهج تدخل على سطح طلاء المعادن يمكن القضاء عليها باستخدام مصدر ضوء منتشر و المستقطب .

برامج التحسين خوارزمية

دقة الكشف عن الحافة

subpixel مستوى الكشف عن الحافة ( على سبيل المثال ، متعلق بالغاوس المناسب ) يمكن أن تقلل من موقع الخطأ من 1 بكسل ( على سبيل المثال ، 2-2 ميكرون ) إلى 0.1 بكسل . بالنسبة للعينات شفافة ، على النقيض من حافة تعزيز المرحلة النقيض من الأسلوب .

متانة خوارزمية إعادة الإعمار 3D

متعدد زاوية عرض ستيريو خوارزمية مطابقة يجب التعامل مع المشاكل مثل انعكاس الضوء و انسداد على سطح العينة . التعلم العميق يحركها الخوارزميات ( مثل maskr-cnn ) يمكن تلقائيا تحديد وتصحيح بيانات غير طبيعية ، وتحسين دقة البناء أكثر من 30 ٪ .

السيطرة على العوامل البشرية

المشغلين يجب أن تتلقى التدريب المهني ، وتوحيد أداء عينة التنسيب ، والتركيز ، والقياس وغيرها من العمليات . على سبيل المثال ، عند قياس القطر من micropore ، المحور البصري يجب أن تكون عمودية على سطح العينة لتجنب إهليليجي خطأ بسبب الميل . الصيانة الدورية ( مثل تنظيف العدسة الشيئية ، والتحقق من دليل الميكانيكية ) هو أيضا مفتاح الاستقرار على المدى الطويل .