عالية الدقة المجهر الصناعية تستند في معظمها على الانكسار والانعكاس خصائص الضوء . الأساسية هي مجموعة من تصميم دقيق عدسة النظام ، بما في ذلك الهدف و العدسة المستخدمة في الجمع . عندما يكون الضوء المشع على كائن يمكن ملاحظتها ، الصورة الحقيقية هي التي شكلت من خلال عدسة الهدف أولا تضخيم ، ثم الصورة الحقيقية هو مزيد من تضخيم من خلال العدسة .

المعدات الحديثة غالبا ما تكون مجهزة مع اتفاقية مكافحة التصحر أو المكمل الاستشعار ، الإشارات الضوئية يتم تحويلها إلى إشارات كهربائية ثم يتم معالجتها رقميا ، شعاع الالكترون عالية الطاقة المنبعثة من بندقية الإلكترون يمر من خلال سطح العينة ، وكثافة المجال الكهرومغناطيسي يمكن تعديلها بشكل حيوي لتعويض الانحرافات ، متعددة منطقة المسح التلقائي ثلاثي الأبعاد التعمير يمكن أن تكتمل مع الكهربائية منصة التحميل ، والتي يمكن تطبيقها على تحليل عميق من المواد المعقدة .

خطوات تحديد المجاهر الصناعية عالية الدقة :

1 - الأعمال التحضيرية

- فحص المعدات وتنظيفها : ضمان أن تكون جميع مكونات المجهر طبيعية وأن تكون النظم البصرية ( العدسات والعدسات وما إلى ذلك ) خالية من الغبار أو البقع؛ ضبط نظام الإضاءة لتوفير ما يكفي من الضوء . إعداد العينات وفقا لمتطلبات المراقبة و تثبيتها على منصة التحميل .

- تركيب أجهزة مساعدة متصلة : القيام ، عند الاقتضاء ، بتثبيت الكاميرات ، والمصابيح ، وما إلى ذلك ، وربط الأجهزة ذات الصلة ، مثل المجهر بالحاسوب ، من أجل جمع وتحليل الصور .

2 - وضع العينة : وضع العينة على منصة التحميل ونقل العينة إلى مركز الرؤية باستخدام جهاز متحرك من منصة التحميل . لاحظ أن الوجه الأمامي من الزجاج تواجه التصاعدي ، وتأمين مع الضغط على مقطع ، وضمان مراقبة المنطقة تتماشى مع مركز الضوء من خلال ثقب . يجب أن تكون على علم عند نقل الكائن الجدول ، الشريحة تتحرك في الاتجاه المعاكس إلى صورة الكائن في العدسة .

3 . الخشنة التركيز : تحويل مقبض الباب الخشنة التركيز ، بحيث عدسة برميل أو كائن منصة تتحرك صعودا وهبوطا ، تقريبا العثور على صورة واضحة من العينة .

4 - المعايرة ( إذا كان ينطوي على قياس وظيفة )

- إعداد التنظيف : تنظيف العدسة ومنصة التحميل ، وتجنب الشوائب التي تؤثر على المعايرة .

- وضع القطع القياسية : وضع القطع القياسية في مركز الجدول ، وضبط المجهر إلى صورة واضحة .

- معايرة البرمجيات : اختيار " معايرة " وظيفة في البرمجيات ، اضغط على علامة التبويب على طرفي كتلة قياس بدوره حسب التعليمات ، سيقوم النظام تلقائيا تسجيل الحجم الفعلي وقياس قيمة الانحراف والتصحيح . عند استبدال مختلف عدسة التكبير ، معايرة يجب أن تتم بشكل منفصل لضمان دقة متسقة في كل التكبير .

5 - المراقبة والقياس

- عرض أولي للعدسة المنخفضة القوة : يقوم محول دوار بجعل العدسة الشيئية المنخفضة القوة ( على سبيل المثال 4 × أو 10 × رأسيا إلى الأسفل ، وينظم ببطء اللولب المواضيعي البؤري الخشن بحيث يرتفع الجدول إلى حوالي 0.5 سم من العدسة الشيئية بعيدا عن الشريحة الزجاجية .

- القياس التلقائي ( طريقة عالية الدقة ) : بعد التقاط صورة كاملة عن محيط دائري من الجزء بواسطة كاميرا عالية الدقة مع المجهر ونقلها إلى جهاز الكمبيوتر ، ويحدد البرنامج تلقائيا محيط الحدود من خلال " خوارزمية الكشف عن الحافة " ( مثل خوارزمية حكيم ، خوارزمية سوبل ) ، والقضاء على الضوضاء صورة ( مثل انعكاس الضوء والشوائب ) على محيط التدخل؛ ثم البرنامج تلقائيا مقتطفات مئات أو حتى الآلاف من النقاط على محيط لحساب المعلمات مثل الحجم .