أنريك تكنولوجيزتأسست في عام 2014 ، من قبل جامعة هارفارد المدة عملية الخبير الشهيرفريق البروفيسور روي غوردونمن أجل ملء السوقسطح المكتب الصغيرة ترسب طبقة الذرية( ALD المعدات ) هو أداة تصميم والأمثل للجامعات ، الشركات الناشئة ، وشركات استكشاف للطبقة ترسب ( ALD ) التكنولوجيا ، والبدء في خط الانتاج التجريبي والمهني المصنعين .

وتركز الشركة على البحث في عملية المرض والمعدات ، مع أعضاء التقنية الأساسية من جامعة هارفارد ، التي تراكمت لديها تجربة غنية في عملية المرض ، ويمكن أن توفر للعملاء مع عملية معقدة حلول مخصصة ، هوعينة صغيرة ومنخفضة التكلفة للمستخدمينخياراتمنتدى

للطبقة ترسب ( AVD ) هو نوع خاص من ترسيب الأبخرة الكيميائية ( CVD ) التكنولوجيا ، والتي يمكن أن تشكل الأفلام رقيقة من خلال إدخال الغاز السلائف إلى دائرة رد الفعل بالتناوب وتوليد الغاز الصلبة التفاعلات الكيميائية على سطح الركيزة . المدة هي عادة تتكون من أ و ب semireaction متواليات ، والتي لديها خصائص سطح النفس الحد ، ممتازة ثلاثية الأبعاد conformability ، مساحة كبيرة التوحيد ، submonolayer سماكة الفيلم السيطرة ، وانخفاض درجة حرارة النمو ، وهلم جرا .

مبدأ النمو ALD هو ترسب الفيلم على سطح الركيزة طبقة بعد طبقة من خلال رد فعل السلائف بالتناوب .

يمكن تقسيم دورة ترسب طبقة الذرية إلى أربع خطوات :

1 - إدخال السلائف : أول دفعة من السلائف في دائرة رد الفعل ، بحيث سطح الركيزة الكيميائية الامتزاز .

2 - تنظيف الغازات الخاملة : استخدام الغازات الخاملة ( مثل النيتروجين أو الغاز ) لتنظيف دائرة رد الفعل ، وإزالة أول رد فعل السلائف والمنتجات الناتجة عن رد الفعل ؛

3 - إدخال السلائف الثانية : نبض من السلائف الثانية يدخل دائرة رد الفعل ، بحيث تتفاعل مع السلائف الأولى كثف على سطح الركيزة لتشكيل الفيلم .

4 - إعادة تنظيف غاز خامل : إعادة استخدام غاز خامل لإزالة رد الفعل الثاني السلائف والمنتجات .

الحد الأدنى من المدة في السوق

صغيرة بما يكفي لوضع المدة في صندوق القفازات

المدة مسحوق