ايون الاخرق الصكمن خلال القصف الأيوني عالية الطاقة على سطح الهدف ، على المستوى الذري رقيقة ترسب يتحقق . اختيار المواد المستهدفة مباشرة يحدد الخصائص الفيزيائية والكيميائية الطلاء .
نوع الهدف والأداء مطابقة
الأهداف المعدنية ( مثل الاتحاد الافريقي ، آل ، الكروم ) : مناسبة لأنّ عال - يوصّل مشاهد ، مثل التعبئة والتغليف الالكترونية والبصرية يعكس الفيلم .
سبائك الهدف ( مثل نيكر ، tial ) : صلابة الطلاء ( مثل صلابة الطلاء tialn > 25 GPA ) أو مقاومة الأكسدة يمكن أن يكون الأمثل من خلال تكوين التنظيم .
السيراميك الأهداف ( مثل sio-o-zro-a , ) : تستخدم في العزل أو مقاومة للاهتراء الطلاء ، ولكن من المهم أن نلاحظ أن هشاشة قد يؤدي إلى انخفاض كفاءة الاخرق .
تأثير الهدف من المعلمات على جودة الطلاء
متطلبات النقاء : عالية النقاء المواد المستهدفة ( ≥ 99.99 ٪ ) يمكن أن تقلل من إدخال الشوائب ، مثل مجال أشباه الموصلات تتطلب الذهب الهدف محتوى الذهب > 99.999 ٪ .
المجهرية : عمودي هيكل الكريستال الهدف يمكن أن يؤدي بسهولة إلى تركيز الإجهاد ، في حين أن غرامة الحبوب الهدف ( حجم الحبوب أقل من 1 ميكرون ) يمكن أن تعزز التصاق .
معدل الاخرق : الاخرق قيم من مواد مختلفة تختلف اختلافا كبيرا ( مثل آل > النحاس > تي ) و التوازن في معدل الترسيب يجب تعديلها من قبل السلطة .

تطبيق نموذجي المشهد
جهاز الاستشعار البيولوجي : عالية النقاء الذهب الهدف ( الاتحاد الافريقي ≥ 99.999 ٪ ) ، لضمان التوصيل و توافق مع الحياة من الطلاء .
الأجهزة البصرية : antireflection الأفلام التي تم إعدادها من قبل sio ₂ الهدف ، معامل الانكسار هو الأمثل من خلال تعديل الاخرق الضغط ( 0.5-1 باسكال ) .
ارتداء مقاومة الطلاء : القصدير الهدف جنبا إلى جنب مع نبض الجهد التحيز الاخرق ، يمكن أن تشكل كثافة nanocrystalline الطلاء على سطح الأداة .
استراتيجية اختيار الهدف
التحكم في التكلفة : يفضل المواد البديلة مع ارتفاع نسبة السعر إلى الانتقائية ( على سبيل المثال ، الألومنيوم بدلا من الفضة المؤقتة طبقة موصلة ) .
عملية التوافق : مقاومة للحرارة المواد المستهدفة ( مثل مو و ) يجب أن تكون مختارة في درجة حرارة عالية الاخرق لتجنب تليين وتشوه من المواد المستهدفة .
الاعتبارات البيئية : التخلص التدريجي من الرصاص والكادميوم وغيرها من العناصر الضارة المستهدفة ، تمشيا مع بنفايات القياسية .