من خلال إدخال اثنين أو أكثر من السلائف الغاز بدلا من ذلك ، tald يترسب الفيلم طبقة بعد طبقة على سطح الركيزة . كل دورة الترسيب الكامل يتكون من أربع خطوات :
أول نوع من السلائف الغاز يتم إدخالها إلى سطح الركيزة كيميائيا كثف على شكل طبقة واحدة الامتزاز .
تطهير غاز خامل : إزالة فائض السلائف والمنتجات ، وتجنب الغاز المرحلة رد فعل .
ثاني غاز السلائف هو عرض : يتفاعل مع كثف أول السلائف لإنتاج طبقة أحادية الفيلم .
تطهير مرة أخرى مع غاز خامل : إزالة رد الفعل السلائف والمنتجات ، وإعداد الدورة القادمة .
طبقة الذرية الحرارية ترسب المواد الكيميائية الامتزاز و رد فعل السطح على سطح الركيزة من خلال إدخال اثنين من السلائف الغاز بالتناوب ( على سبيل المثال ، ترايميثيل الألومنيوم وبخار الماء ) على شكل طبقة أحادية الذرة . . . . . . . بعد كل رد فعل ، غير رد فعل السلائف يجب تنظيفها مع غاز خامل ( على سبيل المثال ، النيتروجين ) لضمان الحد الذاتي من عملية الترسيب ، وتجنب الإفراط في رد الفعل .
تنظيف ومراقبة التلوث في دائرة رد الفعل
بعد كل استخدام ، دائرة رد الفعل يجب تنظيفها على الفور ، الجدار الداخلي يجب أن تمحى مع قماش خالية من الغبار و المنظفات الخاصة ، والتي يمكن تنظيف فوهة ، الركيزة الجدول ، وما إلى ذلك من السهل إيداع ، وبالتالي تجنب بقايا السلائف أو ترسب الجسيمات التي تؤثر على أداء الفيلم . ا
عند التوقف عن العمل لفترة طويلة ، خط أنابيب يجب أن تكون فارغة و تطهير مع غاز خامل لمنع بقايا من تآكل خط أنابيب .
الحفاظ على التركيز
إدارة السلائف : السلائف من السهل التحلل / الأكسدة ، تحتاج إلى تخزين مختومة ، واستبدال بانتظام ( تجنب انخفاض نقاء ) ؛
رد فعل الغرفة التنظيف : بعد إيداع السلائف المتبقية من السهل تشكيل الرواسب ، البلازما ( مثل o-plasma ) أو التنظيف الكيميائية السائلة يجب أن تستخدم بانتظام لتنظيف .
الكشف عن تسرب خط أنابيب : ضمان عدم تسرب خط أنابيب الغاز ، وتجنب رد فعل خلط السلائف يؤدي إلى انسداد .
صيانة نظام فراغ : استبدال مضخة فراغ النفط بانتظام ، وتنظيف فراغ قياس لضمان استقرار درجة فراغ .