خطأ التشخيص والعلاج الأساسية
فشل نظام الطاقة
الظواهر : أي رد فعل من المعدات الحالية والجهد تذبذب غير طبيعي
خطوات التشخيص :
افحص سلك الطاقة ، والمكونات ، مأخذ توصيل آمن ، واستخدام متعدد اختبار الجهد الناتج الاستقرار .
الكشف عن الدائرة الداخلية من وحدة الطاقة ، والتحقق من ما إذا كان الصمامات الصمامات أو إذا كان الحث مكثف الشيخوخة .
حلول
إعادة ربط أجزاء فضفاضة واستبدال التالفة أسلاك الكهرباء أو مآخذ .
إصلاح أو استبدال وحدات الطاقة لضمان أن الناتج الجهد يتوافق مع مواصفات الجهاز .
فشل نظام فراغ
الظاهرة : فراغ درجة كافية ، ضخ الوقت لفترات طويلة
خطوات التشخيص :
استخدام كاشف تسرب الهليوم لتحديد موقع تسرب نقطة فراغ الأنابيب ، الختم الدائري ، أو جسم المضخة .
تحقق من مستوى الزيت و نوعية فراغ مضخة ، مضخة الجسم لمعرفة ما إذا كان هناك أي ضجيج غير طبيعي أو ارتفاع درجة الحرارة .
حلول
محل الشيخوخة الختم الدائري ، وتشديد فضفاضة شفة واجهة .
تنظيف أو استبدال مضخة فراغ النفط ، وإصلاح مضخة ميكانيكية الفشل .
الاخرق عملية غير طبيعية
الظاهرة : الهدف لا توهج ، سماكة الفيلم متفاوتة
خطوات التشخيص :
تحقق ما إذا كان الهدف هو تركيب عمودي ، سواء أكاسيد أو الملوثات الموجودة على السطح .
قياس مقاومة العزل بين الهدف و سلك الأرض ، والقضاء على خطر ماس كهربائى .
رصد الاخرق الجهد / منحنى الحالي لتحديد ما إذا كان هناك قوس التفريغ أو طريقة الانتقال .
حلول
إعادة تثبيت الهدف و ضبط الملعب لتنظيف السطح مع الآيزوبروبيل الكحول .
إصلاح اتصال الأرض ، وزيادة عزل حشية .
الأمثل مطابقة المعلمات من إمدادات الطاقة ، والحد من قوس التفريغ .
فشل نظام مراقبة الغاز
الظواهر : تدفق الغاز غير مستقر ، رد فعل الغاز نسبة اختلال
خطوات التشخيص :
تحقق من حالة معايرة مقياس الجريان الشامل لمعرفة ما إذا كان صمام تسرب .
تحليل مكونات الغاز المتبقية للتأكد من أن هناك أي تسرب الغاز الخارجي . . . . . . .
حلول
إعادة معايرة MFC ، استبدال صمام تسرب .
تحسين تخطيط مسار الغاز ، إضافة جهاز تنقية الغاز .
استراتيجية الصيانة المنتظمة
الصيانة اليومية
تنظيف وصيانة
استخدام قطعة قماش خالية من الغبار لمسح غلاف الجهاز كل يوم ، وتجنب تراكم الغبار .
تنظيف داخل غرفة الاخرق كل أسبوع ، وإزالة بقايا الهدف باستخدام المذيبات الخاصة . . . . . . .
معلمة رصد :
المعلمات الرئيسية مثل درجة فراغ ، الاخرق الجهد / التيار الكهربائي يتم تسجيلها .
التحقق من مستوى التبريد ودرجة الحرارة بانتظام لضمان نظام التبريد يعمل بشكل صحيح .
الصيانة الدورية
الأنظمة الكهربائية
افحص سلك الطاقة ، لوحة التحكم موصل الأكسدة ، وتشديد فضفاضة المسمار .
اختبار استقرار انتاج الطاقة عالية الجهد ، واستبدال الشيخوخة السعة .
الأجزاء الميكانيكية :
تزييت أجزاء دوارة من مضخة فراغ ، استبدال البالية حزام أو تحمل .
التحقق من مرونة الهدف آلية التناوب ، وإزالة المواد الأجنبية من التشويش .
نظام فراغ
محل فراغ الختم الدائري .
تنظيف الجدار الداخلي فراغ الأنابيب وإزالة الرواسب .
الصيانة الوقائية
إدارة المواد الاستهلاكية :
إنشاء آلية للإنذار المبكر من المواد الاستهلاكية مثل المواد المستهدفة ، الختم الدائري ، وما إلى ذلك ، وذلك لتجنب التوقف عن العمل بسبب عدم وجود أجزاء .
الهدف مع قدرة قوية على مقاومة التسمم هو المفضل .
مراقبة البيئة
الحفاظ على استقرار درجة الحرارة والرطوبة في المختبر ، والحد من خطر التكثيف من المعدات .
تركيب الأرضيات الاستاتيكيه لتجنب انهيار المكونات الكهربائية .
ثالثاً - الاعتبارات الرئيسية
العمليات الأمنية :
يجب قطع التيار الكهربائي والإفراج عن الجهد العالي السعة قبل الصيانة .
ارتداء القفازات الواقية من قطع التعامل مع المواد المستهدفة ، وتجنب الحطام المعدني خدش .
النسخ الاحتياطي للبيانات
جهاز النسخ الاحتياطي البرمجيات المعلمات بانتظام لمنع عملية فقدان بسبب تعطل النظام .
الدعم المهني :
أخطاء معقدة تحتاج إلى الاتصال الأصلي مهندس صيانة لتجنب غير مصرح به التفكيك يؤدي إلى فشل الضمان .