وفيما يلي وصف تفصيلي لعملية طلاء فيلم موصل على عينة SEM باستخدام الترددات اللاسلكية المغنطرون الاخرق المغطي :

1 - الأعمال التحضيرية

اختيار المواد المستهدفة المناسبة : وفقا لخصائص الفيلم المطلوب ، واختيار المواد المستهدفة المقابلة ، المشتركة هي الذهب والبلاتين والذهب سبائك البلاديوم ، الفضة ، الرصاص ، النحاس ، الكروم ، الأنتيمون ، وهلم جرا . أهداف مختلفة يمكن أن تؤثر على خصائص موصل الفيلم شكلت في نهاية المطاف .

إعداد المواد الأساسية ( عينة ) : تأكد من أن سطح العينة إلى أن تكون مغلفة نظيفة وخالية من التلوث ، إذا لزم الأمر ، يمكن أن تكون عملية المعالجة مثل طحن ، تلميع أو التنظيف الكيميائية لضمان التصاق جيدة ، والطلاء تأثير .

2 . فراغ نظام الترددات اللاسلكية المغنطرون الاخرق

بدء تشغيل المعدات ذات الصلة : بدوره على تعميم المياه ، بدوره على إمدادات الطاقة الرئيسية ، ثم تبدأ " طلاء غرفة مضخة ميكانيكية " و " عينة غرفة مضخة ميكانيكية " ، ثم فتح اثنين من الصمامات إلى أقصى حد 35 زاوية الموقف . إغلاق كل 35 زاوية الصمامات عند الضغط أقل من 10 باسكال هو مبين من قبل زوجين الحرارية فراغ متر . ثم فتح " طلاء الغرفة قبل صمام " و " عينة الغرفة قبل صمام " ، بدء ضخ الجزيئية واضغط على الأخضر " تشغيل " مفتاح . وأخيرا ، فتح صمام البوابة من طلاء غرفة عينة غرفة مفتوحة تماما ( عكس عقارب الساعة ) . في انتظار مضخة الجزيئية لتحقيق الاستقرار في الدولة ، مثل طلاء الغرفة تصل إلى 400 هرتز ، غرفة العينة تصل إلى 450 هرتز .

رصد درجة فراغ : في العملية برمتها ، ينبغي إيلاء اهتمام وثيق إلى ارتفاع درجة فراغ ، حتى تصل إلى مستوى عال من فراغ . فراغ عالية البيئة يمكن أن تقلل من تدخل الغاز الشوائب في عملية الاخرق ، وضمان الجودة والنقاء من الأفلام المودعة .

3 . ضبط المعلمات الاخرق

وضع الترددات اللاسلكية السلطة ، ضغط العمل ، تدفق الغاز ، ترسب الوقت وغيرها من المعالم : هذه المعايير المحددة وفقا للغرض من التجربة و نوع من المواد الأساسية لتحديد معايير معقولة لضمان التوحيد و التصاق الفيلم من العوامل الرئيسية . على سبيل المثال ، يمكن التحكم في حجم الطاقة من القصف الأيوني الهدف عن طريق ضبط الترددات اللاسلكية السلطة . ضغط العمل و معدل تدفق الغاز تؤثر على تركيز البلازما وتوزيعها . ترسب الوقت يحدد سماكة الفيلم .

4 . الترددات اللاسلكية المغنطرون الاخرق طلاء الجهاز يبدأ عملية الاخرق

قبل الاخرق تنظيف سطح الهدف : بعد تحول على إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية ، قبل الاخرق تتم لفترة من الوقت ( على سبيل المثال ، حوالي 10 دقائق ) ، والهدف من ذلك هو تنظيف سطح الهدف ممكن أكاسيد أو غيرها من الملوثات ، مما يجعل من الأفلام التي تم الحصول عليها بعد ترسب رسمي أكثر نقاء .

إيداع الفيلم : بعد الانتهاء من قبل الاخرق ، بدوره على عينة الجدول السيطرة على السلطة ، اضغط على زر " ابدأ " للحصول على عينة الجدول لبدء التناوب . وفي الوقت نفسه ، الهدف يربك وعينة يربك التبديل فتح ، ثم الاخرق الطلاء يبدأ رسميا . في عملية الاخرق ، يمكن ضبط الضغط مرتين حسب الحاجة للحفاظ على الضغط في مجموعة لضمان استقرار جودة الفيلم .

5 - المعالجة ( اختياري )

المعالجة الحرارية ، العلاج بالليزر ، أو تعديل المواد الكيميائية وغيرها من العمليات المطلوبة : إذا كان الفيلم المودعة لديها متطلبات خاصة ، مثل تحسين crystallinity ، وتعزيز بعض الخصائص الفيزيائية ، وما إلى ذلك ، يمكن الانتهاء من الاخرق بعد المقابلة بعد المعالجة . ومع ذلك ، هذه ليست خطوة ضرورية ، اعتمادا على متطلبات التطبيق المحددة لتحديد ما إذا كان التنفيذ وكيفية تنفيذها .

6 - إنهاء عملية الترددات اللاسلكية المغنطرون الاخرق

إغلاق الجهاز : بعد وقت الطلاء تصل إلى القيمة المحددة ، أولا إغلاق يربك ( بما في ذلك نموذج الجدول يربك الهدف يربك ) ، ووقف عينة الجدول بالتناوب ، اضغط على زر " إيقاف " عينة الجدول . ثم أداة التحكم في الطاقة مقبض الباب إلى الحد الأدنى ، الترددات اللاسلكية إمدادات الطاقة يجب أن يكون أول من الأحمر ، ثم الأصفر ؛ العاصمة امدادات الطاقة مباشرة قبالة الأحمر . ثم أغلق ع التحكم في التدفق إمدادات الطاقة ، وضبط تدفق إلى عرض عدد 0 ، تشغيل " صمام التحكم " إلى " مغلقة " الدولة . وأخيرا ، وغيرها من المعدات ذات الصلة ، والصمامات مغلقة في تسلسل لإكمال كامل عملية الطلاء .

7 . أخذ العينات

بعد التحقق من توازن الضغط : قبل إغلاق جميع المعدات واستعادة الضغط الجوي ، تأكد من أن ضغط الهواء في غرفة الطلاء هو نفسه ( سواء في الغلاف الجوي أو فراغ ) في غرفة العينة ، ثم فتح الإضاءة في كل من الغرف بعناية إزالة عينة من فيلم موصل .