في عملية تصنيع الخلايا الضوئية ،الشريحة نوع PECVDالبلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائية ( PECVD ) معدات مهمة إعداد antireflection الفيلم طبقة التخميل . جنبا إلى جنب مع التوسع في صناعة الكهروضوئية ، وتسريع التكنولوجيا التكرار ، عندما الشركات شراء الشريحة السكك الحديدية PECVD ، تحتاج إلى اتخاذ القدرة على الطلب كما مرساة نقطة ، دقة السيطرة على غرفة واحدة معدل الترسيب ، الركيزة متوافقة الحجم ، واستهلاك الطاقة وغيرها من المؤشرات الرئيسية ، لتحقيق أداء المعدات ومتطلبات الإنتاج مطابقة ، من أجل خفض التكاليف وزيادة فعالية بناء أساس متين من المعدات .

غرفة واحدة معدل الترسيب هو مؤشر رئيسي لتحديد الحد الأعلى من الإنتاجية ، والتي يجب أن تكون مطابقة تماما مع خط الانتاج . معدل الترسيب يرتبط مباشرة مع كمية من الركيزة المعالجة في وحدة الزمن ، على سبيل المثال ، إذا كان معدل الترسيب في غرفة واحدة تصل إلى 120 قطعة / ساعة في إنتاج بطارية بيرك عند شراء ، وإيلاء الاهتمام إلى أن معدل الترسيب ليست أعلى ، أفضل ، تحتاج إلى تحقيق التوازن مع نوعية الفيلم - بعض المعدات من خلال زيادة الطاقة بالقوة لتسريع معدل ، قد يؤدي إلى انحراف الفيلم التوحيد ، ولكن تؤثر على كفاءة التحويل من البطارية . ويقترح أن المعدات مع مجموعة واسعة من معدل الترسيب قابل للتعديل ( 50-150 صحائف / ساعة ) ينبغي أن تكون الأولوية ، والتي يمكن أن تلبي الطلب على الطاقة الإنتاجية الذروة ، ويمكن تعديلها بمرونة لضمان جودة الفيلم في الإنتاج التجريبي .

الركيزة التوافق يحدد حجم المعدات التقنية التطلعية و خط الانتاج المناسب ، يجب أن تستند إلى الحاضر والمستقبل . في الوقت الحاضر ، فإن حجم الركيزة الضوئية الرئيسية قد تم ترقيته من 166mm إلى 182mm و 210mm . كبيرة الحجم الركيزة يمكن أن تخفف من تكلفة الطاقة لكل وحدة ، ولكن متطلبات أعلى على هيكل الدائرة و دقة الشريحة السكك الحديدية المعدات المقترحة . يجب التأكد من أن المعدات يمكن أن تكون متوافقة مع التيار الرئيسي في حجم الجيل القادم 1-2 ترقية حجم لتجنب الركيزة التكرار يؤدي إلى القضاء على المعدات في وقت مبكر . وفي الوقت نفسه ، مع التركيز على دقة تحديد المواقع ( أقل من ± 0.5mm ) من نقل الركيزة ، دقة تحديد المواقع يمكن أن تقلل من نسبة الحطام في عملية النقل ، ولا سيما في إنتاج الركيزة كبيرة الحجم ( 210mm ) ، يمكن التحكم في نسبة الحطام أقل من 0.1 في المائة ، والحد من الخسائر المادية .

استهلاك الطاقة وتكاليف التشغيل والصيانة هي العوامل الرئيسية التي تؤثر على كفاءة الإنتاج . استهلاك الطاقة من الشريحة السكك الحديدية PECVD تتركز أساسا في إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية ، ونظام التدفئة ، ومضخة فراغ - معدات عالية الجودة يمكن أن تقلل من استهلاك الطاقة لكل وحدة إلى أقل من 0.8kwh / رقاقة من خلال الاستفادة المثلى من هيكل تجويف العزل الحراري وكفاءة الطاقة . في جانب من جوانب التشغيل والصيانة ، ينبغي إيلاء الاهتمام إلى استبدال الفترة والتكلفة من الأجزاء الضعيفة - على سبيل المثال ، خدمة الحياة من القطب قطعة لا ينبغي أن يكون أقل من 10000 ساعة ، واستبدال فترة فراغ ضخ النفط يمكن أن تمتد إلى أكثر من 6 أشهر ، وفي الوقت نفسه ، فإن المعدات يجب أن يكون خطأ وظيفة الإنذار المبكر ، من خلال رصد في الوقت الحقيقي من تجويف الضغط ، الترددات اللاسلكية السلطة وغيرها من المعالم ، قبل الحكم على الفشل و دفع صيانة نصائح للحد من التوقف غير المخطط لها .

وبالإضافة إلى ذلك ، فإن القدرة على التكامل التلقائي ومراقبة الجودة لا يمكن تجاهلها . الجهاز يحتاج إلى دعم سلس بعقب مشترك مع الأمامي والخلفي معدات التشغيل الآلي ( على سبيل المثال ، التلقائي تغذية آلة ، معدات الكشف ) لتحقيق كامل عملية التشغيل الآلي من مدخلات الركيزة الفيلم الكشف ، والحد من فقدان الكفاءة والخطأ الناجم عن التدخل اليدوي . في جانب من جوانب مراقبة جودة الفيلم ، ينبغي اختيار المعدات مجهزة على الخط نظام رصد سماكة الفيلم ، والتي يمكن أن توفر التغذية المرتدة في الوقت الحقيقي سمك الفيلم ( دقة ± 2 نانومتر ) و الانكسار ، وضمان الاتساق في الفيلم الأداء في الإنتاج الضخم ، وضمان استقرار كفاءة التحويل من البطارية .

المنطق الأساسي في شراء الشريحة السكك الحديدية PECVD الضوئية الشركات هو تحقيق الهدف الثلاثي " القدرة على التكيف ، والتحكم في التكلفة ، والتكنولوجيا تطلعي " . من مطابقة معدل الترسيب في تجويف واحد مع إنتاج الإيقاع ، النظر في التوافق من حجم الركيزة ، ومراقبة دقيقة من استهلاك الطاقة وتكاليف التشغيل والصيانة ، والسيطرة على كل مؤشر يؤثر بشكل مباشر على كفاءة الإنتاج . من خلال التقييم العلمي للمؤشرات الرئيسية ، واختيار المعدات التي تناسب احتياجاتها من القدرة على الإنتاج والتكنولوجيا الطريق ، يمكننا أن نجعل الشريحة السكك الحديدية PECVD تصبح دعم قوي من أجل تعزيز القدرة التنافسية الأساسية الضوئية الشركات .