في عملية التلدين من رقاقة أشباه الموصلات عملية التلبيد من السيراميك ، ومراقبة دقيقة في مجال درجة الحرارة مباشرة يحدد أداء المنتج والعائد . ارتفاع درجة حرارة الفرن السريع أصبحت المعدات الرئيسية لهذا النوع من ارتفاع الطلب على التكنولوجيا بسبب المزايا الأساسية " على المدى القصير وكفاءة عالية التحكم في درجة الحرارة " . من أجل تلبية متطلبات الأداء الكهربائية رقاقة أشباه الموصلات و الاكتناز الهيكلي من مواد السيراميك ، المعلمات الأساسية مثل ارتفاع درجة الحرارة معدل ، والحفاظ على الحرارة الوقت ، وانخفاض درجة الحرارة طريقة علميا تعديلها وفقا لمختلف الخصائص الفيزيائية الحرارية والمواد التكنولوجية الأهداف .

رقاقة أشباه الموصلات عملية الصلب ،ارتفاع درجة حرارة الفرن السريع" تفعيل المنشطات عنصر إصلاح شعرية عيب " ينبغي أن يكون الهدف الأساسي من المعلمة السيطرة على درجة الحرارة ، التحكم في معدل التسخين والحفاظ على الوقت ينبغي أن تكون الأولوية . اختيار معدل التسخين يجب أن تأخذ في الاعتبار كفاءة وجودة رقاقة - ارتفاع معدل التسخين ( أكثر من 100 ℃ / ق ) يمكن أن يؤدي إلى الإجهاد الحراري داخل رقاقة ، رقاقة انفتال أو حتى تكسير . منخفضة جدا يمكن أن تطيل فترة العملية ، وانخفاض الإنتاجية . في عملية متقدمة رقاقة أقل من 7 نانومتر ، معدل التسخين عادة ما تسيطر على 50-80 ℃ / ثانية ، والتي لا يمكن إلا أن تصل إلى درجة الحرارة المستهدفة بسرعة ( عادة 800-1000 ℃ ) ، ولكن أيضا يمكن أن تعوض الفرق في درجة الحرارة المحلية من خلال نظام التدفئة في الفرن . على سبيل المثال ، بعد زرع الأيونات ، التنشيط الصلب عادة ما تسيطر على 10-30 ثانية ، قصيرة جدا يمكن أن يؤدي إلى عدم كفاية التنشيط من المنشطات ، طويلة جدا يمكن أن يؤدي إلى الإفراط في نشر العناصر ، مما يؤثر على دقة رقاقة الدائرة .

المعلمات السيطرة على عملية التكلس السيراميك تركز على " تعزيز نمو الحبوب ، وزيادة كثافة " ، مع التركيز على معدل التسخين ، والحفاظ على درجة الحرارة والتبريد طريقة التنسيق . معدل التسخين يجب تعديلها وفقا الموصلية الحرارية السيراميك الألومينا ، متوسطة وعالية التوصيل الحراري السيراميك ، يمكن استخدام 20-30 ℃ / دقيقة معدل التسخين . ومع ذلك ، نيتريد السيليكون والسيراميك وغيرها من الموصلية الحرارية المنخفضة ، يجب أن تنخفض إلى 10-15 ℃ / دقيقة ، لتجنب الفرق في درجة الحرارة الداخلية والخارجية الناجمة عن الإفراط في تكسير . على سبيل المثال ، درجة الحرارة المثلى من أجل الحفاظ على درجة حرارة 1450-1550 ℃ زركونيا السيراميك ، والحفاظ على الحرارة لمدة 2-4 ساعات يمكن أن تجعل الحبوب تنمو بشكل كامل وتجنب الإفراط في النمو . إذا كانت درجة الحرارة ليست كافية أو وقت قصير جدا ، وانخفاض كثافة السيراميك ، وعدم كفاية القوة . في درجة حرارة عالية ( أكثر من 1000 ℃ ) مرحلة التبريد البطيء ( 5-10 ℃ / دقيقة ) للحد من التوتر الداخلي ، وانخفاض درجة الحرارة المرحلة يمكن تسريع التبريد ، وتحسين كفاءة الإنتاج .

مراقبة الغلاف الجوي يلعب دورا رئيسيا في كل من العمليات . عندما صلب رقاقة أشباه الموصلات ، خامل أو الحد من الغلاف الجوي واقية ، مثل النيتروجين والهيدروجين ، وما إلى ذلك ، ينبغي إدخالها . في حين أن اختيار أجواء تلبد السيراميك يجب أن تكون مطابقة مع خصائص المواد ، والألومينا يمكن متكلس مع الهواء ، نيتريد السيليكون يجب أن تتم تحت حماية النيتروجين ، وبالتالي تجنب رد فعل الأكسدة في درجة حرارة عالية . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن الضغط داخل الفرن المعلمات يجب أن تكون مناسبة - أشباه الموصلات الصلب عادة ما تتم تحت الضغط العادي أو الجزئي الضغط الإيجابي ( 0.1-0.2mpa ) لمنع الشوائب الخارجية من الغزو . في تلبد السيراميك ، بعض مسامية السيراميك يجب أن يضغط تحت ضغط سلبي من أجل تفريغ الغاز من الشوائب في الجسم .

وتجدر الإشارة إلى أن المعلمة السيطرة على ارتفاع درجة حرارة الفرن السريع يحتاج إلى إنشاء " خصائص المواد - عملية الهدف - إعداد المعلمة " ربط المنطق . من خلال تركيب عالية الدقة استشعار درجة الحرارة ( الدقة ± 1 ℃ ) و نظام مراقبة ذكي ، في الوقت الحقيقي البيانات درجة الحرارة في الفرن يمكن جمعها ، جنبا إلى جنب مع عملية محددة مسبقا منحنى تلقائيا ضبط المعلمات . على سبيل المثال ، في تلبد السيراميك ، نظام ديناميكي يمكن تحسين الوقت القابضة على أساس التغذية المرتدة من الانكماش . درجة حرارة سطح رقاقة السيليكون يمكن رصدها بدقة من خلال قياس درجة الحرارة البصرية التكنولوجيا أثناء الصلب رقاقة ، وبالتالي تجنب قياس درجة الحرارة الانحراف الناجم عن الإشعاع الحراري .

المعلمة السيطرة على ارتفاع درجة حرارة الفرن السريع يكمن في " دقة مطابقة " . من الإجهاد الحراري السيطرة على رقاقة أشباه الموصلات الصلب إلى زيادة كثافة السيراميك تلبد ، كل تعديل المعلمة يؤثر بشكل مباشر على جودة المنتج . من خلال فهم عميق عملية آلية علمية تحديد البارامترات الأساسية مثل معدل التسخين ، والحفاظ على الوقت ، وما إلى ذلك ، يمكن أن تجعل من ارتفاع درجة حرارة الفرن بسرعة إعطاء دور كامل مزايا التحكم في درجة الحرارة عالية الكفاءة ، وتوفير ضمانة قوية لإنتاج عالية الجودة في صناعة أشباه الموصلات والسيراميك .