رقاقة انفتال الإجهاد أداة قياس

هيمنة

√ أخذ العينات وقياس موحدة من العيار الثقيل ، مع الحد الأدنى من فترة أخذ العينات0.1 مم

وفي الوقت نفسه ، فإنه يمكن قياس انفتال والإجهاد .

√ عرض مرئي من الفيلم أدى إلى تغيير في دائرة الكريستال ، يمكن حساب أي زاوية انحناء والإجهاد

√ * وحدات إضافية : رقيقة وحدة قياس درجة الحرارة الإجهاددرجة حرارة الغرفة500℃）

√ غنية البرمجيات وظائف التحليل ، بما في ذلك : 3D انفتال الرسم البياني ، رقاقة انفتال المعلمة الإحصاءات )بوووحربالخعائد الاستثمارجزء تحليل الإجهاد والتوتر التوزيع ، الاختلاف من الإجهاد مع الوقت ، وقياس درجة الحرارة من الإجهاد ، انحناء الحساب ، متعدد الحدود المناسب ، تصفية المكاني وهلم جرا .

موضوع مناسب

2-8 بوصةص بوصة مصقول رقاقة ( السيليكون ، الغاليوم ، كربيد السيليكون ، الخ . )الكريستال السائل الركيزة الزجاج ؛ أنواع مختلفة من الأفلام المعالجة السطحية

مجال التطبيق

√ تصنيع أشباه الموصلات ورقائق الزجاج وفحص الجودة

البحث والتطوير في تكنولوجيا أشباه الموصلات رقيقة

التحكم في العمليات و تحليل الأعطال في عملية التعبئة والتغليف أشباه الموصلات رقيق

مبدأ الكشف

ترسب الفيلم على سطح الرقاقة مرارا وتكرارا في عملية تصنيع رقاقة ، والاختلافات في خصائص المواد الركيزة الفيلم يؤدي إلى رقاقة انفتال ، انفتال ، رقيقةغشاء الضغط سوف يكون لها تأثير كبير على العائد من العملية .

هيكل انعكاس الضوء طريقة التصوير المستخدمة لقياس توزيع ثلاثي الأبعاد انفتال رقاقة .فائدة نموذج يحتوي على مزايا عدم الاتصال ، لا المسح الميكانيكي ، وارتفاع معدل أخذ العينات .الثلاثينات

بواسطةستونيحساب توزيع الضغط على رقاقة رقيقة الأفلام باستخدام صيغة النموذج النسبي

رقاقة انفتال الإجهاد أداة قياس