رقاقة أداة قياس الإجهاد

رقاقة أداة قياس الإجهادهو مفتاح معدات الاختبار في تصنيع أشباه الموصلات ، وهي تستخدم أساسا في الاتصال غير تدميري تقييم توزيع الضغط الميكانيكي في رقاقة . المبادئ الأساسية هي أساسا على أساس التكنولوجيات التالية : photoelastic تأثير قياس ، قياس نصف قطرها انحناء ، رامان التحليل الطيفي .

فلاتسكانرقاقة أداة قياس الإجهادفائدة نموذج يتعلق عدم الاتصال البصرية سطح profilometer مع قياس واسعة النطاق ، الذي هو مناسبة عالية الدقة قياس 2D أو 3D رقاقة الإجهاد ( فيلم الإجهاد ) ، انحناء السطح ( نصف قطرها ) و المنحدر .

مبدأ القياس البصرية لقياس سطح الشخصي

flatscan رقاقة رقيقة جهاز قياس الضغط يستخدم لقياس التسطيح ، انحناء السطح ، متوسط قطرها رقيقة من الإجهاد ( رقاقة الإجهاد ) من مختلف الأسطح العاكسة ( مثل رقائق السيليكون ، والمرايا ، مرايا الأشعة السينية ، السطوح المعدنية أو تلميع البوليمرات ) . مبدأ القياس البصرية يضمن دقة عالية . على أساس قياس زاوية الانعكاس الرأسي شعاع الليزر الحادث على طول خط ثابت مع طول الخطوة . سطح الشخصي يمكن حسابها بدقة من تغيير زاوية الانعكاس بين نقاط القياس . في بعض التطبيقات ، زاوية الانعكاس نفسها ( سطح المنحدر ) مهم أيضا . ولذلك ، فإن البرنامج يوفر أيضا خيار القياس .

في تطبيق تكنولوجيا أشباه الموصلات ، رقيقة الإجهاد ( رقاقة الإجهاد ) من الطلاء يمكن حسابها عن طريق قياس نصف قطرها انحناء رقاقة قبل وبعد الطلاء .

قياس مساحة كبيرة

ميزة واحدة من مبدأ القياس هو أنه لا علاقة له قياس المنطقة . وبناء على ذلك ، فإن معيار قياس قطرها 200 ملم يمكن أن تزيد بشكل تعسفي تقريبا دون الحد من الدقة .

عالية الدقة قياس

إن flatscan رقيقة قياس الضغط أداة عالية الدقة قياس الخصائص . القرار من نظام القياس يمكن أن تصل إلى 0.1arcsec . . . . . . . استنساخ شكل السطح هو أفضل من 100 نانومتر .

قياس مدى كبير و مسافة العمل

قياس مدى يشير إلى أقصى ارتفاع ناقلات ( أو الحد الأدنى للقياس نصف قطرها انحناء ) التي يمكن قياسها في المسح الضوئي . ميزة واحدة من flatscan هو أن قياس مجموعة واسعة جدا ، والتي لا يمكن أن تتحقق من قبل غيرها من أساليب القياس التنافسي ( مثل هامش التداخل أو مرحلة التحول التداخل ) .

ولذلك ، flatscan رقيقة قياس الإجهاد هو مناسبة لقياس السطوح مع انحناء قوي ، مثل مرآة جوبل ، رقاقة السيليكون ، أو غيرها من الأسطح المماثلة . مبدأ القياس البصرية المعتمدة لا تتأثر مسافة العمل ، وارتفاع مسافة العمل مكفول ، وبالتالي فإن نموذج المنفعة لا يمكن أن يكون معطوبا .

اختياري 2D / 3D القياسات

اعتمادا على نوع الجهاز ، يمكنك اختيار خط واحد أو كامل 3D المسح الضوئي . 3D المسح الضوئي يتكون من العديد من خط واحد المسح الضوئي ، والتي لديها وظيفة من عينة التلقائي لتحديد المواقع . هذا البرنامج يوفر جميع الرسوم البيانية ممتازة و تمثيل عددي من نتائج القياس ، مثل 3D التمثيل الشخصي وقياس التقارير .

وحدة البرمجيات المستخدمة في حساب رقيقة من الإجهاد

البرنامج مجهز وحدة على أساس نظرية فوكس لحساب رقيقة الإجهاد ، والتي يمكن استخدامها في تكنولوجيا أشباه الموصلات و جميع التطبيقات التي تنطوي على تعديل السطح ( مثل الطلاء أو إزالة الطلاء ) بسرعة وسهولة قياس رقيقة من الإجهاد . الفيلم يؤكد تحسب على أساس متوسط نصف قطرها انحناء قبل وبعد عملية الطلاء .

المعلمات التقنية الرئيسية :

عدم الاتصال قياس شعاع الليزر

2 ، مع وظيفة التلقائي قياس رقاقة الشخصي ، انحناء الفيلم الإجهاد

3 - تكرار انحناء السطح ( ف - 5 ) ≤ 100nm

4 . قرار نظام القياس البصرية : 0.1arcsec

5 . دقة نظام القياس البصرية : 1ARCSEC

6 . سرعة المسح الضوئي : 10 ~ 30 مم / ثانية

7 ، مجموعة قابلة للقياس : معيار φ 200mm و 300mm ، ويمكن تخصيص أكبر