نظام الكشف السريع عن الجسيمات على سطح رقاقة ( PDS )

فاستمايكرونظام الكشف السريع عن الجسيمات على سطح رقاقة ( PDS )

فاستمايكرونظام الكشف السريع عن الجسيمات على سطح رقاقة ( PDS )وهي تستخدم أساسا في مجال أشباه الموصلات رقاقة ، فيلم ، قناع ، ويمكن أن تستخدم أيضا في عرض السوق ، مثل الركيزة الكشف . النظام مجهز 4-12 بوصة مجال الرؤية ( FOV ) مسح المنطقة ، ودعم أعلى وأسفل سطح التفتيش . التصميم البصري يجعل من المنتج يمكن الانتهاء من الكشف دون تحريك في عملية القياس . هذا النظام يمكن أن تكون مخصصة وفقا لمختلف متطلبات عملية الإنتاج ، أو دمجها مباشرة في خط الانتاج .

قياس الاتساق في عملية الإنتاج

بسرعةيمكن الانتهاء من مساحة كبيرة من التصوير في ثوان

الكميةالتحقق والرصد من أجل الإنتاج والبحث والتطوير والبيئة

عملية بسيطة :لا تتأثر المشغلين ، والتشغيل الآلي ، نظيفة طريقة الزحف

دقةعالية الدقة قياس ( الكمية ، الكلمات ، الحجم )

الاتساقالهدف والاستقرار في كل قياس

تدفق عاليةيمكن الحصول على النتائج في عملية نافذة الوقت

fm-pds : الكشف المباشر عن الجسيمات السطحية

هذا النظام يمكن أن توفر معلومات مفيدة عن عملية تصنيع رقاقة ، الجيل القادم من مجمع اشباه الموصلاتفائدة نموذج يوفر تدفق عالية سطح الجسيمات التلوث الكشف عن الخدمة .

تأثير حجم الجسيمات أكبر من 0.1& ميكرومالجسيمات عالية الحساسية .الكفاءة وتوفير الخدمات .

يمكن تشغيلها يدويا أو تلقائيا ، وكذلكانخفاض تكاليف الصيانة ، لتحل محل التقليدية نظام الكشف عن الجسيمات .

الجيل القادم من تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات ، نظام التوزيع العاموقت المسح الضوئي ( اختياري ) ؛

مسح حقل ثابت ( لا تحتاج إلى نقل المنتج أثناء التقاط الصور ) .

متعددة الوظائف منصة وحدات

يمكن تخصيص نظام لتتناسب مع كل عملية شهادة الإنتاج ، أو الاندماج في خط الانتاج . التكوينبما في ذلك دليل أو التلقائي رقاقة الاستيلاء على الأجهزة النقالة ، حزمة فتح للكشف عن وتنظيفالمعدات ، معدات التعبئة والتغليف ، الذراع الميكانيكية ، وحدة الكشف ، ومعدات التنظيف .

هذا النظام يمكن أن تكون مخصصة وتوسيع وفقا لمتطلبات العملاء . وحدة قياس يمكن أيضا أن تكون سلسلةتكامل وتصنيع المعدات الأصلية ( تصنيع المعدات الأصلية ) تقديم خدمة صانعي القطع الأصلية .