vtc-1hd-zf2 فراغ عالية المغنطرون الاخرق التبخر طلاء الجهاز

نموذج المنتج

VTC-1HD-ZF2

المعالم الرئيسية

1 . فراغ الغرفة : φ 324x330

الحد من فراغ 6.0x10-4pa ( المحلية ff-150 لتر التوربينات مضخة الجزيئية + مضخة ميكانيكية )

معدل التسرب : 2.0x10-10pa.m3 / s

المواد 304 الفولاذ المقاوم للصدأ لحام ، الكهروكيميائية تلميع السطح .

ختم الجزء المتحرك يعتمد المطاط الختم الدائري ، ختم الجزء المتحرك يعتمد النحاس الختم الدائري .

انتقال السلطة تعتمد اقتران المغناطيسي الربط .

فراغ غرفة واحدة المغنطرون الهدف ، مجموعة واحدة من التبخر الكهربائي ( اثنين ) ، واثنين من مصدر الشعاع فرن محطة ( معيار واحد مصدر الشعاع فرن ) .

مجموعة واحدة من تدفق متر ( مجموعة واحدة من الأرجون ) مع φ 150 زجاج النافذة ، و C35 شفة واجهة محفوظة .

2 ، الاخرق الهدف : 2 بوصة ( φ 50.8mm )

فراغ العمل : 10pa ~ 0.2pa

معدل استخدام المواد المستهدفة : > 35 ٪ ( معيار النحاس الهدف 3 ملم ، فراغ 0.5pa الهدف )

MAX功率： <240W (التبريد الكامل)

عزل التيار الكهربائي : > 2000V ( مطابقة 500W العاصمة امدادات الطاقة 1 قطعة )

3 . المقاومة التبخر :

التبخر الناتج الجهد : AC 0-8V قابل للتعديل باستمرار

الحد من التبخر الحالي 200A

الحد من التبخر السلطة

درجة الحرارة لا يمكن السيطرة عليها ، لا يمكن قياسها .

4 . مصدر الشعاع فرن : بوتقة قدرة : 3CC

درجة حرارة التسخين : درجة حرارة الغرفة - 700 درجة مئوية

التدفئة درجة الحرارة يمكن قياسها ، قابل للتعديل ، ويمكن السيطرة عليها .

دقة التحكم في درجة الحرارة : ± 0.5 درجة مئوية

بوتقة الكوارتز القياسية ، مع يربك ، الحرارية .

قوة إمداد تموين : 500W / 36V

5 . عينة الجدول : φ 120

درجة الحرارة : درجة حرارة الغرفة - 500 درجة مئوية

الثورات : 1-20RPM

عينة الجدول يمكن رفع يدويا ، قابل للتعديل السكتة الدماغية الحد الأعلى : 50mm

6 ، eq-tm106-1 فيلم سمك متر

1 ) مصدر الطاقة : العاصمة 5V ( ± 10 ٪ ) ، ماكس 400mA الحالية

2 ) تردد القرار : ± 0.03Hz

3 ) فيلم سمك القرار : 0.0136 Å ( الألومنيوم )

4 ) دقة سماكة الفيلم : ± 0.5 ٪ ، اعتمادا على ظروف العملية ، وخاصة موقف الاستشعار ، والإجهاد المواد ، ودرجة الحرارة والكثافة .

5 ) قياس السرعة : 100ms-1s / time ، يمكن تعيين

6 ) قياس مدى : 500000 Å ( الألومنيوم )

7 ) كريستال الاستشعار القياسية : 6MHz

8 ) واجهة الكمبيوتر : RS-232 / 485 واجهة تسلسلية ( معدل الباود 1200 ، 2400 ، 4800 ، 9600 ، 19200 ، 38400 يمكن تعيين ، بت البيانات : 8 ، توقف قليلا : 1 ، سريع : لا )

9 ) الإخراج التناظرية : 8 بت القرار ، PWM PWM الإخراج ( جامع مفتوح أو الداخلية 5V الإخراج )

10 ) بيئة العمل : درجة الحرارة 0-50 درجة مئوية ، الرطوبة 5 ٪ - 85 ٪ RH ، لا المكثفات الخرز

11 ) البعد الخارجي : 90mm * 50mm * 18mm

7 ، معدات المياه المبردة القياسية مع 1 ( kj5000 نوع ) ، العملاء الخاصة مبردات المياه منزوع الأيونات أو المياه النقية .

8 ، مدخلات الطاقة : AC220V / 50 هرتز . السلطة < 3.5kw .

9 . مواصفات المنتج :

الحجم : حوالي 1300mm * 660mm * 1200mm ؛ الوزن : حوالي 160 كجم