سويسرا ضريبة القيمة المضافة عالية فراغ صمام التحكم البديل 65.5 سلسلة

65.5 عالية فراغ صمام التحكم سوينغ يمكن أن توفر درجة عالية من التحكم في تدفق الموصلية الطيف . بسبب سلاسة فتح وإغلاق الحركة ، عدد الجسيمات و مستوى توليد الجسيمات منخفضة جدا ، والتي هي أيضا السمة الرئيسية .

هذا الصمام هو عملية صعبة التصميم ، مثل النقش والتآكل والتنظيف التطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات ، حيث تدفق عالية التحكم الطيف المطلوب عند التحكم الأولي تدفق الموصلية منخفضة .

65.5 الدين من فراغ عالية صمام التحكم هو 250 ملم ( 10 ' ) ، الحد الأدنى من تدفق دليل يمكن التحكم فقط 2 ls-1 . . . . . . . لأن 32 بت سائق تحكم ممتازة في معالجة البيانات ، يمكن زيادة التحكم في التدفق إلى درجة عالية من الدقة . وبالإضافة إلى ذلك ، يمكن أن توفر أيضا أسرع محرك الأقراص لأن أجهزة الاستشعار والتحكم في القيادة يتم معالجتها بشكل أسرع من ما يعادل 16 بت وحدة تحكم . مختلف موصلات المنفذ القياسي على وحدة تحكم يمكن الوصول إليها بسهولة عن طريق الكمبيوتر الشخصي أو عن طريق الاتصال إلى عملية وحدة التحكم .

البندول صمام لوحة تصميم قوي للغاية لضمان أنها يمكن أن تقاوم أي عملية ثانوية . فتح وإغلاق الحركة منفصلة للحد من ارتداء الختم وتجنب توليد الجسيمات . المرحلة الأولى من تدفق دليل يتحقق من خلال الحركة الرأسية بعيدا عن مقعد صمام ، ثم زيادة تدفق دليل عن طريق تحريك البندول لوحة صمام في الحركة الأفقية . لأن لوحة صمام التحكم في الحركة جيدة ، مسبقا تسلسل الحركة يمكن تعديلها بدقة وفقا لمتطلبات العملية . لضمان إغلاق الختم ، اضغط على لوحة صمام على مقعد صمام من خلال الضغط الخاص بار . هذا يضمن توزيع موحد ختم الضغط في جميع المناطق من لوحة صمام .

65.5 سلسلة من السهل أن تكون متكاملة في مجموعة متنوعة من عمليات فراغ مع تصميم مدمج و خيارات التثبيت المباشر ، فضلا عن مجموعة متنوعة من خيارات التصميم الأخرى .

65.5 عالية فراغ صمام التحكم سوينغ مصنوعة من الألومنيوم أو الصلب أنودة الألومينا ، مع ايزو و JIS القياسية شفة موصلات . يمكن أن تكون متكاملة مع العملاء المعينين شفة ، أو سخان ، صمام درجة حرارة التشغيل تصل إلى 120 درجة مئوية .

1 . صمام
2 . حملة رمح
3 . محرك ذو محورين
4 . محرك feedthrough الختم
5 - الإغلاق