البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائية ( PECVD )

قابلة للتفاوضتحديث12/30

نموذج

طبيعة المصنع: المنتجين

فئة المنتج

مكان المنشأ

استشارة عبر الإنترنت

نظرة عامة

PECVD البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائية ( PECVD ) يتكون من 1200 ℃ البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائية والفيزيائية المختلطة ( hpcvd ) المزدوج درجة حرارة منطقة العودة محول نظام المصدر ( مع وظيفة مطابقة التلقائي ) ، المنبع في الموقع التبخر قارب ، 4 قنوات بروتون مقياس الجريان نظام مراقبة الأداء الممتاز مضخة فراغ . هذا الاختراع ينطبق على المعالجة الحرارية مسحوق مركب غير عضوي و طلاء موحد على سطح مسحوق ( على سبيل المثال ، إعداد إجراء طلاء مسحوق الكاثود بطارية ليثيوم أيون ، الخ ) .

تفاصيل المنتج

PECVD البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائيةهو نوع من الأمراض القلبية الوعائية التكنولوجيا التي تستخدم البلازما لتعزيز تفاعل الغاز . وتشمل السمات :

1 ، وانخفاض درجة حرارة ترسيب PECVD : يمكن القيام به في انخفاض درجة حرارة الركيزة ، لأن الطاقة التي توفرها البلازما يمكن أن تعزز رد فعل الغاز ، وانخفاض درجة حرارة ترسيب الاحتياجات .

2 ، وارتفاع معدل الترسيب : البلازما تعزيز معدل التفاعل الغاز ، وبالتالي تحسين معدل الترسيب رقيقة . . . . . . .

3 ، فيلم جيد الجودة : PECVD الأفلام المودعة عادة ما يكون أفضل التوحيد وانخفاض كثافة عيب ، ومناسبة لاحتياجات عالية الجودة فيلم التطبيقات .

4 ، والقدرة على التكيف قوية : يمكن إيداع مجموعة متنوعة من المواد ، بما في ذلك أكسيد نيتريد ، فلوريد ، وهلم جرا ، وتستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات ، والأجهزة البصرية والكهربائية ، طلاء واقية وغيرها من المجالات .

5 ، ومراقبة جيدة : من خلال ضبط المعلمات البلازما ( مثل الطاقة ، وتدفق الغاز ، الضغط ) ، يمكنك التحكم بدقة تكوين وخصائص الفيلم .

تدفئة فرن المعلمات

▪ درجة الحرارة القصوى : 1200 درجة مئوية ( < 30 دقيقة ) ، درجة حرارة التشغيل المستمر : 1100 ℃ ؛

▪ اثنين من PID تحكم في درجة الحرارة و 30 قسم برمجة نظام التحكم في درجة الحرارة ؛

▪ مدخلات الطاقة : 208-240V , مرحلة واحدة , الطاقة القصوى : 2.5KW ;

▪ عالية النقاء الألومينا الألياف العازلة يمكن أن تقلل من استهلاك الطاقة إلى أقصى حد .

▪ سرعة دوران المحول : 2-10rpm ;

▪ فتح نوع تصميم فرن الجسم يمكن أن تقلل من درجة حرارة العينة بسرعة وسهولة استبدال فرن أنبوب .

منتج مماثل يوصي