مجهر مسح بالإلكترون في الموقع نظام درجة حرارة عالية - الطبعة الأساسية

ميزتنا

عالية الدقة والموثوقية

1 .ممس مايكرو عملية بالقطعسمك نيتريد السيليكون الفيلم في منطقة النافذة من تدفئة رقاقة يمكن أن تصل إلى 10 نانومتر ، والتي يمكن أن تصل إلى الحد الأقصى من القرار SEM .

ممتاز الخواص الحرارية

1 .عالية الدقة قياس درجة الحرارة بالأشعة تحت الحمراء تصحيحميكرون عالية الدقة قياس ومعايرة الحقل الحراري لضمان دقة درجة الحرارة .

2 - طريقة التحكم في درجة الحرارة فائقة التردد ، والقضاء على تأثير موصل مقاومة الاتصال ، وقياس درجة الحرارة و المعلمات الكهربائية أكثر دقة .

3 - اعتماد عالية الاستقرار المعادن الثمينة تدفئة سلك ( غير السيراميك المواد ) ، ليس فقط ولكن أيضا مواد التوصيل الحراري المواد الحساسة للحرارة ، مقاومة جيدة العلاقة الخطية مع درجة الحرارة ، تدفئة منطقة تغطي كامل منطقة المراقبة ، وارتفاع درجة الحرارة وانخفاض درجة الحرارة بسرعة ، الحقل الحراري مستقرة وموحدة ، ودرجة الحرارة موجة في حالة مستقرة ± 1 ℃ . . . . . . .

4 - اعتماد حلقة مغلقة عالية التردد التحكم الديناميكي وردود الفعل درجة الحرارة المحيطة التحكم في درجة الحرارة ، عالية التردد السيطرة على ردود الفعل للقضاء على الخطأ ، التحكم في درجة الحرارة دقة ± 1 ℃ .

5 - تصميم متعدد المراحل التدفئة ممس رقاقة التحكم في انتشار الحرارة في عملية التسخين ، والحد بشكل كبير من الانجراف الحرارية في عملية التسخين ، وضمان كفاءة عالية الملاحظة التجريبية .

6 - تدفئة سلك مغطى نيتريد السيليكون ، لا تتفاعل مع عينة لضمان دقة التجربة .

المعايير الفنية

حالة الطلب

زيف-67 بعد تسخين