الحزب الاشتراكي الديمقراطي سلسلة OKK قصر الصناعية الطرد المركزي الروتاري معدات التجفيف

إن okk-daomiya الصبان درير الحزب الاشتراكي الديمقراطي سلسلة مصممة خصيصا لتصنيع أشباه الموصلات رقاقة الطرد المركزي معدات التجفيف ، وتستخدم أساسا لتنظيف رقاقة ( 2-12 بوصة ) كفاءة عالية ، خالية من التلوث والتجفيف . هذه السلسلة من المعدات تعتمد على تكنولوجيا التوازن التلقائي الأصلي ( القوات المسلحة البوروندية ) من اوك و متوافق مع تصميم غرفة نظيفة ، يدرك انخفاض الاهتزاز ، وارتفاع درجة النظافة نزح المياه ، يتجنب تلوث الجسيمات ، ينطبق على عملية الرطب بعد الجبهة العملية . اليابان spindryer آلة التجفيف المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات رقاقة آلة التنظيف .

اليابان okk kogyo SPD سلسلة عالية الدقة مجفف الطرد المركزي الدوارة ( تدور dryer ) وضعت خصيصا رقائق أشباه الموصلات ، وهي تستخدم أساسا في كفاءة عالية ونظيفة نزح المياه بعد رقاقة التنظيف .

تطبيق السيناريوهات والمزايا التقنية

التطبيقات الأساسية : رقاقة أشباه الموصلات بعد التنظيف والجفاف ، جنبا إلى جنب مع الغزل سائق ( SRD ) النظام ، لتحقيق " التنظيف والتجفيف " عملية التكامل .

أشباه الموصلات رقاقة السيليكون ( سي ويفر ) بعد التنظيف والتجفيف

مجمع أشباه الموصلات ( الغاليوم ، كذا ، غان ) رقاقة التجفيف

تنظيف وتجفيف قناع / الركيزة الزجاج وقطع الغيار الإلكترونية الدقيقة

تناسب 8 بوصة ، 12 بوصة العملية الرئيسية

النقاط المضيئة للتكنولوجيا

القوات المسلحة البوروندية ( الكامل التلقائي balancing ) تلقائيا موازنة الاختلافات في الوزن بين 1 و 25 رقائق دون dummy waver . . . . . . .

غرفة نظيفة متوافقة : المدمج في ulpa فلتر ، باستمرار إدخال الهواء النظيف ، ومنع تلوث الجسيمات .

تصميم خالية من الاهتزاز : على أساس تحليل الاهتزاز التكنولوجيا لتحقيق دقة عالية التناوب ، وضمان سلامة سطح رقاقة .

نموذجي العملاء في جميع أنحاء العالم : جيل رقاقة أشباه الموصلات حزمة اختبار المصنع ، مختبر الالكترونيات الدقيقة .

تطور المنتج واستبدال العلاقة

الحزب الاشتراكي الديمقراطي هو خط الانتاج في وقت مبكر من okk ، وقد تم تدريجيا الاستعاضة عن الأفق و okv :

Okh سلسلة : تصميم أفقي ، دعم مزدوج / أربع ناقلات التجفيف في وقت واحد ، ومناسبة لارتفاع خط الانتاج .

OKV سلسلة : هيكل عمودي ، وتحتل مساحة صغيرة ، ومناسبة للبحث والتطوير والإنتاج دفعة صغيرة .

SPD160RN / SPD180RN / H840A / H1120RN / SPD-100 / SPD-200 / SPD-300 /

رقاقة آلة التنظيف لصناعة أشباه الموصلات okh-mrتنظيف + تجفيف آلة متكاملةوقفة واحدة تجهيز رقاقة ، السيراميك ، الزجاج ، أجزاء دقيقةوفي الوقت نفسه ، رش الغاز المضغوط + المياه النقية micronized ، 6 مراحل السرعة ( 10 ~ 600 دقيقة ⁻ 185 ) ، 10 أنواع من الصيغ العملية ، ودعم ن ₂ غاز خامل

okv-600 سلسلة ( فراغ التجفيف القياسية )

ممثل نموذج : okv-600 okv-600s , ,

موقع : 6 بوصة رقاقة / أجزاء دقيقة مصغرة فراغ التجفيف

السمات الأساسية

فراغ البيئة + الطرد المركزي التناوب ، خالية من الأوكسجين والأكسدة ، وانخفاض درجة الحرارة بسرعة الجفاف

مولد الأيونات القياسية + ulpa الترشيح ، النظافة تصل إلى 100 درجة

متغير التردد سرعة التنظيم ( 10-600 دورة في الدقيقة ) ، متعدد المراحل برنامج مراقبة توقيت

مختومة بالكامل SUS316L تجويف ، كهربائيا طحن ، وانخفاض الغبار ، ومقاومة التآكل

التطبيق : 6 بوصة رقاقة ، الركيزة السيراميك ، عدسة بصرية ، والأجهزة الطبية

2 . okv-800 سلسلة ( كبيرة / ثقيلة - واجب رسم فراغ التجفيف )

ممثل نوع : OKV-800 ، OKV-800SA

الموقع : 8 / 12 بوصة رقاقة ، كبيرة الحجم / كمية كبيرة من الشغل فراغ التجفيف

السمات الأساسية

صلابة عالية تجويف ، عالية الدقة التوازن الديناميكي

فراغ + تدفق الهواء الساخن وضع مزدوج ، والتجفيف أكثر موحدة ، وكفاءة أعلى

التلقائي الباب ، سلامة التعشيق ، فراغ الكشف عن تسرب

دعم ن ₂ استبدال غاز خامل ، وتعزيز مكافحة الأكسدة

التطبيق : 12 بوصة رقاقة ، لوحة قاعدة كبيرة ، دفعة وحدة الدقة

3 . okv-mr سلسلة ( فراغ + تنظيف الجسم )

ممثل نوع : OKV-MR

موقع : فراغ بيئة تنظيف + تجفيف التكامل

السمات الأساسية

الانتهاء من تنظيف الجسيمات بشكل متزامن في فراغ الغرفة + فراغ التجفيف بالطرد المركزي

العملية برمتها خالية من الأوكسجين ، والقضاء على الأكسدة والتلوث الثانوي

10 مجموعات من الصيغ العملية ، مع مواد متعددة من الشغل

التطبيق : عالية القيمة ، من السهل أن تتأكسد أجزاء دقيقة واحدة وقف العلاج

الحزب الاشتراكي الديمقراطي سلسلة OKK قصر الصناعية الطرد المركزي الروتاري معدات التجفيف

الحزب الاشتراكي الديمقراطي سلسلة OKK قصر الصناعية الطرد المركزي الروتاري معدات التجفيف