sec-z500x مجموعة متعددة / متعددة الرقمية تحكم تدفق الغاز الشامل

• دقة عالية ± 1.0 ٪ نقطة ثابتة
  الخطي من كتلة تحكم تدفق هو تعويض الحدود التقريبية منحنى ، ودقة عالية في التحكم في التدفق هو تحقيقها . من أجل تحسين دقة الغاز الحقيقي ، معايرة البيانات من الغازات في مختلف العمليات التي تم الحصول عليها من نظام قياس الغاز القياسية
• استجابة عالية السرعة
  " متغير PID نظام " يمكن تجميعها لتحقيق استجابة ثانية واحدة بين أي اثنين من مجموعة من النقاط . متغير معرف التغييرات باستمرار وفقا تدفق نقطة الإعداد . PID معامل الأمثل عند مجموعة كاملة من تدفق الغاز التغييرات .
• حلول متعددة الغاز / مجموعة متعددة
  برامج التكوين يمكن بسرعة وسهولة تغيير المواصفات . ميزة هامة هي أنه يمكن إجراء تغييرات دون إزالة كتلة تحكم تدفق الغاز من لوحة التحكم أو الأنابيب . يقلل من عدد من وحدات تحكم تدفق الكتلة الاحتياطية المطلوبة ، ويوفر الوقت والتكلفة .

sec-z500x الشامل تحكم تدفق مناسبة لمختلف التطبيقات ، فضلا عن تصنيع أشباه الموصلات .