نظام الكشف السريع عن الجسيمات على سطح قناع

فاستمايكرونظام الكشف السريع عن الجسيمات على سطح قناع(PDS)

نظام الكشف السريع عن الجسيمات على سطح قناع(PDS)اختراع يوفر تدفق عالية سطح الجسيمات الكشف عن التلوث خدمة قناع لوحة ، لوحة قناع فيلم واقية ، الركيزة ( الركيزة ) عملية التصنيع .

هذا النظام لديه حساسية عالية من الجسيمات مع حجم الجسيمات أكبر من 0.1 ميكرومتر . فائدة نموذج يمكن أن تحل محل التقليدية نظام الكشف عن الجسيمات مع وضع التشغيل اليدوي أو التلقائي ، وانخفاض تكلفة الصيانة .

ميزات المنتج :

• الكشف عن تدفق عالية : 400 رقاقة ( WPH ) في الساعة

• إخراج البيانات : وفقا لمعيار ISO 14644-9 ، SCP مستوى الانتاج في واجهة المستخدم وقوات الدفاع الشعبي تقرير

• الإيجابية والسلبية على حد سواء الكشف : الانتهاء من الكشف عن الإيجابية والسلبية على حد سواء في قياس واحد ( بدون قلب )

• نطاق الاختبار : يمكن الكشف عن ما يعادل حجم الجسيمات من البوليسترين اللاتكس ( PSL ) ≥ 0.1 ميكرومتر ( شهادة نيست )

• 
  

قياس الاتساق في عملية الإنتاج

بسرعةيمكن الانتهاء من مساحة كبيرة من التصوير في ثوان

الكميةمناسبة لأنّ نوعية تحديد ورصد الإنتاج والبحث والتطوير والبيئة

عملية بسيطة :لا تتأثر المشغلين ، والتشغيل الآلي ، نظيفة طريقة الزحف

دقةعالية الدقة قياس ( الكمية ، الكلمات ، الحجم )

الاتساقالهدف والاستقرار في كل قياس

تدفق عاليةيمكن الحصول على النتائج في عملية نافذة الوقت

fm-pds : الكشف المباشر عن الجسيمات السطحية

هذا النظام يمكن أن توفر معلومات مفيدة عن عملية تصنيع رقاقة ، الجيل القادم من مجمع اشباه الموصلاتفائدة نموذج يوفر تدفق عالية سطح الجسيمات التلوث الكشف عن الخدمة .

تأثير حجم الجسيمات أكبر من 0.1ميكرومالجسيمات عالية الحساسية .الكفاءة وتوفير الخدمات .

يمكن تشغيلها يدويا أو تلقائيا ، وكذلكانخفاض تكاليف الصيانة ، لتحل محل التقليدية نظام الكشف عن الجسيمات .

الجيل القادم من تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات ، نظام التوزيع العاموقت المسح الضوئي ( اختياري ) ؛

مسح حقل ثابت ( لا تحتاج إلى نقل المنتج أثناء التقاط الصور ) .

متعددة الوظائف منصة وحدات

تم تصميم هذا النظام لقياس مباشرة ( الأشعة فوق البنفسجية الأشعة فوق البنفسجية العميقة ) و ( فوق البنفسجية القصوى ) قناع حمايةالفيلم ، قناع ، أو أنواع أخرى من سطح الركيزة .

‍ هذا النظام يمكن أن تكون مخصصة وفقا لاحتياجات العملاء والتوسع . وحدة القياس يمكن أن توفر أيضا تصنيع المعدات الأصلية خدمة تكامل النظم و مصنعي المعدات الأصلية ( تصنيع المعدات الأصلية )