عضو الكنيست revolution RPS ax7690 بعد مصدر البلازما

عضو الكنيست revolution RPS ax7690 بعد مصدر البلازمااختراع يوفر عالية الأداء ونظيفة رد الفعل مصدر الغاز اللازمة لتجهيز رقاقة أشباه الموصلات .الابتكار R * التطور هو منتج في سلسلة جديدة من مصادر البلازما عن بعد المصممة خصيصا ل " onwafer " التطبيقات ، والتي تجمع بين أعضاء الكنيست في الموقع التحقق من انخفاض مجال تكنولوجيا البلازما الحلقي و * تصميم المفاعل البلازما ، والتي يمكن أن تنتج جزيئات محايدة أو المتطرفين الذرية نظيفة جدا .

الجذور الحرة الذرية هي مهمة جدا في العديد من العمليات ، مثل إزالة مقاومة للضوء ، رقاقة قبل التنظيف ، فيلم نيترة والأكسدة .الجذور الحرة تنتج عادة عن طريق إنتاج البلازما .ومع ذلك ، فإن الجسيمات المشحونة ذات الصلة في بعض الأحيان غير مرغوب فيه .من أجل تجنب هذه الآثار السلبية ، البلازما تتولد في الخارج و الجذور الحرة يتم نقلها إلى غرفة العلاج على نحو فعال .

عضو الكنيست revolution RPS ax7690 بعد مصدر البلازمارد الفعل مولد الغاز يدمج الكوارتز فراغ الغرفة ، الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة ، وجميع أجهزة التحكم اللازمة في واحدة المدمجة ، وحدة مستقلة لتسهيلمباشرة على تجهيز غرفة أداة .والنتيجة هي الحصول على نظيفة للغاية من الجذور الحرة الذرية المصدر ، مما أسفر عن رد الفعل المطلوب على رقاقة ، مع الحد بشكل كبير من التعقيد .R * تطور مصدر البلازما عن بعد يمكن أن توفر ما يصل إلى 6 كيلوواط من الطاقة البلازما ، وتوفير تدفق عالية الجذور الحرة ( تصل إلى 5 سم ) ، مما يجعل تجريد أو النقش قيم مرتين أسرع من التقليدية نظام الميكروويف .بسبب كفاءتها العالية والتكلفة المنخفضة ، R * تطور مصدر البلازما عن بعد يمكن أن تقلل بشكل كبير من إجمالي الاستثمار وتكاليف تشغيل الأداة .وبالإضافة إلى ذلك ، فإن حجم أصغر و تصميم بسيط يسهل تركيب وتشغيل وصيانة سهلة .