عضو الكنيست astron2l RPS أشباه الموصلات مصدر البلازما عن بعد

عضو الكنيست astron2l RPS أشباه الموصلات مصدر البلازما عن بعدبعد فترة طويلة من التحقق من مصدر البلازما عالية الأداء مع الأداء الممتاز ، وموثوقية عالية ، هو عنصر أساسي من عناصر عملية تنظيف غرفة الترسيب والحفر ، والقضاء على عملية تراكم ثانوي من جدار الغرفة ، وزيادة خدمة الحياة من الأدوات العملية ، والحد من مصدر الفيلم من التلوث .سلسلة astron RPS يستخدم على نطاق واسع في عملية تنظيف أشباه الموصلات .يمكن تركيبه على رقاقة السيليكون أو مساحة كبيرة الركيزة غرفة العملية في مجموعة متنوعة من تكوينات مختلفة . سلسلة استرون RPS يوفر أفضل وأكثر اقتصادا وموثوق بها تنظيف غرفة الأمراض القلبية الوعائية ، حماية الأسرة ( عرض لوحة مسطحة ) مع رد الفعل المطلوب تنظيف غرفة الغاز ، والطاقة الشمسية تنظيف الغرفة ، مقاومة للضوء الرماد ، والأكسدة ، nitridation والكيميائية الحد .

عضو الكنيست astron2l RPS أشباه الموصلات مصدر البلازما عن بعدالمواصفات الفنية

نوع الجهاز : ASTRON AX7657-85 ,P/N 0190-41326W

مدخلات AC : 208v ~ ، 3 المرحلة ~ ، 50 / 60 هرتز ، 30A

طريقة التبريد : تبريد المياه

ضغط المياه المبردة : 100 psig ( ماكس )

واجهة الاتصالات : RS-232 / Cust I / O