ممس وتكنولوجيا النانو

ممس وتكنولوجيا النانو

الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة ( ممس ) هي الآن تستخدم في العديد من التطبيقات ، بما في ذلك الضغط و التسارع الاستشعار ، عدسة مايكرو جهاز عرض ، مايكرو مضخة السائل . ممس الأجهزة الاستفادة الكاملة من تكنولوجيا التصنيع المستخدمة في صناعة الدوائر المتكاملة لإنشاء المكونات الميكانيكية مثل التروس ، أغشية ، الحزم مركب . دقة قياس جميع هذه المكونات أمر بالغ الأهمية لتلبية متطلبات الإنتاج الضخم منخفضة التكلفة وعالية الجودة ممس الأجهزة .

قياس

خشونة
من خلال قياس دقيق خشونة في ممس ، سطح التفاعلات يمكن السيطرة عليها سواء كانت التفاعلات بين المواد الصلبة والسائلة في نظام العتاد الصغيرة ، أو التفاعلات بين المواد الصلبة والسائلة في مايكرو مضخة السائل .

ارتفاع الخطوة
رصد ارتفاع خطوة من الأجهزة ممس هو مؤشر هام على الأداء . خطوة الارتفاع جنبا إلى جنب مع البعد الأفقي المعلومات يمكن أن توفر كتلة فعالة تقريب التي يمكن أن تؤثر على وتيرة التذبذب الأساسية عنصر واحد في الجهاز .

البعد الأفقي
البعد الجانبي مهم بشكل خاص في تحديد نوعية التروس الصغيرة و أنظمة السوائل . دقة قياس حجم المساحة و الأبعاد الهامة مثل شعاع العرض يساعد على السيطرة على أداء الجهاز النهائي .