معدات الطباعة الحجرية

حجم رقاقة السيليكون

8 / 6

رقاقة سمك

ماكس.10 مم

حجم قناع

9' × 9' / 7' × 7' (نصف)

قناع سمك

ماكس.6.35 مم

طريقة التعرض

طريقة الاتصال

لينة ، من الصعب الاتصال ، الاتصال فراغ

تعرض الفجوة

0 ~ 1000 ميكروم

إزالة الدقة

1 ميكروم

شدة التعرض

0 ~ ≥40mw / سم 2

تعرض العدسة

نوع مصدر الضوء

الصمام

التعرض الطول الموجي

365nm ، 405nm ،

شدة الضوء التوحيد

أقل من 4 ٪ و 8 ' / < 3 ٪ و 6 '

القرار

فراغ الاتصال

من الصعب الاتصال ≤ 1.5 ميكرون

لينة الاتصال ≤ 2-2 ميكرون

الفجوة ≤ 3-6 ميكرون

وضع المحاذاة

أعلى المحاذاة

< ± 1 ميكروم

اختياري أسفل المحاذاة

< ± 2 ميكروم

أعلى مجموعة التركيز المحاذاة

5 مم

محاذاة أسفل نطاق التركيز

5 مم

رقاقة السيليكون مع الجدول

نطاق الحركة

x : ± 5mm y : ± 5mm θ : ± 5 °

القرار

0.04 ميكروم

أعلى عدسة المحاذاة

نطاق الحركة

6 '40 ~ 150 مم

8 '40 ~ 200 مم

أسفل عدسة المحاذاة

نطاق الحركة

6 '40 ~ 150 مم

8 '40 ~ 200 مم

واجهة المستخدم

ويندوز 10

عملية التخزين القائمة

الاحتياجات الميدانية

فراغ النيتروجين > 0.5 الآلام والكروب الذهنية . الهواء المضغوط : 0.6 ~ 0.8 ميغاباسكال

الطلب على الطاقة

الجهد : 230 الخامس ± 10%

التردد : 50-60 هرتز

حجم الوزن

الطول * العرض * 1200 * 1000 مم

ارتفاع : 1973 مم الوزن : ~ 400 كجم