linewidth قياس

comef هو نوع من برامج معالجة الصور مع وظيفة خاصة ، مصممة خصيصا لقياس خط العرض والمسافة مع دقة عالية . من خلال قيمة رمادية الخوارزمية ، فإنه يمكن قياس العرض والمسافة من الأسلاك أو هيكل على رقاقة السيليكون مع دقة subpixel المستوى .

ويستخدم مبدأ عكس التصوير الضوئي . ولذلك ، يمكن للمرء أن يتصور أيضا وضع اتفاقية مكافحة التصحر رقاقة في موضوع الطائرة ( عينة الطائرة ) . الهدف من التصوير المجهري عينة الاختبار على مستوى رقاقة في 10 مرات التكبير ، من حيث المبدأ ، سوف أيضا صورة رقاقة على مستوى العينة في 1 / 10 من التكبير .

ما هو subpixel تجهيز ؟ Subpixeling means, detection of edge position with higher reproductibility than ΔXm. subpixel يعني الكشف عن موقف حافة مع أعلى من التكرار من deltaxm . . . . . . . How does that work? كيف يعمل هذا ؟ A condition is that the recognition of the edge position does not take place manually any longer via setting measuring points on the PC monitor. الشرط هو أن تحديد موقع الحافة لم تعد تتم عن طريق تحديد نقاط القياس يدويا على شاشة الكمبيوتر . The edge recognition is made on the basis of grey tone distributions by the regarded screen window. Thus this measuring procedure no more is suitable for all kinds by objects. التعرف على الحافة على أساس توزيع اللون الرمادي من عرض نافذة الشاشة . ولذلك ، فإن هذا الأسلوب لم يعد ينطبق على جميع أنواع الكائنات . It works however outstanding perfect for all linear expanded objects, thus e.g. for circuit paths on hoppers or structures on wafers and masks in semiconductor technology. ومع ذلك ، فإنه يعمل بشكل جيد ومناسبة لجميع التمديدات الخطية ، مثل مسار الدائرة في تكنولوجيا أشباه الموصلات ، وهيكل على النطاط ، وهيكل على رقاقة قناع .

لأن حجم بكسل الأصلي على رقاقة هو 6 ميكرون ، حجم كل بكسل على عينة اختبار مستوى 0.6 ميكرون .