-
البريد الإلكتروني
qeservice@enli.com.tw
-
الهاتف
18512186724
-
العنوان
غرفة 409 ، بناء ، رقم 169 Shengxia الطريق ، منطقة بودونغ الجديدة ، شنغهاي
guangyan علوم والتكنولوجيا المحدودة
qeservice@enli.com.tw
18512186724
غرفة 409 ، بناء ، رقم 169 Shengxia الطريق ، منطقة بودونغ الجديدة ، شنغهاي
إثارةضوء .مسح عيب التصوير هو نسخة مطورة من شعاع الليزر المستحثة الحالية ( lbic ) اختبار . أشباه الموصلات هو المشع من قبل شعاع الليزر مع الطول الموجي الطاقة أكبر من أشباه الموصلات فجوة الطاقة ، وبالتالي توليد الإلكترون ثقب أزواج . من خلال المسح السريع على سطح العينة ، توزيع الصور التي تكشف عن التغيرات الداخلية الحالية التي تم الحصول عليها . هذا يساعد على تحليل نوعية إعداد العينة ، ويساعد على تحسين عملية التصنيع .
• •توزيع photocurrent المسح الضوئي
• •المسح الضوئي توزيع الجهد
• •مسح توزيع الجهد دائرة مفتوحة وقصيرة الدوائر الحالية
• •تحليل التلوث السطحي
• •تحليل توزيع دائرة كهربائية قصيرة في المنطقة
• •تحديد وتحليل microcrack المنطقة
• •تحليل توزيع الناقل أقلية نشر طول ( اختيار وظيفة )


![]()






| المشاريع | معلمة الوصف . |
|---|---|
| وظيفة . | أ - استخدام شعاع الليزر الطول الموجي مع طاقة أعلى من أشباه الموصلات ذات فجوة الحزمة لتوليد زوج من الثقوب الإلكترونية في أشباه الموصلات ، واستكشاف تأثير منطقة الاستنزاف على التغيرات الحالية الداخلية ، وفهم وتحليل توزيع مختلف العيوب ، والاتجاه لتحسين العملية . ب - قادرة على مسح سطح العينة photocurrent التوزيع . ج . قادرة على مسح سطح العينة لتوزيع الجهد البصري . قادرة على مسح توزيع فتح دائرة الجهد وقصيرة الدوائر الحالية . القدرة على تحليل التلوث السطحي . قادرة على تحليل توزيع دائرة كهربائية قصيرة في المنطقة . ز - القدرة على تحديد وتحليل مناطق الشقوق الصغيرة . ح - القدرة على تحليل توزيع أطوال انتشار حاملات الأقلية ( اختياري ) . |
| مصدر الإثارة |
405 ± 10nm ليزر 520 ± 10nm ليزر 635 ± 10nm ليزر 830 ± 10nm ليزر |
| مسح المنطقة | ≥ 100mm × 100mm |
| حجم بقعة الليزر | بالقرب من نقطة tem00 واسطة |
| رسم القرار |
ألف - قرار المسح الضوئي ≤ 50 ميكرومتر مسح القرار يمكن أن تكون مجموعة من البرامج |
| وقت المسح | أقل من 4 دقائق ( 100mm × 100mm ، 50um القرار ) |
| جوانب | 60 سم * 60 سم * 100 سم |
| سوفت وير | أ . LBIC التصور 3D ب - تحليل مقطعي ثنائي الأبعاد ( نسبة الجانب الكهربائي ) ج - تحليل توزيع photocurrent استجابة ( مع الجمع بين الطول الموجي الطويل ليزر المصدر ) دال - حفظ البيانات ووظائف التصدير |