كتلة تحكم تدفق غاز الهيدروجين

mfc330 سلسلة الغاز مقياس الجريان الشامل / المراقب المالي ، بما في ذلك هيكل العمود الشعري تدفق الاستشعار ، تجاوز تحويلة النظام ، عالية الدقة صمام تناسبي ، ونظام التحكم .

بعد قياس الغاز يدخل من خلال أجهزة الاستشعار تجاوز تحويلة النظام . أجهزة الاستشعار قياس تدفق الغاز في الوقت الحقيقي ، والاستجابة الديناميكية عالية الدقة صمام تناسبي بسرعة ضبط تدفق الغاز إلى مجموعة قيمة . قياس وتنظيم تدفق حلقة مغلقة هيكل ، حتى لو كانت درجة الحرارة المحيطة أو مدخل ومخرج تقلبات الضغط ، MFC 330 لا تزال قادرة على الحفاظ على استقرار التحكم في التدفق .

ميزات المنتج

دقة قياس التدفق الجماهيري / السيطرة

استجابة سريعة ، وارتفاع التكرار

لا تتأثر درجة الحرارة والضغط

فرق الضغط العامل مجموعة كبيرة : 0-1mpa

انخفاض الجهد خسارة اختياري

جميع المعادن صمام تناسبي اختياري

عرض متكامل اختياري

حلول فعالة من حيث التكلفة

المعالم الرئيسية

متطلبات وسائل الإعلام تنظيف الغاز الجاف

نوع الغاز : 98 + غاز اختياري

مدى 0-2 , 10 , 20 , 50 , 100 , 300 , 500 SCCM

0-1، 2، 5، 10، 20، 30، 50، 100، 200، 500slpm

قياس مدى 0.5 في المائة و ( 1 : 200 )

نطاق السيطرة : 1 ٪ - 100 ٪ خ م ( 1 : 100 )

دقة ± 1 ٪ f.s .

تكرار دقة ± 0.2 في المائة f.s .

الخطي ± 0.2 في المائة f.s .

السيطرة على وقت الاستجابة

التسخين الوقت 5 دقائق ( T95 ) ، 30 دقيقة

عادة مغلقة صمام نوع