-
البريد الإلكتروني
13817879697@126.com
-
الهاتف
13817879697
-
العنوان
لين 4855 guangfulin الطريق ، منطقة سونغ جيانغ ، شنغهاي
bannai التلقائي متر ( شنغهاي ) المحدودة
13817879697@126.com
13817879697
لين 4855 guangfulin الطريق ، منطقة سونغ جيانغ ، شنغهاي
اليابان horiba stec e40mk3 / e50mk3 تحكم تدفق
اليابان Horiba Stec e40mk3 / e50mk3 تحكم تدفق هو نوع من المنتجات التي يمكن أن تقلل من تكلفة الإنتاج الشامل دون تغيير خصائص الجودة المطلوبة من قبل كتلة تحكم تدفق . تسرب المواد والمواصفات مع النموذج العام من المنتجات sec-400 sec-500 , سلسلة متسقة تماما . فائدة نموذج يستخدم أساسا للسيطرة على تدفق الغاز المستخدمة في عملية الإنتاج ، والإنتاج الضخم تتم وفقا للتركيز على التكرار ، والحد من أنواع تدفق الغاز ، وبالتالي تحقيق خفض كبير في التكلفة . فائدة نموذج مناسبة لأنّ مناسبة لأنّ ثابت معدل التدفق ، على المدى الطويل السيطرة على الاستقرار وتكرار السيطرة . و هو أيضا مناسبة لأنّ بسيطة التحكم في التدفق من المعهد .
خصائص التحكم في التدفق / e40mk3 e50mk3 اليابان
1 - استخدامات واسعة
2 - السعي لتحقيق مزايا التكلفة ، وخفض التكاليف
اليابان Horiba Stec e40mk3
اليابان . HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 مواصفات تحكم تدفق
| نموذج | ثانية -- ( كتلة تحكم تدفق ) | E40 / E40MK3 | E50 / E50MK3 |
| سيف - ( مقياس الجريان الشامل ) | E40 | E50 | |
| أنواع الغازات القابلة للتطبيق * | غير قابلة للتآكل الغاز ( نموذج MK3 ينطبق على N2 ، O2 ، الهواء ، H2、Ar、He) | ||
| مواد الاتصال الغاز | SUS316L المطاط المفلورة . PTFE、 المغناطيسي الفولاذ المقاوم للصدأ | ||
| صمام نوع | إيقاف عند عدم تنشيط | ||
| معيار تدفق مجموعة ( N2 مقابل f.s . ) | 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| نطاق التحكم في التدفق ( مناسبة لسلسلة ثانية ) |
2 إلى 100٪ FS | ||
| قياس تدفق مجموعة ( مناسبة لسلسلة سيف ) |
0 إلى 100٪ FS | ||
| سرعة الاستجابة | في غضون 1 ثانية ( T98 ) | ||
| تدفق الدقة | ± 1٪ FS | ||
| خط مستقيم | ± 0.5٪ FS | ||
| تكرار | ± 0.2٪ FS | ||
| قيمة ضغط العمل ( مناسبة لسلسلة ثانية ) |
10 SCCM ~ 5 SLM: 50 ~ 300kPa (د) 10〜30 SLM: 100 ~ 300kPa (د) | ||
| استخدام الضغط ( مناسبة لسلسلة سيف ) |
300 كيلوباسكال ( ز ) أدناه | ||
| مقاومة الضغط | 1 ميغاباسكال ( ز ) أدناه | ||
| معدل التسرب الخارجي | 1 × 10-8pa · م 3 / ق ( هو ) أدناه | ||
| استخدام درجة الحرارة المحيطة | 5 〜 50 ℃ ( ضمان الدقة : 15 〜 35 ℃ ) | ||
| وضع إشارة المرور | 0.1 〜 5vdc ( مدخلات المعاوقة أكثر من 1 م Ω ) / 2 〜 100 ٪ و . | ||
| تدفق إشارة الخرج | 0 〜 5VDC ( الحد الأدنى تحميل المقاومة 2K Ω ) | ||
| قيادة السلطة | + 15VDC ± 5٪ 50mA -15VDC ± 5٪ 150mA 3VA | + 15VDC ± 5٪ 50mA -15VDC ± 5٪ 200mA 3.9VA | |
| موصلات قياسية * | نوع | ||