اليابان horibastec-z512mgx الرقمية تحكم تدفق الشامل

موجز
مقياس الجريان الشامل هو جزء مهم جدا من معدات تصنيع أشباه الموصلات . استقرار العملية غالبا ما يكون عاملا رئيسيا في نجاح أو فشل عملية أشباه الموصلات .
HORIBA STEC, كما في جميع أنحاء العالم حصتها في السوق أكثر من 35 ٪ * 1 مقياس الجريان مصنعين ، صناعة أشباه الموصلات منذ فترة طويلة متسقة لتوفير جودة عالية ، منتجات متعددة الوظائف . الآن ، جنبا إلى جنب مع التكنولوجيا الجديدة ، Horiba Stec هو تعزيز نوعية جديدة تحكم تدفق : z500 سلسلة في جميع أنحاء العالم .
بالمقارنة مع النماذج القديمة ، z500x سلسلة تحقيق اختراقات جديدة ، وسوف تكون متجهة إلى تغيير مستقبل تكنولوجيا التحكم في التدفق . في حين أن جميع وظائف التحكم في التدفق التي يحتاجها العملاء المقدمة ، مركب الغاز تدفق مركب يتم تحويلها . يمكن للعملاء بسهولة تغيير نوع مقياس الجريان الغاز وقياس مدى * 2 وفقا لمتطلبات العملية .
وبالإضافة إلى ذلك ، من خلال الابتكار التقني من مواد المنتج ، z500 سلسلة تلبي تماما متطلبات تصميم المنتجات الخضراء بنفايات ، وتعزيز قيمة المنتج للعملاء .
عالية الأداء سلسلة مقياس الجريان Z500 سيجلب لك المزيد من المفاجآت . العالم كله يشهد ولادة نوع جديد من مقياس الجريان الشامل الذي هو على وشك تغيير كامل صناعة أشباه الموصلات .
* 1 الرجوع إلى دراسة VLSI 2007 .
* 2 مركب الغاز ، مركب تدفق وظيفة .
سمة
عالية الدقة : مجموعة تدفق ± 1 في المائة .
خطي دقة MFC هو تعويض الحدود التقريبية منحنى ، والتي تضمن دقة عالية في السيطرة على كل مجموعة . من أجل تحسين دقة التحكم في أنواع مختلفة من الغازات الحقيقية ، horiba stec وضعت معيار نظام قياس الغاز ، وجمع البيانات من مختلف الغازات العملية على أساس الكثير من التجارب .
استجابة عالية السرعة
sec-z500x يستخدم أحدث تطوير " قابل للتعديل PID " نظام لضمان أن أي تغيير بين اثنين من مجموعة نقاط التدفق في غضون 1 ثانية عند تحديد معدل تدفق مختلفة ، PID البيانات سيتم تعديلها تلقائيا ، حتى بعد تغيير نوع الغاز وتدفق مجموعة ، PID البيانات يمكن أن يكون تلقائيا الأمثل لتحقيق استجابة عالية السرعة .
مركب نظام تدفق الغاز
horiba Stec المنتجات الجديدة تسمح للعملاء بسهولة تغيير نوع الغاز و معدل التدفق في الموقع . لدينا برامج الإعداد z500 بسيطة وسهلة الاستخدام . الأفضل من ذلك ، هذه التغييرات لا تحتاج حتى إلى إزالة MFC من النظام . في هذه الطريقة ، يمكن أن تقلل إلى حد كبير من كمية قطع الغيار للعملاء ، مع توفير الوقت والتكلفة .
المنتجات ذات الصلة وغيرها من الرسوم البيانية