اليابان horibastec-8440f8450 ارتفاع درجة الحرارة وحدة تحكم تدفق الشامل

موجز
مقياس الجريان الشامل هو جهاز يستخدم لقياس أو التحكم في تدفق الغاز . معدل التدفق عموما تنقسم إلى حجم التدفق و معدل التدفق الجماهيري ، ولكن حجم الغاز من السهل أن تتأثر درجة الحرارة الخارجية والضغط . تدفق الشامل يستخدم لقياس نوعية الغاز ، ونوعية لا تتأثر بالبيئة الخارجية ، وبالتالي توفير دقة عالية للكشف عن تدفق والتحكم ، وتستخدم على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات .
سمة
نماذج المنفعة هي كتلة تحكم تدفق التي يتم توفيرها مع صمام كهرضغطية ، ويمكن استخدامها في بيئة درجة حرارة عالية .
1 . مناسبة لأنّ عال - درجة حرارة : يستطيع التقيت [ 150 ك ] تحميص
2 . هناك أنواع من المنتجات التي يمكن أن تلبي درجة الحرارة في الصف .
3 . الترا نظيفة نوع : جميع الفولاذ المقاوم للصدأ هيكل في قسم الغاز
4 - التحكم في التدفق من المواد المعدنية العضوية ، وانخفاض ضغط البخار والمواد المسببة للتآكل الغاز
مواصفة

sec-8340sl محملة سخان الجسم الرئيسي
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 80 〜 100 درجة مئوية

SEC-8340SM تدفئة الهيكل
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 100 〜 120 درجة مئوية

SEC-8440LSL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 15 〜 35 درجة مئوية

SEC-8450LSL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	10/20 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 15 〜 35 درجة مئوية

SEC-8455LSL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	30/50 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 15 〜 35 درجة مئوية

SEC-8460LSL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	50/100 سلم
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 15 〜 35 درجة مئوية

SEC-8440LSM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 35 〜 60 درجة مئوية

SEC-8450LSM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	10/20 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 35 〜 60 درجة مئوية

SEC-8455LSM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	30/50 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 35 〜 60 درجة مئوية

SEC-8460LSM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	50/100 سلم
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 35 〜 60 درجة مئوية

SEC-8440LSH
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 60 〜 80 درجة مئوية

SEC-8450LSH
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	10/20 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 60 〜 80 درجة مئوية

SEC-8455LSH
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	30/50 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 60 〜 80 درجة مئوية

SEC-8460LSH
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	50/100 سلم
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 60 〜 80 درجة مئوية

SEC-8440SL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 80 〜 100 درجة مئوية

SEC-8450SL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	3/5/10 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 80 〜 100 درجة مئوية

SEC-8455SL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	10/20 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 80 〜 100 درجة مئوية

SEC-8460SL
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	20/30/50 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 80 〜 100 درجة مئوية

SEC-8440SM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 100 〜 120 درجة مئوية

SEC-8450SM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	3/5/10 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 100 〜 120 درجة مئوية

SEC-8455SM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	10/20 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 100 〜 120 درجة مئوية

SEC-8460SM
مواد الاتصال الغاز	سوس-316L
صمام نوع	لا : عندما لا على
معيار تدفق مجموعة	20/30/50 SLM
نطاق التحكم في التدفق	2 〜 100 ٪ f.s . ( مجموعة كاملة )
تدفق الدقة	± 1.0 ٪ و ( مجموعة كاملة )   درجة حرارة التشغيل : 100 〜 120 درجة مئوية

المنتجات ذات الصلة وغيرها من الرسوم البيانية