- البريد الإلكتروني
- الهاتف
-
العنوان
1301 ، كتلة ، runchuang بناء ، no.520 Chuangye الطريق الثاني ، حي باوان ، وشنتشن
شنتشن تيان يى المحدودة الصك ، المحدودة .
1301 ، كتلة ، runchuang بناء ، no.520 Chuangye الطريق الثاني ، حي باوان ، وشنتشن
التكنولوجيا الأساسية للكشف عن الركيزة
1 . انخفاض فرق الطور اقتناء التكنولوجيا الدقيقة
من أجل تلبية متطلبات منخفضة جدا فرق الطور بين زجاج الكوارتز الركيزة ( وخاصة بألواح الركيزة ) أقل من 5 نانومتر ، pa-300الحد الأدنى من القرار 0.001nmجنبا إلى جنب مع انكسار تعزيز خوارزمية 520nm الفرقة الخضراء ، فرق الطور التدرج بين حافة الركيزة و المنطقة الوسطى يمكن التقاطها ، وحساسية الكشف هو 3 مرات أعلى من التقليدية الضوء المستقطب التداخل . ستوكس عنصر متزامن اقتناء التكنولوجيا يتجنب الاهتزاز الناجم عن خطأ الميكانيكية أجزاء دوارة ، ويضمن دقة الكشف عن تكرار 12 بوصة لوحة قاعدة مستقرة في σ < 0.1nm . . . . . . .بألواح الركيزة الزجاج كاشف فرق الطور الوكيل العام
2 . ذكي نظام العرض الرقمي الخاص الركيزة
س تقسيم التصوير الرقميpa-view البرمجيات يدعم قاعدة لوحة حسب " منطقة فعالة / حافة المنطقة / وضع علامة على المنطقة " مخصص للكشف عن المنطقة ، في الوقت الحقيقي توليد لون فرق الطور الحراري الخريطة ، منطقة الإنذار المبكر الأحمر يمكن أن دقة قفل نقطة تركيز الإجهاد ( على سبيل المثال ، بالقرب من قاعدة لوحة قطع مارك ) ، تحديث سرعة 3 ثوان / مرة لتلبية متطلبات خط الانتاج ضرب .
س تحليل الإجهاد فرق الطور الربطبعد اختيار وحدة تحويل الإجهاد ، فرق الطور البيانات يمكن تحويلها مباشرة إلى مستوى الإجهاد المتبقية قيمة الآلام والكروب الذهنية ، والتي يمكن أن تتطابق تماما مع متطلبات " الطيفية الكوارتز النقي الركيزة الإجهاد المتبقية أقل من أو يساوي 50 الآلام والكروب الذهنية " في ASTME837 القياسية .
س التكيف الذاتي معايرة متعددة الأبعادpa-300-xl يستخدم 242 * 290mm سوبر كبيرة تغطي مجال الرؤية مرة واحدة للكشف عن 300 ملم رقاقة الركازة ، جنبا إلى جنب مع الربط التلقائي خوارزمية للقضاء على الربط خطأ في الكشف عن شريحة التقليدية . على 20 × 20 ملم minitype بألواح الركيزة ، 7 × 8.4mm عدسة مايكرو يمكن استخدامها لتحقيق ميكرون مستوى الكشف عن التفاصيل . انخفاض فرق الطور كاشف

كامل عملية التفتيش القياسية الركيزة
1 - الامتثال المزدوج للمعايير الدولية / الوطنية
اختبار البند |
تنفيذ المعايير |
السلطة الفلسطينية - 300 تحقيق القدرة |
الكشف عن الإجهاد المتبقية |
SEMI F40 / GB / T 16523 |
0-130nm فرق الطور 0-200mpa الإجهاد عملة |
فرق الطور التوحيد |
سيمي P492 |
التوحيد العالمي σ < 0.5nm |
سطح الإجهاد التدرج |
أستم837 |
تغيير لون الخريطة تكميم التدرج |
2 . تصميم غرفة نظيفة تناسب
المعدات التي تعتمد على نظام بصري الخالية من الزيت والغبار واقية من ختم هيكل يتوافق مع متطلبات ايزو 14644-1 الصف 5 نظيفة ، ويمكن نشرها مباشرة في أشباه الموصلات القناة الأمامية الكشف عن المنطقة . جيجي واجهة يدعم نقل البيانات عن بعد ( تصل إلى 100 متر ) لتجنب التدخل من معدات الكشف عن تدفق الهواء في غرفة نظيفة .
تطبيق نموذجي الركيزة التفتيش المشهد
1 - الكشف عن أشباه الموصلات الضوئية الرئيسية الركيزة
س الكشف عن وجوه: 6-12 بوصة جولة الكوارتز بألواح الركيزة
س الاحتياجات الأساسيةالتوحيد من فرق الطور ≤ 3 نانومتر ، حافة الإجهاد ≤ 30 الآلام والكروب الذهنية
س با 300 حلpa-300-l نوع يستخدم مع فراغ الامتزاز عينة الجدول تلقائيا التدريع الغبار تدخل على سطح الركيزة . من خلال المدمج في " بألواح قالب القياسية " ، مفتاح واحد يولد تقرير الاختبار الذي يحتوي على " فرق الطور يعني / الذروة / التوحيد " مباشرة لرسو السفن سيميكون الغربية متطلبات التوثيق .
2 . الكشف عن لوحة قاعدة الهاتف الذكي
س الكشف عن وجوه: 0.7-2mm رقيقة جدا لوحة قاعدة الكوارتز
س الاحتياجات الأساسيةسرعة تحديد تركيز الإجهاد المحلية الناجمة عن الساخنة الملحة
س با 300 حلباستخدام " مسح سريع " واسطة ، واستكمال الكشف عن لوحة قاعدة واحدة في 3 ثوان ، مع وظيفة التلقائي على النقيض من ذلك ، يمكن أن تظهر في وقت واحد توزيع الضغط الحراري الرسم البياني 10 لوحات قاعدة ، ومساعدة الفنيين بسرعة تحسين الصلب المعلمات ، وانخفاض معدل الفشل أكثر من 40 ٪ .
أربعة ، الركيزة التفتيش الأساسية ميزة ملخص
1. معيار مطابقة دقيقةعملية الاختبار يتوافق مع المعايير المزدوجة سيمي غيغابايت / تي ، والبيانات التي يمكن استخدامها مباشرة في سلسلة التوريد الدولية شهادة الجودة .
2. ذكي العرض الرقميتقسيم الكشف التلقائي + تحذير + بيانات الربط ، الركيزة الكشف من " التفتيش الكامل تستغرق 3 دقائق / قطعة " ضغط " 3 ثوان / قطعة " ؛
3. تغطية كاملةمن 5 ملم إلى 50 سم رقاقة الركازة الركيزة الصغيرة ، من خلال مزيج من العدسة و نوع الجهاز لتحقيق الكشف .
بألواح الركيزة الزجاج كاشف فرق الطور الوكيل العام