ركزت شعاع ايون المجهر الإلكتروني

Thermo العلم هيليوس 5 ليزر تركز شعاع ايون المجهر الإلكتروني يوفر قدرة ممتازة على تحليل حجم كبير 3D ، وإعداد عينة خالية من جا ، والدقة بالقطع الصغيرة .

Thermo Scientific™ Helios™ 5 الليزرركزت شعاع ايون المجهر الإلكترونييوفر قدرة ممتازة على تحليل حجم كبير 3D ، GA الحرة إعداد العينة ، والدقة بالقطع الصغيرة . مع مبتكرة ، ومتكاملة ليزر الفيمتو ثانية ، والتي توفر معدل إزالة المواد أسرع وأعلى جودة سطح القطع ، هو أسرع نوعية السطح الفرعي و 3D توصيف المعدات في نطاق ملليمتر نانومتر القرار .

على نطاق ملليمتر المقطع العرضي ، إزالة المواد بسرعة 15 ، 000 مرات أسرع من نموذجي جا + فيبوناتشي

◆ الإحصائية ذات الصلة دون السطحية وتحليل البيانات 3D للحصول على حجم أكبر في وقت أقصر

◆ يمكن أن تتكرر مع وضع القطع ثلاثة حزم تتزامن على عينة

◆ من خلال استخراج تيم شريحة أو كتلة من دون سطح لتمثيل الخصائص العميقة بسرعة ، وتستخدم في تحليل ثلاثي الأبعاد

◆ معالجة المواد الصعبة مع تدفق عالية ، مثل عينات غير موصل أو شعاع ايون الحساسة

◆ سريعة وبسيطة لوصف عينات الهواء الحساسة ، لا تحتاج إلى نقل بين مختلف الصكوك للتصوير وإعداد القسم

◆ يحتوي على جميع وظائف منصة هيليوس 5 PFIB ، بما في ذلك جودة عالية GA - عنصر مجانا و APT إعداد العينة ، فضلا عن * القدرة على التصوير عالية الدقة

Thermo Scientific™ Helios™ 5 الليزرركزت شعاع ايون المجهر الإلكتروني المعلمات :

ليزر الفيمتو ثانية pfib

حجم كبير : 2000 * 2000 * 1000 ميكرون 3

شعاع كبير : ~ 1mA ( أي ما يعادل شعاع ايون الحالية )

قطع شعاع : 74 μ A

شعاع بقعة الحجم : 15 ميكرون

الليزر التكامل : 3 الحزم ( SEM / PFIB / ليزر ) * متكاملة في غرفة مع نفس صدفة نقطة .

تحقيق تكرار قطع الكلمات و 3D التمثيل .

التوافقية الأولى : الطول الموجي 1030 نانومتر ( الأشعة تحت الحمراء ) ، مدة النبضة < 280fs

التوافقية الثانية : الطول الموجي 515 نانومتر ( الأخضر ) ، مدة النبضة < 300fs

البصريات الالكترونية

د = 4 ملم ( نفس SEM / فيبوناتشي )

العدسة الشيئية متغيرة ( كهربائية )

الاستقطاب : أفقي / عمودي

* نبض التردد : 1KHz ~ 1MHz

◆ شعاع موقف الدقة : < 250nm

حماية يربك : التلقائي SEM / PFIB حماية يربك

برامج

برامج التحكم بالليزر

تدفق العمل من الليزر 3D التقطيع المستمر

◆ EBSD الليزر 3D تقطيع مستمر سير العمل

تجميع الليزر

السلامة : الليزر شل المتشابكة ( السلامة الأولية )