الجيش الشعبي مرحلة تصحيح الجهاز هو المعدات الأساسية لإنتاج الغاز الإلكترونية الخاصة ، من خلال دقة تصحيح وتنقية الغاز نقاء تصل إلى أكثر من 99.999 ٪ ، وتلبية متطلبات أشباه الموصلات
التعاريف الأساسية وتطبيق السيناريوهات
الجيش الشعبي مرحلة تصحيح الجهاز ، وهو ما يسمى الكهربائية الصرفة مرحلة تصحيح الجهاز ، هو جهاز تنقية الغاز عالية الدقة المصممة خصيصا لصناعة الالكترونيات . من خلال العديد من عمليات تصحيح دقيقة ، تتبع الشوائب ( مثل الرطوبة ، ايونات المعادن ، والهيدروكربونات ، وما إلى ذلك ) في الغاز يمكن إزالتها ، وأخيرا نقاء الغاز يمكن أن تصل إلى أكثر من 99.999 ٪ ( 5 ن ) و نقاء 99.9999 ٪ ( 6 ن ) يمكن أن تتحقق في بعض المشاهد .
وهي تستخدم أساسا في تصنيع رقائق أشباه الموصلات ، الخلايا الضوئية ، وتجهيز المكونات الإلكترونية وغيرها من المجالات ، النقش ، الترسيب وغيرها من التكنولوجيات الرئيسية لتوفير نقاء عالية من الغاز الإلكترونية ( مثل الهيدروجين والأكسجين والأمونيا ، الخ . )
ثانياً - مبادئ العمل الأساسية
على أساس مبدأ " نقطة الغليان الفرق بين المواد المختلفة " ، جنبا إلى جنب مع المتطلبات الصارمة لإنتاج الصف الإلكترونية ، وتنقسم العملية إلى ثلاث خطوات :
مرحلة ما قبل المعالجة : المواد الخام الغاز يمر عبر الترشيح والتجفيف وغيرها من المعالجة ، وإزالة معظم الجزيئات الصلبة والرطوبة ، وتجنب المعدات اللاحقة انسداد أو التلوث .
دقة تصحيح المرحلة : المعالجة الغاز يدخل برج التقطير الخاصة ، والتي يمكن أن تزيد من مساحة الاتصال من الغاز السائل من خلال لوحة أو حشو . من خلال الاستفادة من دورة التدفئة في الجزء السفلي من البرج و التكثيف في الجزء العلوي من البرج ، متقلبة عنصر ( الهدف الغاز ) و من الصعب تطاير عنصر ( النجاسة ) في الغاز مرارا وتكرارا مفصولة ، نقاء هو تحسين خطوة بخطوة .
بعد تنقية المرحلة : الغاز الناتج من الجزء العلوي من برج التقطير هو تنقية الثانوية مثل الامتزاز ، وفصل الغشاء ، وما إلى ذلك ، من أجل زيادة خفض محتوى الشوائب الصغيرة ، وأخيرا تحقيق الجيش الشعبي الصف القياسية .
الخصائص التقنية الرئيسية
المواد الخاصة : من أجل تلبية متطلبات تنقية ، الجيش الشعبي الصف تصحيح الجهاز الاتصال مكونات الغاز ( مثل تصحيح برج ، خط أنابيب ، صمام ) استخدام 316L الفولاذ المقاوم للصدأ أو سبائك Hastelloy ، والجدار الداخلي من خلال التحليل الكهربائي تلميع ( الجيش الشعبي تلميع ) ، والحد من امتصاص الشوائب و حل .
دقة التحكم : مجهزة عالية الدقة درجة الحرارة ، الضغط ، وأجهزة الاستشعار تدفق نظام التحكم الآلي ، في الوقت الحقيقي يمكن ضبط المعلمات تصحيح ( مثل الفرق في درجة الحرارة داخل البرج ± 0.1 ℃ ) ، لضمان نقاء مستقرة .
تسرب منخفضة جدا تصميم : استخدام ختم هيكل الهليوم مطياف الكتلة للكشف عن تسرب التكنولوجيا ، معدل التسرب في السيطرة على 1 × 10 ⁻ با ⁹ م 3 / ث ، لمنع تسرب الشوائب الخارجية .